激光切割具有牺牲层的纹理化透明基板的方法

    公开(公告)号:CN117098628A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202280018378.7

    申请日:2022-01-31

    Abstract: 一种分离透明工件的方法,包括在透明工件的纹理化表面上沉积牺牲层,牺牲层的折射率小于或等于透明工件的折射率并大于或等于空气的折射率。经由光学组装件生成缺陷形成激光束,并将缺陷形成激光束用于在透明工件中形成通过牺牲层的多个缺陷。缺陷形成激光束包括在透明工件中形成激光束焦线的脉冲激光束,或包括大于或等于临界功率水平以在透明工件中引发克尔效应自聚焦的光学功率水平。将透明工件沿着轮廓分离。

    使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法

    公开(公告)号:CN113399816B

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202110505433.2

    申请日:2017-09-28

    Abstract: 本申请涉及使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法。包括:形成包含缺陷的轮廓线,通过下述进行:引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件,非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位,将脉冲激光束引导到透明工件中,使被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收,诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸Wo,有效,和非轴对称光束截面,其具有在x方向上的最小瑞利范围ZRx,最小,和在y方向上的最小瑞利范围ZRy,最小。ZRx,最小与ZRy,最小中的较小者大于式(I),其中FD是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。

    使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法

    公开(公告)号:CN109803786B

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN201780061047.0

    申请日:2017-09-28

    Abstract: 一种用于对透明工件进行激光加工的方法包括:形成包含缺陷的轮廓线,这通过下述进行:引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件,所述非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位,以及将脉冲激光束引导到透明工件中,使得被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收,该诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸Wo,有效,以及非轴对称光束截面,其具有在x方向上的最小瑞利范围ZRx,最小,以及在y方向上的最小瑞利范围ZRy,最小。此外,ZRx,最小与ZRy,最小中的较小者大于式(I),其中FD是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。

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