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公开(公告)号：CN112291694A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202010721799.9
申请日：2020-07-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·韦斯鲍尔 , P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔 , A·卡斯帕尼 , N·德米勒里 , M·菲尔德纳
IPC: H04R23/00
Abstract: 公开了MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法。MEMS换能器，包括第一和第二差分MEMS传感器设备。第一差分MEMS传感器设备包括用于提供第一差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。第二差分MEMS传感器设备包括用于提供第二差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。一种偏置电路，用于将第一偏置电压提供给第一差分MEMS传感器设备的第三电极结构，并将第二偏置电压提供给第二差分MEMS传感器设备的第三电极结构，第一偏置电压和第二偏置电压相对于参考电压对称地偏移。读出电路被配置为以反并行方式组合第一差分输出信号和第二差分输出信号。
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公开(公告)号：CN108358159A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810078258.1
申请日：2018-01-26
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R3/04 , H04R2201/003 , H04R2410/03
Abstract: 提供一种微机电系统（MEMS）电路和用于重构干扰参量的方法。MEMS电路具有：MEMS装置，被设置成产生MEMS信号；控制电路，被设置成检测至少一个装置的接通或断开状态，并且至少部分地根据接通或断开状态产生控制信号；重构滤波器，被设置成使用所产生的控制信号来确定可以部分地由所述至少一个装置产生的干扰信号；以及减法器，被设置成从MEMS信号中减去所确定的干扰信号。
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公开(公告)号：CN117221802A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310680866.0
申请日：2023-06-09
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及应用到MEMS麦克风系统的电容线性化方法。一种麦克风包括：微机电系统(MEMS)器件，响应于声波或振动、具有耦合到第一节点的输出；可编程增益放大器或源极跟随器，具有耦合到第二节点的输入以及用于生成模拟信号的输出，其中MEMS器件输出和可编程增益放大器或源极跟随器输入包括具有第一电容‑电压(CV)分布的第一非线性等效电容；以及非线性电容组件，耦合到第一节点、第二节点，以及至少一个参考电压节点，其中非线性电容组件包括具有第二CV分布的第二非线性等效电容。
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公开(公告)号：CN117177133A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310647543.1
申请日：2023-06-02
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R3/00
Abstract: 一种麦克风包括：具有用于响应于输入声波或振动而生成模拟电压的输出节点的MEMS器件；具有耦合到MEMS器件的输出节点的控制节点、耦合在第一受控节点与第二受控节点之间的电流路径、以及体节点的源极跟随器，其中第一受控节点被配置用于提供麦克风输出电压，并且其中第二受控节点耦合到参考电压；耦合到第一受控节点的电流源；以及第一受控节点与体节点之间的电压差，其中电压差的非零值被配置为使得麦克风输出电压的第一1％总谐波失真(THD)交叉点大于使用零值电压差的麦克风输出电压的第二1％THD交叉点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117163912A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310642564.4
申请日：2023-06-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 提供了一种MEMS设备和用于操作MEMS设备的方法。该MEMS设备包括具有至少第一压电换能器区域的压电换能器元件和可偏转结构，其中可偏转结构包括压电换能器元件。MEMS设备还包括控制电路系统，该控制电路系统被配置为基于可偏转结构的偏转，从压电换能器元件的第一区域至少读出第一传感器信号。控制电路系统还被配置为从所读出的第一传感器信号中确定控制信号，其中控制信号在被提供给压电换能器元件时对可偏转结构的偏转具有抵消作用。控制电路系统被配置为向压电换能器元件提供控制信号，用于抵消可偏转结构的偏转。
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公开(公告)号：CN112291694B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202010721799.9
申请日：2020-07-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·韦斯鲍尔 , P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔 , A·卡斯帕尼 , N·德米勒里 , M·菲尔德纳
IPC: H04R23/00
Abstract: 公开了MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法。MEMS换能器，包括第一和第二差分MEMS传感器设备。第一差分MEMS传感器设备包括用于提供第一差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。第二差分MEMS传感器设备包括用于提供第二差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。一种偏置电路，用于将第一偏置电压提供给第一差分MEMS传感器设备的第三电极结构，并将第二偏置电压提供给第二差分MEMS传感器设备的第三电极结构，第一偏置电压和第二偏置电压相对于参考电压对称地偏移。读出电路被配置为以反并行方式组合第一差分输出信号和第二差分输出信号。
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公开(公告)号：CN116614756A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310117244.7
申请日：2023-02-15
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R17/02
Abstract: 本公开涉及MEMS设备。一种MEMS设备100包括：压电换能器(120)，具有第一频率行为，其中所述压电换能器(120)包括压电修整区域(TR)；以及控制电路装置(140)，被配置为向所述压电换能器(120)的所述压电修整区域(TR)提供偏置信号(SBIAS)以调节所述压电换能器(120)的第二频率行为。
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公开(公告)号：CN115334425A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210507686.8
申请日：2022-05-10
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及具有无源声学衰减滤波器的MEMS器件。一种MEMS器件(10)包括用于提供内容积(24)的封装、被布置在内容积(24)中的MEMS麦克风(12)、通过封装到达内容积(24)的声音端口(14)、以及声学耦合到声音端口(14)的无源声学衰减滤波器(16)。
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