微机电式麦克风
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108449702A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810151536.1

    申请日:2018-02-14

    Abstract: 微型机电麦克风可以包括:参考电极,布置在所述参考电极的第一侧并且能够通过待检测的声音移动的第一膜,以及布置在与参考电极的第一侧相对的所述参考电极的第二侧上并且能够通过待检测的声音移动的第二膜。第一膜和第二膜中的一个的、通过声音相对于参考电极移动的区域,不取决于其相对于参考电极的位置,该区域可以包括平坦部分以及邻近该平坦部分并且在膜的与第一膜和第二膜中另一个的重叠区域中布置的波纹部分。

    半导体器件和方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112420817A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202010849467.9

    申请日:2020-08-21

    Abstract: 公开了半导体器件和方法。提供了一种半导体器件,其包括具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的复合层。复合层包括台面和第一绝缘层。台面具有顶表面、底表面和侧面,侧面嵌入在第一绝缘层中。台面包括基于III族氮化物的多层结构,基于III族氮化物的多层结构提供基于III族氮化物的器件,基于III族氮化物的器件具有被布置在台面的顶表面上的第一电极和第二电极,并且第一绝缘层由氧化物材料和/或氮化物材料形成。第一外部接触和第二外部接触定位在复合层的第二表面上。第一导电通孔延伸通过第一绝缘层并且被电耦合到台面的顶表面上的第一电极和第一外部接触。第二导电通孔延伸通过第一绝缘层并且被电耦合到台面的顶表面上的第二电极和第二外部接触。

    微机电式麦克风
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108449702B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201810151536.1

    申请日:2018-02-14

    Abstract: 微型机电麦克风可以包括:参考电极,布置在所述参考电极的第一侧并且能够通过待检测的声音移动的第一膜,以及布置在与参考电极的第一侧相对的所述参考电极的第二侧上并且能够通过待检测的声音移动的第二膜。第一膜和第二膜中的一个的、通过声音相对于参考电极移动的区域,不取决于其相对于参考电极的位置,该区域可以包括平坦部分以及邻近该平坦部分并且在膜的与第一膜和第二膜中另一个的重叠区域中布置的波纹部分。

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