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发明公开
CN105990195A 减少激光退火的脉冲激光束轮廓的非均匀性的系统及方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 减少激光退火的脉冲激光束轮廓的非均匀性的系统及方法
  • 专利标题（英）： Systems and methods for reducing pulsed laser beam profile non-uniformities for laser annealing
  • 申请号： CN201610156288.0
    申请日： 2016-03-18
  • 公开(公告)号： CN105990195A
    公开(公告)日： 2016-10-05
  • 发明人: 王耘
  • 申请人： 超科技公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚
  • 专利权人： 超科技公司
  • 当前专利权人： 超科技公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚
  • 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
  • 代理商 申发振
  • 优先权： 62/136,011 2015.03.20 US
  • 主分类号： H01L21/67
  • IPC分类号： H01L21/67 ;  H01L21/268
减少激光退火的脉冲激光束轮廓的非均匀性的系统及方法
摘要：
本发明是公开减少激光退火的脉冲激光束轮廓的非均匀性的系统及方法。所述的方法包含沿光轴定向初始脉冲式激光束，及对每个光脉冲施加相对于所述的光轴的随时间变化的角度偏转量。如此形成新激光束，其中每个光脉冲在空间偏转量δ上可被抹平，此空间偏转量δ足够减少激光束的微观尺度强度变化。此新激光束被用以形成线图像，和使用初始激光束所形成的线图像相比，新激光束所形成的线图像具有较佳的强度均匀性。
摘要（英）：

Systems and methods for reducing pulsed laser beam profile non-uniformities for laser annealing are disclosed. The methods include directing an initial pulsed laser beam along an optical axis, and imparting to each light pulse a time-varying angular deflection relative to the optical axis. This forms a new laser beam, wherein each light pulse is smeared out over an amount of spatial deflection [delta] sufficient to reduce the micro-scale intensity variations in the laser beam. The new laser beam is then used to form the line image, which has better intensity uniformity as compared using the initial laser beam to form the line image.

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