具有嵌入式加热元件的热发射器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113567381A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110470399.X

    申请日:2021-04-28

    Abstract: 本公开总体上涉及具有嵌入式加热元件的热发射器。热发射器(1)包括由基底(3)支撑的独立膜(2),其中独立膜(2)在横向延伸中包括中心区段(2‑1)、传导中间区段(2‑2)和边界区段(2‑3),其中传导中间区段(2‑2)横向地围绕中心区段(2‑1)并且与中心区段(2‑1)电隔离,传导中间区段(2‑2)包括被包封在绝缘材料中的导电半导体材料,以及其中边界区段(2‑3)至少部分地围绕中间区段(2‑2)并且与传导中间区段(2‑1)电隔离,其中穿孔(4)穿过边界区段(2‑3)而形成。

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