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公开(公告)号：CN118841813A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410880793.4
申请日：2024-07-02
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本申请实施例提供电子快门状态异常的检测电路、方法及激光器。在本申请实施例中提供的电路，包括：与表示电子快门关闭的传感器以及表示电子快门打开的传感器均连接的异或门逻辑电路，以及与异或门逻辑电路连接的或门逻辑电路和定时信号触发电路，定时信号触发电路用于触发定时信号触发电路定时，且输出与或门逻辑电路连接，从而通过或门逻辑电路输出的数字信号确定电子快门是否到位。通过上述电路中的各个逻辑门电路可以较为精准地判断出电子快门是否异常。
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公开(公告)号：CN118263749A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202211675767.5
申请日：2022-12-26
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H01S3/038
摘要： 本发明提供了一种复合电极结构及其应用的准分子激光器，复合电极结构包括电极基带、辅助带和电极定位板；辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内，本发明通过更改电极材料成分及内部结构，改变电极结构不同位置的散热能力，实现放电过程中放电区电极表面电子通量、离子通量及电子温度等的改变，进而改善放电电场的不均匀性，减小电极整体的烧蚀差异，延长电极或放电腔室的使用寿命，同时可以提高准分子激光光源输出激光剂量稳定性及光束的稳定性。
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公开(公告)号：CN118232141A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202211634286.X
申请日：2022-12-19
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0977
摘要： 本发明提供了一种预电离结构及准分子激光器，预电离结构包括放电腔内设置的电极和预电离绝缘介质管；在电极的长度方向上，预电离绝缘介质管和电极之间的间距变化设置。本发明在电极长度方向上，预电离绝缘介质管与电极间距不等，或呈一定规律变化或不规律变化，激波从预电离绝缘介质管返回的放电区域时间则会变的不同，从而可以减弱激波对线宽的影响。
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公开(公告)号：CN113140956B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202010058819.9
申请日：2020-01-18
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置的调谐机构。调谐机构包括输出耦合镜组件和调节组件；调节组件包括底板，第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，耦合镜组件的定位块可转动地压紧在底板上的凹槽内；本发明提供的激光输出耦合装置的调谐机构有效解决了现有的一体式结构的旋杆调谐时由于摩擦力带来的旋转不畅现象。
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公开(公告)号：CN111006776B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201911354950.3
申请日：2019-12-25
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明提供了一种基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置，包括：检测模块，用于测量激光器产生的激光光束的中心波长并获取FP波长计测量所述激光光束过程中产生的温漂校准数据；以及控制器，用于根据温漂校准数据，计算得到温漂校准参数，根据温漂校准参数调整激光光；检测模块包括阴极灯、光强探测器等装置。阴极灯和光强探测器能够得到中心波长的漂移量以及设在FP标准具上的温度传感器测得的FP标准具的温度和温度导数，检测模块将测得的多组温漂校准数据传至控制器，控制器进而得到温漂校准参数，并根据温漂校准参数调控线宽压窄模块来对激光器的激光光束中心波长进行控制，解决了FP标准具测量中心波长带来的误差，维持激光器中心波长稳定。
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公开(公告)号：CN110262195B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201910623282.3
申请日：2019-07-11
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明涉及能量探测领域，具体涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。该能量探测电路首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的电压信号，消除光电二极管电流电压转换过程中拖尾信号对测试结果的影响。其次，滤波之后单个脉冲的电压信号经过比较器来触发触发器，触发器的下降沿时间可以调节，触发器触发控制开关电路，开关电路控制经过有源滤波电路之后的积分电路，同时积分电路通过改变可变电容器容值来改变最终的输出电压值。与现有技术相比，本发明电路简单，易于实现，能有效提高能量测量的精度和准确性。
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公开(公告)号：CN113779860B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202110224539.5
申请日：2021-03-01
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G06F30/27 , G06N3/0442 , G06N3/084
摘要： 本发明公开了一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置。该方法包括如下步骤：建立用于准分子激光器能量模型辨识的门控循环网络；在多个预设时间内，以单个激光脉冲方式设置能量采集条件，采集用于准分子激光器能量模型辨识的训练数据集；采用训练数据集对已建立的门控循环网络进行训练，达到终止训练条件时，结束训练并得到准分子激光器能量模型。利用本发明所提供的方法，所辨识的准分子激光器能量模型产生的脉冲能量与实际脉冲能量的最大误差小于1.5％，可以满足准分子激光器能量特性控制的仿真需求。
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公开(公告)号：CN114544143B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202011367431.3
申请日：2020-11-27
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本公开提供了一种激光器集成测试装置的外置多功能接头，包括：连接组件，所述连接组件呈贯通的中空管状，包括：第一连接部，用于与激光器集成测试装置的箱体连接，使得所述外置多功能接头固定连接于所述激光器集成测试装置的箱体外部；以及第二连接部，设置于所述激光器集成测试装置的箱体外部，用于连接光纤和/或光电二极管；匀光片组件，包括：匀光片，所述匀光片置于所述第一连接部内部中空结构中；匀光片固定件，所述匀光片固定件呈环状，用于将所述匀光片固定于所述第一连接部内部中空结构中。
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公开(公告)号：CN117816374A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202211191320.0
申请日：2022-09-28
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司 , 北京航天河科技发展有限公司
摘要： 本发明提供了一种金属氟化物颗粒捕集方法及装置，涉及准分子激光器技术领域，其中金属氟化物颗粒捕集装置包括一个或若干个颗粒净化模块；颗粒净化模块包括主体、第一集尘板、第二集尘板和高压电极；第一集尘板和所述第二集尘板平行于所述流动方向布设，且若干个所述第一集尘板和所述第二集尘板依次交替地且相互平行间隔地设置在所述主体上；高压电极设置在空气流道的入口处或入口的外部，所述第一集尘板和/或所述第二集尘板通电后在空气流道内形成电场；本申请设置多个串联或并联设置的空气流道，净化能力和效果高，长时间使用后不容易堵塞，气体流动通畅；以及高压电极设置在空气流道入口处或入口外部，在被腐蚀或损坏后，便于更换维护。
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