公开(公告)号：CN104043900B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201410097021.X

申请日：2014-03-14

申请人： 恩耐公司

发明人： S·R·卡尔森 ,  K·W·肯尼迪 ,  R·J·马丁森

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/268 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0608 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/211 ,  B23K26/354 ,  B23K26/36 ,  B23K26/60

摘要： 本发明涉及通过线束改进的热处理，其中多束、多波长处理系统包含被配置以分别向衬底提供束的两个或更多个激光器。所述激光器具有波长、脉冲持续时间、束面积、束强度、脉冲能量、偏振、重复率以及能够独立地选择的其他束属性。可以通过以第一波长的大面积束预加热，之后曝光至第二波长的聚焦束，来减小需要局部加热的处理过程中的衬底变形，从而将局部区域加热至期望的处理温度。对于一些处理，选择多个波长以在衬底中获得所期望的能量沉积。

公开(公告)号：CN105659451B

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201480056834.2

申请日：2014-10-13

申请人： 法国圣戈班玻璃厂

发明人： B.迪博 ,  E.米蒙 ,  J-P.施魏策尔

IPC分类号： G02B27/10 ,  H01S5/40 ,  G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  C21D1/38 ,  B23K26/073 ,  G02B19/00 ,  B23K26/04 ,  B23K26/352 ,  G02B27/14 ,  C21D9/50 ,  F21V7/00

CPC分类号： H01S5/4012 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/352 ,  C21D1/38 ,  C21D9/50 ,  F21V7/0083 ,  G02B19/0057 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0977 ,  G02B27/1006 ,  G02B27/143 ,  H01S5/4043 ,  H01S5/405 ,  H01S2301/20

摘要： 本发明涉及一种激光器装置，包括每个均在工作平面处生成激光线的多个激光器模块，所述激光器模块被并置并且排列，以便由模块生成的激光线组合成单个激光线，所述激光器模块中的每个包括至少一个激光线生成部件，所述激光器装置特征在于：所述激光线生成部件或每个激光线生成部件包括两个激光二极管巴条（2）排列（1a，1b），每个巴条均发射聚焦的激光束（3a，3b），两个排列（1a，1b）被相对于彼此平行布置，从而巴条（2）被错开布置，由两个巴条排列（1a，1b）分别生成的平行的两组激光束（3a，3b）被通过一组镜（4,5）整合为单个激光线（8），激光二极管巴条排列（1a，1b）和镜（4,5）被布置从而两组激光束（3a，3b）在被整合为单个激光线（8）之前遍历相同长度的光学路径。

公开(公告)号：CN106029287B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201480075657.2

申请日：2014-12-16

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： S·马加诺维克 ,  G·A·皮切 ,  S·楚达 ,  R·S·瓦格纳

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  C03B33/02

CPC分类号： C03B33/0222 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K26/55 ,  B23K2103/50 ,  B32B17/06 ,  B32B2250/02 ,  B32B2315/02 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/21 ,  Y10T428/24273 ,  Y10T428/24355

摘要： 激光加工材料来形成分离的零件的方法，以及包含蓝宝石的制品。所述方法包含将脉冲激光束(2a)聚焦成激光束聚焦线(2b),沿着束传播方向观察时,所述激光束聚焦线被引导进入材料(1),所述激光束聚焦线(7)在材料(1)之内产生诱导吸收,所述诱导吸收在材料(1)之内沿着激光束聚焦线(2b)形成孔或开裂线，并在多个孔上将散焦二氧化碳(CO2)激光从材料(1)的远端边缘引导至材料(1)的近端边缘。

公开(公告)号：CN105189017B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201480019543.6

申请日：2014-03-13

申请人： LIMO专利管理有限及两合公司

发明人： V·利索特申克 ,  P·A·哈尔滕

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  G02B27/09

CPC分类号： G02B27/0927 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0738 ,  G02B27/0955 ,  G02B27/0961 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/06704 ,  H01S3/06708

摘要： 本发明涉及用于产生具有线状强度分布的激光射束的设备，该设备包括：多个用于产生激光射线(3)的激光光源，用于将由激光光源发出的激光射线(3)转换为在工作面(9)内具有线状强度分布(11)的激光射束(14)的光学工具，其中，激光光源构造成基本模式激光器，并且所述设备设计成使得由激光光源发出的激光射线(3)中的每一个激光射线自身不叠加。

公开(公告)号：CN107283077A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201710067623.4

申请日：2017-02-07

申请人： 激光扫描科技私人有限公司

发明人： N·S·希卡克哈尼

IPC分类号： B23K26/382 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

CPC分类号： A61K9/2072 ,  A61K9/2095 ,  A61K9/28 ,  B23B35/00 ,  B23K26/00 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/389 ,  G02B26/0816 ,  B23K26/382 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/702

摘要： 公开了用于片剂，特别是控释片的高速激光钻孔的装置。该装置包括具有径向槽(401)的旋转盘(118)，以便借助离心力将片剂保持在适当位置。该装置进一步包括激光系统(120)，该激光系统(120)被配置为发射激光束，以便在片剂上画出所需长度的线，以高速钻出精确的孔。该激光系统(120)能够以与在旋转盘(118)上的片剂的旋转速度相等的速度在片剂上绘制线。

公开(公告)号：CN106163724A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017834.6

申请日：2015-03-30

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 坂本刚志 ,  荻原孝文

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/53 ,  H01L21/301

CPC分类号： B23K26/53 ,  B23K26/03 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/082 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/52 ,  B23K2103/54 ,  B23K2103/56 ,  C03B33/0222 ,  C03B33/07

摘要： 激光加工装置(300)具备激光光源(202)、聚光光学系统(204)、控制部(250)、以及反射型空间光调制器(203)。控制部(250)以及反射型空间光调制器(203)将以从聚光位置沿着激光(L)的光轴朝向激光(L)的入射侧将理想聚光位置仅偏移了规定距离的状态下的像差修正量聚光于该聚光位置的情况下所产生的像差作为基准像差，在最接近加工对象物(1)的表面(3)的第1区域或者距加工对象物(1)的表面(3)的距离为规定距离以下的第1区域形成改质区域时，以成为较基准像差的基准聚光长度长的第1聚光长度并且成为较基准像差的基准聚光强度弱的第1聚光强度的方式调整像差。

公开(公告)号：CN105990195A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610156288.0

申请日：2016-03-18

申请人： 超科技公司

发明人： 王耘

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/268

CPC分类号： B23K26/0622 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/082 ,  B23K26/352 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/0085 ,  H01L21/67115

摘要： 本发明是公开减少激光退火的脉冲激光束轮廓的非均匀性的系统及方法。所述的方法包含沿光轴定向初始脉冲式激光束，及对每个光脉冲施加相对于所述的光轴的随时间变化的角度偏转量。如此形成新激光束，其中每个光脉冲在空间偏转量δ上可被抹平，此空间偏转量δ足够减少激光束的微观尺度强度变化。此新激光束被用以形成线图像，和使用初始激光束所形成的线图像相比，新激光束所形成的线图像具有较佳的强度均匀性。

公开(公告)号：CN105189017A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480019543.6

申请日：2014-03-13

申请人： LIMO专利管理有限及两合公司

发明人： V·利索特申克 ,  P·A·哈尔滕

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  G02B27/09

CPC分类号： G02B27/0927 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0738 ,  G02B27/0955 ,  G02B27/0961 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/06704 ,  H01S3/06708

摘要： 本发明涉及用于产生具有线状强度分布(11)的激光射线(3)的设备，该设备包括：多个用于产生激光射线(3)的激光光源，用于将由激光光源发出的激光射线(3)转换为在工作面(9)内具有线状强度分布(11)的激光射线(14)的光学工具，其中，激光光源构造成基本模式激光器，并且所述设备设计成使得由激光光源发出的激光射线(3)中的每一个激光射线自身不叠加。

公开(公告)号：CN105108331A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510452363.3

申请日：2015-07-28

申请人： 上海信耀电子有限公司

发明人： 郭肇基 ,  杨晓锋 ,  忻国祥 ,  黄海 ,  王永和

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/21

CPC分类号： B23K26/0738 ,  B23K26/20

摘要： 本申请提供了一种整形导光管及激光焊接工艺，涉及激光焊接技术领域，通过利用诸如一般透明材料等低价材质制备具有透镜的导光管，以基于凸透镜汇聚光线的原理，将激光源发射的激光处理后形成焊接光斑，并可通过调整导光管与激光源及被焊接物之间的距离、相对位置等参数，使得焊接光斑的形状及能量均能够满足焊接工艺的需求，进而实现对被焊接物的激光焊接，即本申请中的导光管不仅造价低廉，且汇聚的焊接光斑能量均匀，在降低厂家工艺成本的同时，能够有效的提高激光焊接工艺的性能。

公开(公告)号：CN102513701B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201210017054.X

申请日：2008-05-30

申请人： 株式会社IHI

发明人： 河口纪仁 ,  川上隆介 ,  西田健一郎 ,  M.正木 ,  森田胜

IPC分类号： H01L21/268

CPC分类号： B23K26/0608 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/082 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02678 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/268

摘要： 本发明涉及激光退火方法以及装置。在透镜阵列方式的均化器光学系统的情况下，一边使长轴用透镜阵列（20a、20b）在与线状光束的长轴方向对应的方向（X方向）往复移动，一边进行激光照射，由此，入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜（长轴用聚光透镜22）的激光（1）的入射角以及强度按照每次发射而变化，所以，纵向条纹被大幅度降低。另外，一边使短轴用透镜阵列（26a、26b）在与线状光束的长轴方向对应的方向（Y方向）往复移动，一边进行激光照射，由此，入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜（投影透镜30）的激光（1）的入射角以及强度按照每次发射而变化，所以，横向条纹被大幅度降低。