图案描绘装置及图案描绘方法

    公开(公告)号:CN109791371A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780061213.7

    申请日:2017-05-15

    CPC classification number: G02B26/10 G02B26/12 G03F7/20 H05K3/00

    Abstract: 本发明的图案描绘装置(EX)具备:位置计测部(MU),其计测应藉由多个描绘单元(Un)描绘的基板(P)上的被曝光区域的位置;第1调整构件(HVP),其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案相对于被曝光区域的位置误差减少,而根据利用位置计测部(MU)计测出的位置对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中于第2方向上进行调整;及第2调整构件(AOM1),其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案于第2方向上的接合误差减少,而对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中以高于第1调整构件(HVP)的响应性在第2方向上进行调整。

    一种适应于超短脉冲超连续白光光源的Z扫描装置

    公开(公告)号:CN108957739A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810799228.X

    申请日:2018-07-19

    Inventor: 马琳 聂兆刚

    Abstract: 本发明公开了一种适应于超短脉冲超连续白光光源的Z扫描装置,解决了现有存在着采用超连续白光作为光源,用光谱仪为探测器,一次性测得较大波长范围内连续的非线性谱线,但由于目前连续白光多采用飞秒激光泵浦液态或固态非线性介质所实现,所产生的连续白光的功率和稳定性通常较低,导致测得信号的信噪比较差,只能用来测试具有较高非线性效应的材料。而对一些非线性效应较低的材料,比如浓度较稀的液体,厚度较薄的薄膜等测量效果不理想。另外,目前所采用的连续白光Z扫描装置多采用透镜聚焦模式,考虑到透镜对飞秒激光脉宽的影响,此种模式仅适合于单波长和较为窄带的连续白光多次扫描的技术问题。

    光学扫描仪
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108351511A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680065367.9

    申请日:2016-10-10

    Inventor: 徐万炯 刘钟旭

    CPC classification number: G02B26/10 G02B26/12

    Abstract: 本发明公开一种光学扫描仪。本发明的光学扫描仪,包括:外壳;旋转体,在上述外壳内部进行旋转;第一反射面,形成上述旋转体的外面;第二反射面,形成上述旋转体的外面;遮光板,位于上述第一反射面和上述第二反射面之间,从上述旋转体向上述外壳的内面延长;发光部,向上述第一反射面提供光;及受光部,检测被上述第二反射面反射的光。

    光扫描单元和包括其的电子照相成像设备

    公开(公告)号:CN103809289B

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201310312618.7

    申请日:2013-07-24

    Inventor: 朴基成

    Abstract: 本发明提供一种光扫描单元和包括其的电子照相成像设备。该光扫描单元包括:光源,根据图像信号发射光束;光偏转器,偏转和扫描从光源发射的光束;以及同步探测光学系统,包括通过接收被光偏转器偏转和扫描的光束的一部分来探测同步信号的同步探测传感器和设置在光偏转器与同步探测传感器之间的同步探测透镜,其中同步探测透镜是变形透镜,在该变形透镜中在第一方向上的折射能力和在不同于第一方向的第二方向上的折射能力是不同的,其中同步探测透镜的第一方向关于主扫描方向倾斜,入射到同步探测透镜上的光束在该主扫描方向上被扫描。

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