固态成像装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105810698B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201510622474.4

    申请日:2015-09-25

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明提供固态成像装置,其包含半导体基底含有多个光电转换元件,彩色滤光层包含彼此分隔的第一彩色滤光组件与第二彩色滤光组件设置于半导体基底上方,微透镜结构包含彼此分隔的第一微透镜元件与第二微透镜元件各别设置于第一与第二彩色滤光组件上,固态成像装置还包含填充空气的间隙,此间隙位于第一彩色滤光组件与第二彩色滤光组件之间,并且也位于第一微透镜元件与第二微透镜元件之间。本发明可增加固态成像装置的每一像素的灵敏度,例如信号对信噪比(signal to noise ratio,SNR10),也可提升固态成像装置的量子效率(QE)。

    全光透镜在光传感器衬底上的单片集成

    公开(公告)号:CN105900238B

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201380078180.9

    申请日:2013-12-07

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明涉及全光结构在图像传感器上的单片集成,其中在光传感器的衬底上利用具有低折射率的材料(包括或者不包括滤色镜和/或像素微透镜)并且在具有低折射率的所述材料上布置具有高折射率的材料来制造全光微透镜。直接在光传感器的衬底上制造全光微透镜。高集成密度的光传感器被以最小距离布置以最小化像素间干扰,为了高密度集成的目标,在邻近具有相同颜色的像素的光传感器的顶点上具有“变形的方向”的几何形状,从所述顶点移除任何光敏区域,以使光传感器远离具有相同颜色的邻近像素的噪声(具有相同颜色的邻近像素的辐照圆或者艾里盘)。通过距衬底不同距离处的全光微透镜的结构(在其周边上更小)和/或在其周边上的更不对称的轮廓和/或朝向传感器的周边的具有不同尺寸和形状的像素,来提高光效率。通过产生低折射率和高折射率的交替层来制造微物镜。