-
公开(公告)号：CN108963727A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810842600.0
申请日：2018-07-27
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
CPC分类号： H01S3/0057 , G02B7/003 , G02B27/0972 , G02B27/4233 , H01S3/0014 , H01S3/0071
摘要： 本发明公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括可见光激光器，用于产生可见激光；棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被输出耦合镜垂直反射按原路返回，以完成所述线宽压窄模块与所述放电腔的对准。此外，还提供一种准分子激光器及线宽压窄模块与放电腔对准的方法以及准分子激光器。本发明可实现线宽压窄模块的快速安装与更换，在保证光谱输出特性的条件下实现最大能量输出。
-
公开(公告)号：CN108139269A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680050759.8
申请日：2016-08-31
申请人： 光谱传感器公司
CPC分类号： G01N21/01 , G01J3/0286 , G01J3/42 , G01N21/27 , G01N2201/0231 , G01N2201/0636 , G02B7/008 , G02B7/028 , H01S3/0071 , H01S3/1317 , H01S5/0071 , H01S5/06804
摘要： 提供了一种在分光计中使用的光学头组件(160)，所述分光计被配置成表征样品气体内的一种或多种成分。所述组件包括：热电冷却器(TEC)(310)，所述TEC在一端具有冷侧面并在相对端具有热侧面；冷板(315)，所述冷板与所述TEC的所述冷侧面热连通；热块(305)，所述热块与所述TEC的所述热侧面热连通；光源(105)，所述光源与所述冷板热连通，使得所述TEC的温度的变化使所述光源的一个或多个特性(例如，波长等)改变；以及光学元件(325)，所述光学元件与所述冷板热连通，被定位成使由所述光源发射的通过所述样品气体的光准直(使得所述光学元件的特性基于所述TEC的温度的变化而变化)。
-
公开(公告)号：CN108075347A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201611004376.5
申请日：2016-11-15
申请人： 中国科学院光电研究院
CPC分类号： H01S3/10023 , G01N21/718 , H01S3/0071
摘要： 一种可方便调节激光脉宽的飞秒激光器，其包括在激光输出路径依次设置的泵浦激光二极管、会聚透镜、激光晶体、啁啾镜、半导体可饱和吸收镜、棱镜、端面镜，其中棱镜为放置在电动平移台上能调整相对位置的棱镜对，其中飞秒激光振荡器的激光腔中同时包括用于色散补偿的一个啁啾镜和一对棱镜对。本发明还涉及上述飞秒激光器用于钢铁样品成分检测或激光眼科手术的用途。本发明可以实现一款激光脉宽从200飞秒到1000飞秒连续变化的新的飞秒激光眼科手术用飞秒激光器的光源，从而可以实现在飞秒激光烧蚀角膜过程中激光脉宽随激光在角膜中位置变化而变化以利于得到最好的激光烧蚀效果。
-
公开(公告)号：CN104105569B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201380007619.9
申请日：2013-04-19
申请人： 万佳雷射有限公司
发明人： D·C·米尔恩 , P·T·路姆斯比 , 大卫·托马斯·埃德蒙·迈尔斯
CPC分类号： H01S3/11 , B23K26/0648 , B23K26/066 , B23K26/0661 , B23K26/073 , B23K26/082 , B23K26/0821 , B23K26/361 , B23K26/362 , B23K26/402 , B23K2103/50 , H01S3/0057 , H01S3/0071 , H01S3/0941 , H05K3/0035 , H05K3/0073 , H05K2203/0557
摘要： 公开了一种用于在介电基片(3)的表面内形成两个或多个深度的精细尺度结构(4，4’，4”，5，6，7，8)的设备和方法。在一个示例中，该设备包括：第一固体激光器(12)，其被设置为提供第一脉冲激光束(13)；第一掩模(16)，其具有用于对第一深度处的第一组结构(4，6，7，8)进行限定的图案；投影透镜(17)，其用于在所述基片的表面(3)上形成所述图案的缩小尺寸图像；以及光束扫描器，其被设置为用所述第一脉冲激光束(13)以二维光栅扫描方式相对于所述第一掩模进行扫描以在所述基片的第一深度处形成第一组结构(4，6，7，8)，其中，所述第一固体激光器或另一固体激光器被设置为在所述基片(3)的第二深度处形成第二组结构(8)。
-
公开(公告)号：CN106918878A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201611011248.3
申请日：2016-11-17
申请人： 发那科株式会社
发明人： 和泉贵士
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/4268 , B23K26/703 , G02B6/4269 , G02B6/4296 , H01S3/005 , H01S3/0071 , H01S3/0404 , H01S3/1643 , H01S3/2316 , H01S5/02 , H01S5/02284 , H01S5/02446 , H01S5/4012
摘要： 一种能够有效地去除在光纤中继单元中产生的热的光纤中继单元。光纤中继单元具备：封闭的循环路径，其用于使冷却剂循环，该冷却剂用于去除由于在该光纤中继单元中传输的激光A而在该光纤中继单元中产生的热；以及冷却剂循环装置，其使冷却剂在该循环路径中流动，从而使冷却剂在该循环路径中循环。
-
公开(公告)号：CN106785826A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710017294.2
申请日：2017-01-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
CPC分类号： H01S3/042 , H01S3/005 , H01S3/0071 , H01S3/08 , H01S3/10
摘要： 一种光束质量控制装置及应用其的激光谐振腔及固体激光器。其中光束质量控制装置包括一支架和固定于该支架上的面板，面板上有一小孔，光束通过小孔进行选模以实现光束质量的控制，面板背面具有一环形水槽，且面板侧面具有一进水口和一出水口，进水口和出水口与环形水槽相通。由此提出的激光器谐振腔及固体激光器按照设定的位置排布，可以在不减少最高输出功率的情况下，大幅提升激光谐振腔的光束质量。同时，由于光束质量控制器的作用，将激光在谐振腔镜上的光斑在不同电流下保持一致，方便后续的光路准直，减少光纤耦合系统的损耗。本发明光路简明，结构紧凑，方便调节，配合高效的水循环冷却设计保证了高功率激光的长时间稳定工作。
-
公开(公告)号：CN103181753B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310022851.1
申请日：2004-09-08
申请人： 通用医疗公司
发明人： 尹锡贤 , 布雷特·尤金·鲍马 , 吉列尔莫·J·蒂尔尼 , 约翰内斯·菲茨杰拉德·德·布尔
CPC分类号： H01S5/5045 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02002 , G01B9/02004 , G01B9/02043 , G01B9/02075 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0264 , G01J3/453 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B6/3604 , G02B26/12 , G02B27/48 , G02F1/093 , G02F1/11 , H01S3/0071 , H01S3/0078 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/1025 , H01S5/14 , H01S5/141 , H01S5/146
摘要： 提供了一种用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备。具体而言，至少一个第一电磁辐射可以提供给样品并且至少一个第二电磁辐射可以提供给非反射的参考。所述第一和/或第二辐射的频率随时间变化。在关联于所述第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述第二辐射的至少一个第四辐射之间检测干涉。可替换地，所述第一电磁辐射和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。所述谱在特定时间可以包含多个频率。另外，有可能以第一偏振态检测所述第三辐射与所述第四辐射之间的干涉信号。此外，可以优选地以不同于所述第一偏振态的第二偏振态检测所述第三和第四辐射之间的又一干涉信号。所述第一和/或第二电磁辐射可以具有中值频率以大于每毫秒100万亿赫兹的调谐速度随时间基本上连续变化的谱。
-
公开(公告)号：CN103293126A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310023630.6
申请日：2004-09-08
申请人： 通用医疗公司
发明人： 尹锡贤 , 布雷特·尤金·鲍马 , 吉列尔莫·J·蒂尔尼 , 约翰内斯·菲茨杰拉德·德·布尔
IPC分类号： G01N21/45
CPC分类号： H01S5/5045 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02002 , G01B9/02004 , G01B9/02043 , G01B9/02075 , G01B9/02081 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B9/0209 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0264 , G01J3/453 , G01J9/0215 , G01N21/4795 , G02B6/3604 , G02B26/12 , G02B27/48 , G02F1/093 , G02F1/11 , H01S3/0071 , H01S3/0078 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S5/0071 , H01S5/0078 , H01S5/1025 , H01S5/14 , H01S5/141 , H01S5/146
摘要： 本发明涉及一种用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备。提供了一种设备和方法。具体而言，至少一个第一电磁辐射可以提供给样品并且至少一个第二电磁辐射可以提供给非反射的参考。所述第一和/或第二辐射的频率随时间变化。在关联于所述第一辐射的至少一个第三辐射与关联于所述第二辐射的至少一个第四辐射之间检测干涉。可替换地，所述第一电磁辐射和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。所述谱在特定时间可以包含多个频率。另外，有可能以第一偏振态检测所述第三辐射与所述第四辐射之间的干涉信号。此外，可以优选地以不同于所述第一偏振态的第二偏振态检测所述第三和第四辐射之间的又一干涉信号。所述第一和/或第二电磁辐射可以具有中值频率以大于每毫秒100万亿赫兹的调谐速度随时间基本上连续变化的谱。
-
公开(公告)号：CN101256947A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810092402.3
申请日：2002-08-02
申请人： 株式会社半导体能源研究所
发明人： 田中幸一郎
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , C30B13/24 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , B23K26/10
CPC分类号： H01L21/02691 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/0676 , B23K26/0732 , B23K26/0736 , B23K26/10 , B23K2101/40 , H01L21/02678 , H01L21/02683 , H01L21/02686 , H01L21/2026 , H01S3/0071
摘要： 本发明涉及激光辐照装置、激光辐照方法、以及半导体器件制造方法。提供一种方法和装置，用来在辐照表面上恒定地建立激光束的能量分布，将激光束均匀地辐照到整个辐照表面。本发明还提供在工艺中包括该激光辐照方法的半导体器件的制造方法。本发明的特征是用光学系统将多个激光束在辐照表面上的形状形成为椭圆形或矩形，在辐照表面沿第一方向移动的同时，发射多个激光束，且辐照表面沿第二方向移动，以及辐照表面在沿与第一方向相反的方向移动的同时，发射多个激光束。在辐照表面沿第一方向移动的同时可以发射多个激光束，并在辐照表面沿与第一方向相反的方向移动的同时，可以发射多个激光束，以及辐照表面也可以沿第二方向移动。
-
公开(公告)号：CN106797101B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580043627.8
申请日：2015-07-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： 安德雷·亚历山德罗维奇·尼基佩洛夫 , T·J·克嫩 , J·J·M·范海尔福尔特 , W·J·恩格伦 , G·J·H·布鲁斯阿德 , G·G·波尔特 , E·R·鲁普斯特拉
CPC分类号： H01S3/0903 , H01S3/0071 , H01S3/0959 , H01S3/1024 , H01S3/11 , H01S3/1103
摘要： 协调了在电子聚束的加速阶段电子聚束穿过线性加速器(LINAC)与在电子聚束的减速阶段电子聚束穿过所述LINAC。根据重复电子聚束序列而将每个连续电子聚束对在时间上间隔开相应的聚束间隔。电子源在所述电子聚束序列中提供清除间隙以允许在波荡器处的离子的清除。所述电子源根据清除间隙序列而提供所述清除间隙，使得对于多个能量恢复LINAC中的每个和对于实质上所有所述清除间隙：对于在加速阶段或减速阶段中的所述清除间隙的每次穿过所述LINAC，协调了所述清除间隙与在减速阶段或加速阶段中穿过所述LINAC的所述清除间隙中的另外一个清除间隙，由此维持所述LINAC的能量恢复操作。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
79 条记录 (耗时 0.017 秒)
