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公开(公告)号:CN106033752B
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201510120701.3
申请日:2015-03-19
申请人: 日月光半导体制造股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488
CPC分类号: H01L24/16 , H01L21/486 , H01L23/49811 , H01L23/49827 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/32 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L2224/0401 , H01L2224/05025 , H01L2224/08238 , H01L2224/10175 , H01L2224/11436 , H01L2224/11462 , H01L2224/1161 , H01L2224/13008 , H01L2224/13021 , H01L2224/13026 , H01L2224/13027 , H01L2224/131 , H01L2224/13111 , H01L2224/13147 , H01L2224/13561 , H01L2224/13647 , H01L2224/16012 , H01L2224/16013 , H01L2224/16014 , H01L2224/16105 , H01L2224/16108 , H01L2224/16235 , H01L2224/16503 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/81139 , H01L2224/81193 , H01L2224/81447 , H01L2224/81815 , H01L2224/83104 , H01L2924/01029 , H01L2924/0105 , H01L2924/014 , H01L2924/3841 , H05K3/007 , H05K3/205 , H05K3/4682 , H05K2201/09509 , H05K2201/10378 , H05K2201/10674 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
摘要: 本发明涉及一种半导体封装结构,其包含半导体衬底、半导体芯片及导电材料。所述半导体衬底包含绝缘层、导电电路层及导电凸块。所述导电电路层从所述绝缘层的顶表面凹入,且包含至少一个衬垫。所述导电凸块安置在所述至少一个衬垫上。所述导电凸块的侧表面、所述至少一个衬垫的顶表面及所述绝缘层的侧表面一起界定容置空间。所述导电材料电连接所述导电凸块与所述半导体芯片,且所述导电材料的一部分安置在所述容置空间中。
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公开(公告)号:CN106206337A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201510854778.3
申请日:2015-11-30
申请人: 株式会社东芝
IPC分类号: H01L21/60 , H01L23/522
CPC分类号: G01R31/2856 , H01L21/76898 , H01L22/32 , H01L23/3128 , H01L23/3135 , H01L23/481 , H01L23/49816 , H01L23/5226 , H01L23/53209 , H01L23/53214 , H01L23/53228 , H01L23/53257 , H01L23/5384 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/29 , H01L25/0657 , H01L27/11529 , H01L2224/0401 , H01L2224/05009 , H01L2224/05012 , H01L2224/05017 , H01L2224/05082 , H01L2224/05083 , H01L2224/05093 , H01L2224/05095 , H01L2224/05096 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05569 , H01L2224/056 , H01L2224/05611 , H01L2224/05616 , H01L2224/05639 , H01L2224/05644 , H01L2224/05647 , H01L2224/05655 , H01L2224/0601 , H01L2224/06181 , H01L2224/10135 , H01L2224/131 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/16113 , H01L2224/16145 , H01L2224/16146 , H01L2224/16227 , H01L2224/1703 , H01L2224/17181 , H01L2224/27334 , H01L2224/2919 , H01L2224/32245 , H01L2224/73204 , H01L2224/73253 , H01L2224/81139 , H01L2224/81444 , H01L2224/81447 , H01L2224/97 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01079 , H01L2924/0132 , H01L2924/014 , H01L2924/01404 , H01L2924/1438 , H01L2924/15311 , H01L2924/15747 , H01L2924/3511 , H01L2924/00014 , H01L2224/05147 , H01L2924/00012 , H01L2924/0665 , H01L2224/83 , H01L24/83 , H01L23/522
摘要: 本发明的实施方式涉及一种半导体装置及半导体装置的制造方法,使具有贯通电极的半导体芯片的配线布局自由度提高。在半导体基板(30)设置着贯通电极(66)及多层配线(MH1),在多层配线(MH1)设置着最下层连接配线(54)、下层连接配线(57)、上层连接配线(59)及最上层连接配线(61),将贯通电极(66)与最下层连接配线(54)接合,以避开贯通电极(66)的正上方的方式配置通孔(60)。
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公开(公告)号:CN103930990A
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201280055469.4
申请日:2012-12-14
申请人: 富士电机株式会社
CPC分类号: H01L23/5226 , H01L21/486 , H01L21/76877 , H01L23/24 , H01L23/3735 , H01L23/4334 , H01L23/49811 , H01L23/49833 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L25/072 , H01L2224/13011 , H01L2224/13015 , H01L2224/13076 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13339 , H01L2224/13347 , H01L2224/16235 , H01L2224/291 , H01L2224/32225 , H01L2224/45124 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/49111 , H01L2224/49113 , H01L2224/73253 , H01L2224/73265 , H01L2224/81139 , H01L2224/81193 , H01L2224/8121 , H01L2224/81815 , H01L2224/8184 , H01L2224/81898 , H01L2224/83192 , H01L2224/8384 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/15747 , H01L2924/15787 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供一种半导体装置,能以较好的生产性来制造使植入基板与半导体搭载基板的半导体元件经由植入引脚相接合并电连接的半导体装置。在该半导体装置中,经由压入植入引脚(20)的另一端的筒状端子(10),植入引脚(20)与半导体搭载基板的半导体元件(8)及/或电路图案(5)相接合。并且,植入引脚(20)的压入筒状端子(10)的压入深度L2可以调整。由此,使得处于被压入筒状端子(10)的状态的植入引脚(20)与筒状端子(10)的总长度与半导体搭载基板上的半导体元件(8)及/或电路图案(5)和植入基板(30)之间的距离相匹配。
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公开(公告)号:CN103000599A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210034268.8
申请日:2012-02-09
申请人: 南茂科技股份有限公司
IPC分类号: H01L23/488 , H01L23/31 , H01L21/60
CPC分类号: H01L24/16 , H01L23/49894 , H01L24/14 , H01L24/81 , H01L2224/13021 , H01L2224/14136 , H01L2224/73203 , H01L2224/81139 , H01L2224/92125
摘要: 本发明关于一种覆晶封装结构,包含一基板、一芯片、一凸块结构以及一阻焊层。基板上具有一电路层,芯片具有一中央区域及位于中央区域两侧的二边缘区域。凸块结构面对基板设置于芯片的中央区域,阻焊层设置于基板,且部分覆盖电路层。当芯片设置于基板上时,芯片通过凸块结构与基板电性连接,且阻焊层适可与芯片的二边缘区域接触,以与凸块结构共同支撑芯片。
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公开(公告)号:CN102187458A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN200980141580.3
申请日:2009-08-19
申请人: 美光科技公司
IPC分类号: H01L25/065
CPC分类号: H01L23/5384 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L25/0657 , H01L2224/03444 , H01L2224/0346 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05009 , H01L2224/05011 , H01L2224/05012 , H01L2224/05017 , H01L2224/05025 , H01L2224/05027 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05551 , H01L2224/05558 , H01L2224/05562 , H01L2224/05611 , H01L2224/114 , H01L2224/11462 , H01L2224/1147 , H01L2224/11474 , H01L2224/1161 , H01L2224/1162 , H01L2224/1182 , H01L2224/11823 , H01L2224/11825 , H01L2224/11826 , H01L2224/11831 , H01L2224/11903 , H01L2224/13017 , H01L2224/13018 , H01L2224/13019 , H01L2224/13075 , H01L2224/13082 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13166 , H01L2224/13562 , H01L2224/13611 , H01L2224/13644 , H01L2224/13687 , H01L2224/16145 , H01L2224/16146 , H01L2224/16147 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16237 , H01L2224/29011 , H01L2224/2919 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73103 , H01L2224/73203 , H01L2224/73257 , H01L2224/81139 , H01L2224/81191 , H01L2224/81205 , H01L2224/81345 , H01L2224/81365 , H01L2224/81815 , H01L2224/81898 , H01L2224/831 , H01L2224/83141 , H01L2224/83193 , H01L2224/9211 , H01L2224/94 , H01L2225/06513 , H01L2225/06527 , H01L2225/06541 , H01L2225/06555 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2224/11 , H01L2224/03 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00 , H01L2224/05552 , H01L2924/00012
摘要: 本发明揭示包含用于穿硅通孔的穿透结构的堆叠式裸片互连结构以及相关联的系统及方法。根据特定实施例,一种系统包含具有第一衬底材料的第一半导体衬底及由所述第一半导体衬底承载的穿透结构。所述系统进一步包含具有带有预形成的凹部的第二衬底材料的第二半导体衬底。所述第一半导体衬底的所述穿透结构接纳于所述第二半导体衬底的所述凹部中且与所述凹部机械啮合并紧固到所述第二半导体衬底。
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公开(公告)号:CN101853778A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010106642.1
申请日:2010-01-22
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
发明人: 卿恺明
CPC分类号: H01L24/05 , H01L23/5283 , H01L24/03 , H01L24/10 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/02126 , H01L2224/0361 , H01L2224/03622 , H01L2224/0401 , H01L2224/05557 , H01L2224/05558 , H01L2224/05572 , H01L2224/05644 , H01L2224/13 , H01L2224/13009 , H01L2224/131 , H01L2224/13147 , H01L2224/13582 , H01L2224/13644 , H01L2224/13655 , H01L2224/16059 , H01L2224/16147 , H01L2224/811 , H01L2224/81139 , H01L2224/8114 , H01L2224/81815 , H01L2225/06513 , H01L2225/06555 , H01L2225/06593 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/01002 , H01L2924/01006 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/01014 , H01L2924/00 , H01L2224/05552
摘要: 一种堆叠及对位多个集成电路的方法及系统。该方法包含提供一具有至少一漏斗形插槽的第一集成电路,提供一第二集成电路,将第二集成电路至少一突出部与该至少一漏斗形插槽进行对位,以及将该第一集成电路与该第二集成电路进行结合。该系统包含具有至少一漏斗形插槽的第一集成电路,金属化扩散阻障层配置于该漏斗形插槽的内部,以及一第二集成电路,其中该至少一漏斗形插槽用以承接该第二集成电路的一突出部。由于插槽具有漏斗形状允许该上芯片或晶片及该下芯片或晶片进行主动对位,符合所需的精确度,因此降低该上及下芯片或晶片及受损的风险以及该堆叠及结合程序的所有成本。
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公开(公告)号:CN100543768C
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200710128179.9
申请日:2005-04-22
申请人: 富士通株式会社
IPC分类号: G06K19/077 , H01L21/60 , H01L23/498
CPC分类号: H01L24/12 , G06K19/07749 , G06K19/0775 , H01L23/49855 , H01L24/11 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L2224/0554 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/10135 , H01L2224/10165 , H01L2224/1134 , H01L2224/131 , H01L2224/16 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16237 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/73203 , H01L2224/81136 , H01L2224/81139 , H01L2224/8114 , H01L2224/81191 , H01L2224/8159 , H01L2224/816 , H01L2224/81801 , H01L2224/81903 , H01L2224/83192 , H01L2224/83851 , H01L2924/00011 , H01L2924/00013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , Y10T29/49018 , H01L2224/13099 , H01L2924/00012 , H01L2224/29075 , H01L2924/00 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要: RFID标签及其制造方法。本发明提供了一种射频识别(RFID)标签,该RFID标签包括:基片;设置在所述基片上的通信用天线;以及通过凸块连接到所述天线上的电路芯片,所述电路芯片通过所述天线执行无线通信,其中所述天线由金属填料与树脂材料混合的糊剂形成,并且所述凸块正下方的天线部分由相比于除所述凸块正下方的部分之外的部分的糊剂改变了金属填料混合比的粘贴剂形成,以限制在将带有所述凸块的所述电路芯片连接到所述天线上时由压力所导致的凸块下陷。
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公开(公告)号:CN100355050C
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200510066359.X
申请日:2005-04-22
申请人: 富士通株式会社
IPC分类号: H01L21/60 , G06K19/077
CPC分类号: H01L24/12 , G06K19/07749 , G06K19/0775 , H01L23/49855 , H01L24/11 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L2224/0554 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/10135 , H01L2224/10165 , H01L2224/1134 , H01L2224/131 , H01L2224/16 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/16237 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/73203 , H01L2224/81136 , H01L2224/81139 , H01L2224/8114 , H01L2224/81191 , H01L2224/8159 , H01L2224/816 , H01L2224/81801 , H01L2224/81903 , H01L2224/83192 , H01L2224/83851 , H01L2924/00011 , H01L2924/00013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , Y10T29/49018 , H01L2224/13099 , H01L2924/00012 , H01L2224/29075 , H01L2924/00 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要: RFID标签及其制造方法。本发明提供了一种射频识别(RFID)标签,该RFID标签以非接触方式与外部装置交换信息,其中使用糊剂作为天线材料,并该RFID标签被设计为限制凸块的下陷。在电路芯片或基片上与凸块邻接的位置处设置阻挡物,用于限制在将电路芯片连接到天线上时由压力所导致的电路芯片凸块的下陷。
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公开(公告)号:CN104637826B
公开(公告)日:2018-02-09
申请号:CN201410452983.2
申请日:2014-09-05
申请人: 东芝存储器株式会社
IPC分类号: H01L21/60 , H01L23/488 , H01L23/31
CPC分类号: H01L24/81 , H01L21/563 , H01L23/544 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/17 , H01L25/074 , H01L25/50 , H01L2223/54426 , H01L2223/54473 , H01L2224/10135 , H01L2224/1131 , H01L2224/11334 , H01L2224/13014 , H01L2224/13082 , H01L2224/13111 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13164 , H01L2224/1319 , H01L2224/1403 , H01L2224/1415 , H01L2224/14505 , H01L2224/16146 , H01L2224/1705 , H01L2224/17517 , H01L2224/73204 , H01L2224/8113 , H01L2224/81139 , H01L2224/81193 , H01L2224/81194 , H01L2224/81203 , H01L2224/81815 , H01L2224/81862 , H01L2224/81907 , H01L2224/83104 , H01L2224/92125 , H01L2924/35 , H01L2924/01083 , H01L2924/01049 , H01L2924/00014 , H01L2224/8185 , H01L2924/0665 , H01L2924/01047 , H01L2924/01029
摘要: 本发明提供一种能够抑制凸块的接合不良的半导体装置的制造方法。实施方式是在第一半导体芯片的第一面形成第一凸块电极,且在第二半导体芯片的第二面形成第二凸块电极与突起。以第一面与第二面相对的方式,使用突起将第一&第二半导体芯片固定。对所述第一半导体芯片与所述第二半导体芯片进行回流焊而使它们电连接,其后以低于回流焊温度的温度使突起硬化。
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公开(公告)号:CN106206505A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201510854664.9
申请日:2015-11-30
申请人: 株式会社东芝
IPC分类号: H01L23/482 , H01L23/498 , H01L21/60
CPC分类号: H01L25/0657 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L23/5226 , H01L23/53238 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L25/50 , H01L2224/03614 , H01L2224/03912 , H01L2224/0401 , H01L2224/05073 , H01L2224/05085 , H01L2224/05166 , H01L2224/0557 , H01L2224/05647 , H01L2224/10135 , H01L2224/11462 , H01L2224/1147 , H01L2224/119 , H01L2224/13025 , H01L2224/13082 , H01L2224/13083 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2224/13155 , H01L2224/14181 , H01L2224/16058 , H01L2224/16146 , H01L2224/81139 , H01L2224/81193 , H01L2224/81815 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2225/06544 , H01L2225/06565 , H01L2225/06593 , H01L2924/01013 , H01L2924/01022 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/0132 , H01L2924/00014 , H01L2924/014 , H01L2924/00012 , H01L2224/034 , H01L2224/113 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L2224/14 , H01L2224/29 , H01L2224/81
摘要: 本发明的实施方式提供一种能够谋求厚度方向上的小型化的半导体装置以及半导体装置的制造方法。实施方式的半导体装置具备第1基板、铝垫、第1镍电极、第2基板、第2镍电极以及连接层。第1基板的内部具有配线。铝垫设置在第1基板的表层内,并与配线连接。第1镍电极是一部分埋设在第1基板中并与铝垫连接,并且顶面从第1基板的表面突出。第2基板积层于第1基板。第2镍电极是一部分埋设在第2基板中,并且顶面从第2基板的第1基板侧的表面突出。连接层由含锡的合金形成,将第1镍电极及第2镍电极之间连接。
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