公开(公告)号：CN112399311B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。

公开(公告)号：CN116946963A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310391403.2

申请日：2023-04-13

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： H-J·蒂姆 ,  S·巴曾 ,  M·富尔德纳 ,  S·盖勒 ,  M·F·赫曼 ,  M·基里亚克 ,  A·C·奥纳兰 ,  K·特卡丘克 ,  A·沃瑟

IPC: B81B7/02

Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件。MEMS器件包括以竖直间隔配置的第一可偏转膜结构、刚性电极结构和第二可偏转膜结构，其中刚性电极结构被布置在第一和第二可偏转膜结构之间，并且其中第一和第二可偏转膜结构各自包括可偏转部分，并且其中第一和第二可偏转膜结构的可偏转部分借助机械连接元件彼此机械耦合，并且与刚性电极结构机械解耦；以及其中机械连接元件的至少一个子集是细长机械连接元件，其中细长机械连接元件具有横向截面区域，横向截面区域沿着如下方向具有横向伸长尺寸：该方向与第一和第二可偏转膜结构在相应细长机械连接元件的横向位置处的局部膜偏转梯度在+/‑20°公差范围内垂直。

公开(公告)号：CN112399311A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。