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公开(公告)号:CN117098628A
公开(公告)日:2023-11-21
申请号:CN202280018378.7
申请日:2022-01-31
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: B23K26/00
Abstract: 一种分离透明工件的方法,包括在透明工件的纹理化表面上沉积牺牲层,牺牲层的折射率小于或等于透明工件的折射率并大于或等于空气的折射率。经由光学组装件生成缺陷形成激光束,并将缺陷形成激光束用于在透明工件中形成通过牺牲层的多个缺陷。缺陷形成激光束包括在透明工件中形成激光束焦线的脉冲激光束,或包括大于或等于临界功率水平以在透明工件中引发克尔效应自聚焦的光学功率水平。将透明工件沿着轮廓分离。
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公开(公告)号:CN107922237A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680029955.7
申请日:2016-03-23
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: C03B33/02 , B23K26/00 , C03C3/091 , B23K103/00
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/364 , B23K26/53 , B23K2103/54 , C03B33/0215 , C03C3/093 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及用于对透明材料的薄基材进行切割和分离的激光切割技术,例如,对主要用于生产薄膜晶体管(TFT)器件的显示器玻璃组合物进行切割。所描述的激光加工可以用来制造笔直切割,例如以大于>0.25m/s的速度来切割锋利半径外角(
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公开(公告)号:CN107835794A
公开(公告)日:2018-03-23
申请号:CN201680040825.3
申请日:2016-07-08
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: C03B33/02 , B23K26/00 , B23K26/53 , B23K26/38 , B23K26/382 , C03C15/00 , C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/48 , H01L23/538
CPC classification number: B32B3/266 , B23K26/0604 , B23K26/53 , B23K2103/54 , B32B17/06 , B32B2307/412 , C03B33/0222 , C03C15/00 , C03C17/06 , H01L21/486 , H01L23/15 , H01L23/49827 , Y02P40/57
Abstract: 本文提供了在目标基材中进行切割和钻孔的系统和方法,所述系统和方法使用激光(例如脉冲激光)和光学系统来在诸如玻璃基材板这样的目标基材内生成激光束的线聚焦。激光切割和钻孔系统和方法利用各个体激光脉冲生成在某些实施方式中延伸穿过玻璃板整个厚度的孔或缺陷,并且允许激光系统通过生成一系列形成轮廓或所需部件形状的孔眼来将目标基材切割和分离成任意所需的轮廓。由于玻璃基材板是脆性的,随着打孔的轮廓将会发生开裂,允许玻璃基材板分离成由孔眼限定的任意所需形状。
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公开(公告)号:CN106029590A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201480075658.7
申请日:2014-12-16
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/0622 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , C03B17/064 , C03B25/087 , C03B29/10 , C03B33/0215 , C03B33/07 , C03B33/091 , Y02P40/57 , Y10T428/24777 , Y10T428/249921
Abstract: 本发明涉及用于切割和分离透明材料的薄基材的激光切割技术,例如切割主要用于生产薄膜晶体管(TFT)装置的显示器玻璃组合物。所述激光方法可用于例如以>1米/秒的速度来制备直线切割,用于切割尖锐半径的外部角(
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公开(公告)号:CN102246368A
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200980151626.X
申请日:2009-12-14
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: H01S5/0683 , H01S5/0687 , H01S5/022
CPC classification number: H01S5/0683 , G02F1/35 , G02F1/3775 , H01S5/0092 , H01S5/06256 , H01S5/0687
Abstract: 根据本发明的一个实施例,光学封装包括利用自适应光学器件耦合到波长转换器件的一个或多个半导体激光器。光学封装还包括被编程为基于提供给半导体激光器的波长选择部分和自适应光学器件的经调制反馈控制信号来操作半导体激光器和自适应光学器件的封装控制器。可基于经调制的波长反馈控制信号来调节提供给半导体激光器的波长选择部分的波长控制信号,使得波长转换器件的响应参数被优化。类似地,可基于经调制的反馈位置控制信号来调节提供给自适应光学器件的位置控制信号,使得波长转换器件的响应参数被优化。
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公开(公告)号:CN113399816B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN202110505433.2
申请日:2017-09-28
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: B23K26/00 , B23K26/073 , B23K26/53 , B23K26/06 , C03B33/02
Abstract: 本申请涉及使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法。包括:形成包含缺陷的轮廓线,通过下述进行:引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件,非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位,将脉冲激光束引导到透明工件中,使被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收,诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸Wo,有效,和非轴对称光束截面,其具有在x方向上的最小瑞利范围ZRx,最小,和在y方向上的最小瑞利范围ZRy,最小。ZRx,最小与ZRy,最小中的较小者大于式(I),其中FD是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。
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公开(公告)号:CN115697620A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180041958.3
申请日:2021-05-25
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: B23K26/0622 , B23K26/53 , C03B33/09
Abstract: 一种激光加工透明工件的方法包括:将脉冲激光束引导到透明工件中。所述脉冲激光束包括脉冲串,每个脉冲串具有2个或更多个子脉冲,脉冲激光束的每个脉冲串具有(380)ns或更大的脉冲串持续时间Tbd;并且脉冲激光束在透明工件中形成脉冲激光束焦线,所述脉冲激光束焦线在透明工件中诱导吸收,所述诱导吸收在透明工件中产生缺陷。脉冲激光束包括波长λ,光斑尺寸wo和瑞利范围ZR,所述瑞利范围ZR大于(I),其中FD是无量纲的发散因子,其包括(10)或更大的数值。
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公开(公告)号:CN107922237B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN201680029955.7
申请日:2016-03-23
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: C03B33/02 , C03C3/091 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及用于对透明材料的薄基材进行切割和分离的激光切割技术,例如,对主要用于生产薄膜晶体管(TFT)器件的显示器玻璃组合物进行切割。所描述的激光加工可以用来制造笔直切割,例如以大于>0.25m/s的速度来切割锋利半径外角(
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公开(公告)号:CN109803786B
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN201780061047.0
申请日:2017-09-28
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: B23K26/00 , B23K26/073 , B23K26/53 , B23K26/06 , C03B33/02 , B23K103/00
Abstract: 一种用于对透明工件进行激光加工的方法包括:形成包含缺陷的轮廓线,这通过下述进行:引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件,所述非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位,以及将脉冲激光束引导到透明工件中,使得被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收,该诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸Wo,有效,以及非轴对称光束截面,其具有在x方向上的最小瑞利范围ZRx,最小,以及在y方向上的最小瑞利范围ZRy,最小。此外,ZRx,最小与ZRy,最小中的较小者大于式(I),其中FD是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。
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