公开(公告)号：CN110116985B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201910110532.3

申请日：2019-02-02

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·西格尔 ,  W·弗里扎 ,  S·盖斯勒

IPC: B81C1/00

Abstract: 实施例提出了用于制造薄层(或具有薄层的微系统)的方法。该方法包括提供载体衬底的步骤。此外，该方法包括在载体衬底上提供层堆叠的步骤，其中该层堆叠具有载体层和牺牲层，其中该牺牲层具有露出载体层的区域。此外，该方法包括在层堆叠上提供薄层的步骤，使得薄层在牺牲层上并且在牺牲层的露出载体层的区域中贴靠在载体层处。此外，该方法包括从薄层开始至少部分地去除牺牲层的步骤，以便至少局部地消除在薄层和牺牲层之间的接触。此外，该方法包括从载体层剥离薄层的步骤。

公开(公告)号：CN112399311A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。

公开(公告)号：CN112399311B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202010794187.2

申请日：2020-08-10

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： W·克莱因 ,  E·安格罗普洛斯 ,  S·巴曾 ,  M·菲尔德纳 ,  S·盖斯勒 ,  M·F·赫曼 ,  U·克鲁宾 ,  K·特卡丘克 ,  G·托索里尼 ,  J·瓦格纳

IPC: H04R7/10

Abstract: 公开了一种用于双背板换能器的膜支撑件。一种微加工结构，包括：可偏转膜、在可偏转膜的第一表面的第一夹持层、在可偏转膜的第二表面的第二夹持层、在第一夹持层上的第一穿孔背板以及在第二夹持层上的第二穿孔背板，其中，第一夹持层包括第一锥形边缘部分，该第一锥形边缘部分在第一穿孔背板与可偏转膜之间具有负斜率。

公开(公告)号：CN110116985A

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201910110532.3

申请日：2019-02-02

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·西格尔 ,  W·弗里扎 ,  S·盖斯勒

IPC: B81C1/00

Abstract: 实施例提出了用于制造薄层(或具有薄层的微系统)的方法。该方法包括提供载体衬底的步骤。此外，该方法包括在载体衬底上提供层堆叠的步骤，其中该层堆叠具有载体层和牺牲层，其中该牺牲层具有露出载体层的区域。此外，该方法包括在层堆叠上提供薄层的步骤，使得薄层在牺牲层上并且在牺牲层的露出载体层的区域中贴靠在载体层处。此外，该方法包括从薄层开始至少部分地去除牺牲层的步骤，以便至少局部地消除在薄层和牺牲层之间的接触。此外，该方法包括从载体层剥离薄层的步骤。