埋孔型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN105870077A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610204671.9

    申请日:2016-04-01

    Inventor: 张江华 梁新夫

    Abstract: 本发明涉及一种埋孔型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法,所述结构包括表面声滤波芯片晶圆(1),所述表面声滤波芯片晶圆(1)表面包括电极区域(1.1)和感应区域(1.2),所述电极区域(1.1)表面设置有第一金属层(2),所述表面声滤波芯片晶圆(1)上方设置有贴合晶圆(4),所述贴合晶圆(4)与感应区域(1.2)之间形成空腔(7),所述贴合晶圆(4)在电极区域(1.1)位置处设置有开孔(8),所述开孔(8)内填充有导电胶或电镀金属(9),所述导电胶或电镀金属(9)表面设置有金属球(6)。本发明一种埋孔型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法,它能提供一种更小面积和体积的表面声滤波器件,具有更低的制造成本。

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