公开(公告)号：CN112399311B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。

公开(公告)号：CN110225441B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN201910179629.X

申请日：2019-02-28

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·菲尔德纳 ,  N·德米勒里 ,  B·戈勒 ,  U·克伦拜恩 ,  G·洛宁格 ,  G·托索里尼 ,  A·韦斯鲍尔

IPC: H04R19/04

公开(公告)号：CN112399311A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。

公开(公告)号：CN110225441A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910179629.X

申请日：2019-02-28

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·菲尔德纳 ,  N·德米勒里 ,  B·戈勒 ,  U·克伦拜恩 ,  G·洛宁格 ,  G·托索里尼 ,  A·韦斯鲍尔

IPC: H04R19/04

Abstract: 本申请涉及一种MEMS模块(100)。该MEMS模块包括：具有内部容积(V)的壳体(130)，其中壳体(130)具有朝内部容积(V)的声音开口(132)；壳体(130)中与声音开口(132)相邻的MEMS组件(110)；以及层元件(138)，该层元件(138)至少局部地布置在壳体(130)的面向内部容积(V)的表面区域(134-1、136-1)处，其中层元件(138)具有层材料，该层材料比层元件(138)相邻的壳体(130)的壳体材料具有更低的热导率，并且可选地具有更高的热容量。