晶片的激光加工方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108687446A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810295763.1

    申请日:2018-03-30

    发明人: 伴祐人

    IPC分类号: B23K26/362 H01L21/78

    摘要: 提供晶片的激光加工方法,抑制因先行的激光束的照射而产生的碎屑等对后续的激光束照射造成妨碍。晶片的激光加工方法使用激光加工装置对晶片进行加工,该晶片由呈格子状设定于正面的多条分割预定线划分,该激光加工装置具有激光束照射单元,该激光束照射单元通过聚光透镜对保持于卡盘工作台的晶片照射由激光束振荡器振荡并由激光束分支单元分支而形成的多个激光束,该晶片的激光加工方法具有加工槽形成步骤,沿着该分割预定线对该晶片照射该多个激光束,在该晶片上形成沿着该分割预定线的加工槽,在该加工槽形成步骤中,使由该激光束分支单元分支而得的该多个激光束呈列状排列在与该多个激光束所照射的该分割预定线的延伸方向非平行的方向上。