高度位置检测单元的评价用治具和评价方法

    公开(公告)号:CN108723584A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810341730.6

    申请日:2018-04-17

    发明人: 古田健次

    IPC分类号: B23K26/04 B23K26/70

    摘要: 提供高度位置检测单元的评价用治具和评价方法。评价用治具(1)是激光加工装置(10)的高度位置检测单元的评价用治具,该激光加工装置(10)具有:对晶片进行保持的卡盘工作台(20);照射加工用激光光线的激光光线照射单元(30);使加工用激光光线的聚光点位置移位的聚光点位置调整单元;对晶片照射检测用激光光线而对背面的Z轴方向的位置进行检测的高度位置检测单元;以及对聚光点位置调整单元进行控制的控制单元(100)。评价用治具(1)具有:被照射检测用激光光线的被照射面(2-1);使被照射面(2-1)在Z轴方向上移动的致动器;对致动器进行支承并载置于保持面(21)的基台部(4);以及对致动器的移动进行控制的控制部(120)。

    一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装置及方法

    公开(公告)号:CN107234347A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710588212.X

    申请日:2017-07-19

    申请人: 江苏大学

    摘要: 本发明公开了一种激光辅助加热飞秒脉冲激光打孔装及方法,该装置包括飞秒脉冲激光器,第一扩束器,CCD相机,反射平面镜,分束镜,凸透镜,第二扩束器,连续激光器,飞秒脉冲激光控制器,连续激光控制器,工件,夹具,可移动工作台,工作台控制器,计算机;同时提供了采用上述装置的一种激光辅助加热飞秒脉冲打孔方法,其主要原理是在飞秒脉冲激光器对工件加工之前,采用连续激光器对工件要加工区域进行预热,预热过程材料不发生相变,从而在保证飞秒激光的加工优点的同时,提高材料对飞秒脉冲激光的吸收率,降低飞秒激光加工材料的烧蚀阈值,提高飞秒脉冲激光打孔效率。