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公开(公告)号:CN109791371A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780061213.7
申请日:2017-05-15
Abstract: 本发明的图案描绘装置(EX)具备:位置计测部(MU),其计测应藉由多个描绘单元(Un)描绘的基板(P)上的被曝光区域的位置;第1调整构件(HVP),其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案相对于被曝光区域的位置误差减少,而根据利用位置计测部(MU)计测出的位置对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中于第2方向上进行调整;及第2调整构件(AOM1),其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案于第2方向上的接合误差减少,而对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中以高于第1调整构件(HVP)的响应性在第2方向上进行调整。
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公开(公告)号:CN108957739A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201810799228.X
申请日:2018-07-19
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: G02B26/12 , G01N21/01 , G01N21/255 , G01N21/31 , G01N21/41 , H01S3/0057
Abstract: 本发明公开了一种适应于超短脉冲超连续白光光源的Z扫描装置,解决了现有存在着采用超连续白光作为光源,用光谱仪为探测器,一次性测得较大波长范围内连续的非线性谱线,但由于目前连续白光多采用飞秒激光泵浦液态或固态非线性介质所实现,所产生的连续白光的功率和稳定性通常较低,导致测得信号的信噪比较差,只能用来测试具有较高非线性效应的材料。而对一些非线性效应较低的材料,比如浓度较稀的液体,厚度较薄的薄膜等测量效果不理想。另外,目前所采用的连续白光Z扫描装置多采用透镜聚焦模式,考虑到透镜对飞秒激光脉宽的影响,此种模式仅适合于单波长和较为窄带的连续白光多次扫描的技术问题。
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公开(公告)号:CN108427250A
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201810147684.6
申请日:2018-02-13
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 今井雄一郎
CPC classification number: H04N1/00525 , G02B7/182 , G02B26/123 , G02B26/124 , G02B26/127 , G03G15/04072 , G03G15/043 , G03G15/1605 , H04N1/0283 , H04N1/0312 , H04N1/29 , H04N2201/0094 , G03G15/04036 , G02B26/12
Abstract: 本发明涉及光扫描设备和成像设备。光扫描设备包括:第一保持器,该第一保持器附接至壳体上并且构造成保持第一激光源;第二保持器,该第二保持器附接至壳体上并且构造成保持第二激光源;以及激光首先入射至的透镜,其中,第一保持器和第二保持器在旋转多面镜的旋转轴线方向上和透镜的光轴方向上的相互不同的位置处附接至壳体上,使得从第一激光源至旋转多面镜的第一入射光路位于从第二激光源至旋转多面镜的第二入射光路与透镜之间,并且第一保持器和第二保持器在该旋转轴线方向上相互重叠。
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公开(公告)号:CN108351511A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201680065367.9
申请日:2016-10-10
Applicant: 奥托尼克斯有限公司
Abstract: 本发明公开一种光学扫描仪。本发明的光学扫描仪,包括:外壳;旋转体,在上述外壳内部进行旋转;第一反射面,形成上述旋转体的外面;第二反射面,形成上述旋转体的外面;遮光板,位于上述第一反射面和上述第二反射面之间,从上述旋转体向上述外壳的内面延长;发光部,向上述第一反射面提供光;及受光部,检测被上述第二反射面反射的光。
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公开(公告)号:CN105518511B
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201480048765.0
申请日:2014-09-02
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N1/00909 , G02B7/00 , G02B26/12 , G02B27/0006 , G03G15/04036 , H04N1/00551 , H04N1/113 , H04N2201/0094
Abstract: 光学扫描装置的盖构件和透明构件之间的密封性被提高以提高防尘性能。光学扫描装置包括用于密封盖构件70和玻璃构件90之间的部分的弹性构件75,弹性构件75被形成在盖构件70上以包围开口部42,弹性构件75由与盖构件70的材料不同的材料形成。弹性构件75具有朝向玻璃构件90延伸的突起部75a。突起部75a通过与玻璃构件90接触和弹性变形而填充盖构件70与玻璃构件90之间的间隙。
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公开(公告)号:CN107783281A
公开(公告)日:2018-03-09
申请号:CN201710732185.9
申请日:2017-08-24
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 木村一己
CPC classification number: G03G15/0435 , G02B26/123 , G02B26/124 , H04N1/1135 , H04N2201/0094 , G02B26/12 , G03G15/04072 , H04N1/04
Abstract: 本发明公开了光学扫描设备和包括光学扫描设备的图像形成装置。所述光学扫描设备包括:偏转器,所述偏转器被配置为偏转第一和第二光束以在主扫描方向上扫描第一被扫描表面的有效区域;和第一和第二成像光学系统,所述第一和第二成像光学系统被配置为将由所述偏转器偏转的第一和第二光束分别引导到第一和第二区域,所述第一和第二区域被包括在所述有效区域中并且在所述主扫描方向上彼此不同。在所述主扫描方向上,所述第一区域和第二区域关于光轴在宽度上非对称。
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公开(公告)号:CN103809289B
公开(公告)日:2017-10-27
申请号:CN201310312618.7
申请日:2013-07-24
Applicant: 爱思打印解决方案有限公司
Inventor: 朴基成
CPC classification number: G03G15/04036 , G02B26/12 , G02B26/123 , G02B26/124 , G02B26/125 , G02B26/127
Abstract: 本发明提供一种光扫描单元和包括其的电子照相成像设备。该光扫描单元包括:光源,根据图像信号发射光束;光偏转器,偏转和扫描从光源发射的光束;以及同步探测光学系统,包括通过接收被光偏转器偏转和扫描的光束的一部分来探测同步信号的同步探测传感器和设置在光偏转器与同步探测传感器之间的同步探测透镜,其中同步探测透镜是变形透镜,在该变形透镜中在第一方向上的折射能力和在不同于第一方向的第二方向上的折射能力是不同的,其中同步探测透镜的第一方向关于主扫描方向倾斜,入射到同步探测透镜上的光束在该主扫描方向上被扫描。
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公开(公告)号:CN107078454A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201480083028.4
申请日:2014-12-15
Applicant: 极光先进雷射株式会社
CPC classification number: G02B26/10 , B23K26/0676 , B23K26/352 , G02B26/101 , G02B26/12 , G21K5/08 , G21K5/10 , G21K2201/067 , H01L21/02422 , H01L21/02532 , H01L21/02592 , H01L21/0268 , H01L21/02686 , H01L21/02691 , H01L27/1285
Abstract: 该激光照射装置可以具备:激光装置,其输出脉冲激光;光束扫描光学系统,其将从激光装置输出的脉冲激光分配至多个光路;多个光束均匀器,它们分别配置于多个光路,分别使分配至多个光路的脉冲激光的光强分布均匀化;以及控制部,其将光束扫描光学系统控制成,将从激光装置输出的脉冲激光按照每个脉冲分配至多个光路。
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公开(公告)号:CN105683809B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201480059096.7
申请日:2014-12-22
Applicant: 京瓷办公信息系统株式会社
Inventor: 正木彰洋
CPC classification number: G03G21/20 , G02B26/10 , G02B26/12 , G02B26/121 , G02B26/124 , G03G15/04 , G03G15/04036 , G03G21/043 , H04N1/00984 , H04N1/113
Abstract: 本发明提供一种具有光学扫描装置(6)的图像形成装置,该光学扫描装置(6)具有光源、光偏转器(30)、光学组件(40)及光学箱(50),其中,光偏转器(30)沿着铅直方向延伸,且该光偏转器(30)以转轴为中心在水平面上转动;光学箱(50)支承于彩色打印机的框架(60)上,且该光学箱(50)内收装有光源、光偏转器(30)及光学组件(40)。在光偏转器(30)与框架(60)之间配置有散热器(36)。在散热器(36)上形成有沿着光偏转器(30)的转轴的轴向延伸的第1突部(37),在框架(60)上形成有与第1突部(37)相卡合的第1卡合孔(61)。
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公开(公告)号:CN106489093A
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201580034744.8
申请日:2015-04-27
Applicant: 株式会社尼康
Inventor: 加藤正纪
CPC classification number: G02B26/10 , G02B26/12 , G02F1/03 , G02F1/11 , G02F1/37 , G03F7/20 , G03F7/24
Abstract: 一种图案描绘装置,通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案,具备:光源装置其用于入射上述激光来生成上述扫描点,包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统,并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描;和多个选择用光学元件(50、58、66),其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换,而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置。(14),其射出上述激光;多个描绘单元(U1~U6),
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