一种阵列基板及其制作方法

    公开(公告)号:CN106229298B

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201610679485.0

    申请日:2016-08-17

    发明人: 刘哲

    IPC分类号: H01L21/82 H01L27/12

    摘要: 本发明提供一种阵列基板及其制作方法,所述方法包括:在衬底基板上形成第一金属层、栅绝缘层、第二金属层、阻隔层、对所述阻隔层进行图案化处理,使与沟道位置对应的所述阻隔层被刻蚀掉,以形成间隙部;其中所述间隙部靠近所述第二金属层侧的宽度大于远离所述第二金属层侧的宽度;在所述阻隔层上沉积有机半导体材料,以在与所述间隙部对应的区域形成沟道以及在所述阻隔层上形成沉积部;在所述沉积部上分别形成第二绝缘层、透明导电层。本发明的阵列基板及其制作方法,通过沉积的方式形成沟道,避免有机光阻侵蚀有机半导体材料,提高了薄膜晶体管的性能。

    新型FinFET静电防护电压箝位装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN107749412A

    公开(公告)日:2018-03-02

    申请号:CN201710929902.7

    申请日:2017-10-09

    申请人: 常州工学院

    摘要: 本发明公开了一种新型FinFET静电防护电压箝位装置及其制备方法。该装置由制作在半导体基底上的FinFET和体引出组成,体引出形态上相交于FinFET的电流通路。本发明的装置将三维沟道的下半部分引出而使得体端引出,所形成的十字形结构使得寄生双极型晶体管的基区能够被固定而不再浮空。该装置在固定寄生双极型晶体管基区电位的同时,不减弱FinFET对沟道的控制能力,降低了闩锁风险。本发明的方法,在正常的FinFET流程基础上,增加一步或者多步半ICP刻蚀的工艺流程和额外的一张或者多张掩膜版,保留数十纳米的侧边处硅作为体引出,工艺上与现有工艺具有良好的兼容性,花费很低的成本即可集成到现有工艺流程中。

    瞬态电压抑制器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107393915A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:CN201610327701.5

    申请日:2016-05-17

    IPC分类号: H01L27/02 H01L29/06 H01L21/82

    CPC分类号: H01L27/02 H01L21/82 H01L29/06

    摘要: 本发明涉及一种瞬态电压抑制器及其制造方法,所述瞬态电压抑制器包括一个主齐纳二极管和至少一对串联的第一二极管和第二二极管;所述方法包括:依次形成层叠的N+型单晶硅衬底、N型硅外延层、缓冲氧化层和氮化硅层;在所述外延层内形成多个第一沟槽,所述多个第一沟槽隔离出用于形成所述第一二极管、第二二极管和主齐纳二极管的区域;在所述外延层内形成多个第二沟槽,所述多个第二沟槽分别在形成所述第一二极管、第二二极管和主齐纳二极管的区域分隔出对应的掺杂区;形成所述第一二极管、第二二极管和主齐纳二极管结构。上述方法及其形成的器件具备高电流泄放能力和低电容。