公开(公告)号：CN106471414B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201480078583.8

申请日：2014-08-28

申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司

发明人： 李家英 ,  周朝明 ,  孙博 ,  高云峰

IPC分类号： G02B13/18 ,  B23K26/06 ,  G02B27/00 ,  G02B3/08 ,  G02B13/02

CPC分类号： G02B13/18 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0648 ,  G02B3/08 ,  G02B9/12 ,  G02B9/34 ,  G02B13/02 ,  G02B27/0025

摘要： 一种光学镜头，包括沿入射光线的传输方向依次共光轴排列的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)和第三透镜(L3)，第一透镜和第二透镜均为平凸型正透镜，第三透镜为弯月型负透镜；第一透镜包括第一曲面(S1)和第二曲面(S2)、第二透镜包括第三曲面(S3)和第四曲面(S4)、第三透镜包括第五曲面(S5)和第六曲面(S6)，每个透镜的两个曲面分别是透镜的光入射面和光出射面，第一至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布；第一曲面和第三曲面迎着入射光线的传输方向凸出，第五曲面和第六曲面朝向入射光线的传输方向凸出；第三曲面由多个焦点不同的圆弧面(Φ1，Φ2，Φ3，Φ4，Φ5)依次直接连接构成，且这些圆弧面的焦点(fl，f2，f3，f4，f5)均在光轴上。光学镜头可用于加工出深而细的孔，或是刻画深而细的线。

公开(公告)号：CN108281433A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201810166624.9

申请日：2014-11-21

申请人： 株式会社半导体能源研究所

发明人： 山崎舜平 ,  大野正胜 ,  安达广树 ,  井户尻悟 ,  武岛幸市

IPC分类号： H01L27/12 ,  H01L27/32 ,  H01L29/24 ,  H01L21/34 ,  H01L29/786 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  B23K26/04 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/08 ,  H01L41/314 ,  H01L51/50

CPC分类号： H01L27/3272 ,  B23K26/04 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/083 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/1266 ,  H01L27/322 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3258 ,  H01L27/3262 ,  H01L29/24 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/7869 ,  H01L41/314 ,  H01L51/0024 ,  H01L51/0027 ,  H01L51/003 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/5096 ,  H01L51/5246 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5284 ,  H01L51/56 ,  H01L2227/323 ,  H01L2227/326 ,  H01L2251/5338 ,  H01L2251/558 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

摘要： 一种显示装置及其制造方法。在第一衬底上形成第一有机树脂层，在第一有机树脂层上形成第一绝缘膜，在第一绝缘膜上形成第一元件层，在第二衬底上形成第二有机树脂层，在第二有机树脂层上形成第二绝缘膜，在第二绝缘膜上形成第二元件层，贴合第一衬底与第二衬底，进行使第一有机树脂层与第一衬底之间的附着性降低的第一分离工序，利用第一粘合层粘合第一有机树脂层与第一柔性衬底，进行使第二有机树脂层与第二衬底之间的附着性降低的第二分离工序，利用第二粘合层粘合第二有机树脂层与第二柔性衬底。

公开(公告)号：CN107350641A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710276802.9

申请日：2017-04-25

申请人： 株式会社迪思科

发明人： 桐原直俊

IPC分类号： B23K26/53 ,  B23K26/08 ,  B23K26/064

CPC分类号： H01L21/02002 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  B23K26/402 ,  B23K2101/40 ,  H01L21/30 ,  H01L21/44 ,  H01L21/78 ,  B23K26/53 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0823

摘要： 本发明提供一种激光加工装置，该激光加工装置能够形成盾构隧道，无需大的力量便能够对基板进行分割。激光加工装置的聚光器具有球面像差的功能。由于聚光器具有球面像差的功能，因此，能够根据所照射的激光光线的横截面的位置使聚光点位置在晶片的厚度方向上连续变化。由此，能够通过激光光线的一次的照射在从晶片的正面到背面的范围内形成由细孔和围绕该细孔的非晶质构成的均匀的盾构隧道。

公开(公告)号：CN106425112A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610946556.9

申请日：2016-11-02

申请人： 国神光电科技(上海)有限公司

发明人： 周士安 ,  任红艳 ,  吴明

IPC分类号： B23K26/364 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/067 ,  B23K101/36

CPC分类号： B23K26/364 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0676 ,  B23K2101/36

摘要： 本发明提供一种激光划片的方法及系统，所述方法包括：激光器生成包络可调、线偏振、同源且相干由超短激光脉冲构成的两路激光：第一脉冲串和第二脉冲串；改变第一脉冲串或第二脉冲串的偏振态，使一个具有水平偏振，另一个具有垂直偏振；改变第一脉冲串或第二脉冲串的发散角使第一脉冲串和第二脉冲串具有不同的发散角；将第一脉冲串和第二脉冲串进行合束后聚焦于待划片物上并于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点组成的切割层；利用两个切割层中聚焦点于待划片物上的划动对待划片物进行划片。本发明采用两路脉冲串的激光划片方法，适用于较厚晶圆片（>150um）的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，还可以提高电性良率。

公开(公告)号：CN102574245A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080045690.2

申请日：2010-09-01

申请人： 爱信精机株式会社

发明人： 渥美贵文 ,  池田优二 ,  大村悦二

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/04 ,  B23K26/067 ,  B23K26/40 ,  B28D5/00 ,  H01L21/301 ,  C03B33/09

CPC分类号： B28D5/00 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0652 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2103/50 ,  C03B33/093

摘要： 本发明提供加工速度高、且能效高的激光加工方法以及激光加工装置。激光加工方法以使聚光透镜(21)的光轴(O)沿被割断部件(3)的割断预定线(S0)相对移动的方式向被割断部件(3)聚集照射激光，由此在被割断部件(3)的内部以沿着割断预定线(S0)的方式形成成为割断起点的改性区域，其特征在于，在截面(3b)上同时形成多个截面聚光点(P0、P1…)，该截面(3b)在距离被割断部件(3)的表面(3a)规定深度的位置与聚光透镜(21)的光轴(O)正交且与表面(3a)平行，此时，使多个截面聚光点(P0、P1…)中的至少一个截面聚光点形成于割断预定线(S0)朝截面(3b)的投影线上，由此形成一个或多个具有期望形状的所述内部改性区域。

公开(公告)号：CN102348530A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201080011926.0

申请日：2010-05-26

申请人： 西进商事株式会社

发明人： 梶川敏和

IPC分类号： B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/08 ,  H01S3/00

CPC分类号： B23K26/0617 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2103/50

摘要： 本发明提供激光加工中使用的激光照射装置、以及使用该激光照射装置的激光加工方法。本发明的激光照射装置和激光加工方法中，激光照射装置包括：光源，射出激光光线；以及照射光学系统，具有一个或多个透镜，将光源射出的激光光线引导并聚光到对象物上，该照射光学系统的至少一个透镜使用双折射材料作为原料。该照射光学系统包括光束扩展器，该光束扩展器在激光光线的行进方向上依次具有作为凹透镜或凸透镜的第一透镜、以及作为凸透镜的第二透镜，并且该光束扩展器能改变该第一透镜和第二透镜的间隔，且使用双折射材料作为该第一透镜和/或第二透镜的原料。

公开(公告)号：CN100546752C

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200610001266.3

申请日：2006-01-12

申请人： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

发明人： K·舒弗 ,  H·马扎维 ,  C·贝尔特兹

IPC分类号： B23K26/04 ,  B23K26/14 ,  G02B3/10

CPC分类号： B23K26/067 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/38

摘要： 本发明涉及采用双焦点透镜的厚金属工件激光切割方法。该方法用于对厚度在4至25毫米之间的金属工件进行激光束切割，其中采用用于将激光束至少聚焦在彼此分开且均位于激光束光轴上的第一焦点(PF1)和第二焦点(PF2)处的双聚焦透镜，其特征在于，该透镜的焦距(FL)在170至300毫米之间。

公开(公告)号：CN1573364A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410042443.3

申请日：2004-05-21

申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司

发明人： F·卡米-佩雷

IPC分类号： G02B3/02 ,  B23K26/00

CPC分类号： B23K26/0617 ,  B23K26/067 ,  B23K26/38

摘要： 本发明涉及一种光学元件(21)，其可被用于对材料(26)进行激光切割，该光学元件包括：至少一个非球面折射表面(22)，该表面成形为将入射光束的光线(30)聚焦到一落在所述光学元件(21)的光轴(29)上的直线段(25)上。该光学元件(21)是透射型的(21)或反射型的。例如，该光学元件由这样一种透镜(21)形成，该透镜的非球面折射表面(22)由一曲率半径(24)确定，该曲率半径随着距透镜的光轴(29)的距离连续地变化。所述激光束由辅助气体辅助，所述辅助气体包含从以下气体中选择的至少一种组分，即，氮气，氧气，氦气，氩气以及它们的混合物。

公开(公告)号：CN1339360A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：CN01122855.5

申请日：1997-01-16

申请人： 萨尔技术有限公司

发明人： S·特姆普勒 ,  P·T·鲁姆斯拜

IPC分类号： B41J2/16 ,  B23K26/00

CPC分类号： B23K26/0604 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/066 ,  B23K26/067 ,  B23K26/382 ,  B23K26/384 ,  B23K26/389 ,  B23K2101/18 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1634

摘要： 用于喷墨打印头的喷嘴板上的喷嘴通过把激光束引导在喷嘴板上而形成。通过把光束分束可获得光束发散的精确控制,每个分光束均发散,其起点位于离开通过分束形成光束的位置,然后复合该分光束。于是可得到形成喷嘴的精确的锥度和入口形状。

公开(公告)号：CN105209219B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201480019047.0

申请日：2014-03-13

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 河口大祐 ,  广瀬翼 ,  荒木佳祐

IPC分类号： B23K26/53 ,  B23K26/06 ,  B28D5/00 ,  B23K26/073 ,  B23K26/40 ,  C03B33/02

CPC分类号： B23K26/0057 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2103/50 ,  B28D5/00 ,  C03B33/0222 ,  Y02P40/57

摘要： 激光加工装置具备将激光(L)射出的激光光源(202)、调制由激光光源(202)射出的激光(L)的空间光调制器(203)、及将通过空间光调制器(203)调制后的激光聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(204)，多列的改质区域(7)至少包含：位于激光入射面侧的入射面侧改质区域、位于激光入射面的相反面侧的相反面侧改质区域、及位于入射面侧改质区域与相反面侧改质区域之间的中间改质区域。空间光调制器(203)在形成中间改质区域的情况下，通过将轴棱锥透镜图案作为调制图案显示，从而以在沿着激光照射方向接近排列的多个位置形成聚光点的方式使激光聚光，并且在形成入射面侧改质区域及相反面侧改质区域的情况下，不将轴棱锥透镜图案作为调制图案显示，由此提高加工品质。