公开(公告)号：CN104043900B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201410097021.X

申请日：2014-03-14

申请人： 恩耐公司

发明人： S·R·卡尔森 ,  K·W·肯尼迪 ,  R·J·马丁森

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/268 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0608 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/211 ,  B23K26/354 ,  B23K26/36 ,  B23K26/60

摘要： 本发明涉及通过线束改进的热处理，其中多束、多波长处理系统包含被配置以分别向衬底提供束的两个或更多个激光器。所述激光器具有波长、脉冲持续时间、束面积、束强度、脉冲能量、偏振、重复率以及能够独立地选择的其他束属性。可以通过以第一波长的大面积束预加热，之后曝光至第二波长的聚焦束，来减小需要局部加热的处理过程中的衬底变形，从而将局部区域加热至期望的处理温度。对于一些处理，选择多个波长以在衬底中获得所期望的能量沉积。