用于气体传感器设备的方法和处理设备

    公开(公告)号:CN111220660B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN201911155774.0

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本公开的实施例涉及用于气体传感器设备的方法和处理设备。根据一个实施例,一种为气体传感器设备提供校准数据的方法,该方法包括:将气体传感器设备的气敏材料暴露于目标气体的不同的、已调节的目标气体浓度,响应于已调节的目标气体浓度来确定气敏材料的电阻的测量值,基于作为已调节的目标气体浓度的函数的气敏材料的电阻的测量值来确定第一气体传感器行为模型,将第一气体传感器行为模型转换为相应的第二气体传感器行为模型,以及基于第二气体传感器行为模型,在控制电压范围内扫描控制电压,以提供控制电压相关电阻数据。

    MEMS麦克风
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109525928B

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201811089999.6

    申请日:2018-09-18

    Abstract: 本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括:声音检测单元以及阀。声音检测可以包括:第一膜;与第一膜间隔布置的第二膜;被提供在第一膜和第二之间的低压区域,在该低压区域中存在与常压相比较小的气压;至少部分地布置在低压区域中的反电极;以及声通孔,该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处,并且设置成能够取多个阀状态,其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。

    MEMS麦克风
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109525928A

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201811089999.6

    申请日:2018-09-18

    Abstract: 本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括:声音检测单元以及阀。声音检测可以包括:第一膜;与第一膜间隔布置的第二膜;被提供在第一膜和第二之间的低压区域,在该低压区域中存在与常压相比较小的气压;至少部分地布置在低压区域中的反电极;以及声通孔,该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处,并且设置成能够取多个阀状态,其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。

    MEMS泵
    9.
    发明公开
    MEMS泵 有权

    公开(公告)号:CN112343801A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN202010721059.5

    申请日:2020-07-24

    Abstract: 一种MEMS泵,包括基部结构,与基部结构相对并可平行于基部结构的表面法线偏转的膜结构,并且包括基部结构和膜结构之间的泵腔,其中,泵腔的容积基于膜结构相对于基部结构的位置。MEMS泵包括通道,该通道被构造成让流体进入泵腔或离开泵腔,其中,通道相对于泵腔布置在平面内。MEMS泵包括阀结构,该阀结构流体耦接到通道,并且被构造成在第一状态下将通道连接到第一外部容积以便将流体提供至泵腔,并且用于在第二状态下将通道连接到第二外部容积以便将流体提供至第二外部容积。

    用于气体传感器设备的方法和处理设备

    公开(公告)号:CN111220660A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201911155774.0

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本公开的实施例涉及用于气体传感器设备的方法和处理设备。根据一个实施例,一种为气体传感器设备提供校准数据的方法,该方法包括:将气体传感器设备的气敏材料暴露于目标气体的不同的、已调节的目标气体浓度,响应于已调节的目标气体浓度来确定气敏材料的电阻的测量值,基于作为已调节的目标气体浓度的函数的气敏材料的电阻的测量值来确定第一气体传感器行为模型,将第一气体传感器行为模型转换为相应的第二气体传感器行为模型,以及基于第二气体传感器行为模型,在控制电压范围内扫描控制电压,以提供控制电压相关电阻数据。

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