支撑结构和形成支撑结构的方法

    公开(公告)号:CN104902408A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510098410.9

    申请日:2015-03-05

    Abstract: 本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构,包括载体;悬置结构;以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构,其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括:在载体上形成保持结构;在保持结构上形成悬置结构;成形保持结构,以使其具有凹陷形状;以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。

    MEMS模块
    6.
    发明公开
    MEMS模块 审中-实审

    公开(公告)号:CN110225441A

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201910179629.X

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本申请涉及一种MEMS模块(100)。该MEMS模块包括:具有内部容积(V)的壳体(130),其中壳体(130)具有朝内部容积(V)的声音开口(132);壳体(130)中与声音开口(132)相邻的MEMS组件(110);以及层元件(138),该层元件(138)至少局部地布置在壳体(130)的面向内部容积(V)的表面区域(134-1、136-1)处,其中层元件(138)具有层材料,该层材料比层元件(138)相邻的壳体(130)的壳体材料具有更低的热导率,并且可选地具有更高的热容量。

    支撑结构和形成支撑结构的方法

    公开(公告)号:CN104902408B

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201510098410.9

    申请日:2015-03-05

    Abstract: 本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构,包括载体;悬置结构;以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构,其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括:在载体上形成保持结构;在保持结构上形成悬置结构;成形保持结构,以使其具有凹陷形状;以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。

    声音换能器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108810775A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810374143.7

    申请日:2018-04-24

    Abstract: 本公开涉及声音换能器。一种声音换能器,包括具有声音端口的壳体和布置在壳体的内部空间中的MEMS结构。MEMS结构和声音端口彼此声学耦合。MEMS结构将壳体的前腔与后腔分离。MEMS结构的至少一个通气孔允许前腔和后腔之间的气体交换。声音端口允许液体进入前腔。此外,MEMS结构防止液体进入后腔。

    声音换能器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108810775B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201810374143.7

    申请日:2018-04-24

    Abstract: 本公开涉及声音换能器。一种声音换能器,包括具有声音端口的壳体和布置在壳体的内部空间中的MEMS结构。MEMS结构和声音端口彼此声学耦合。MEMS结构将壳体的前腔与后腔分离。MEMS结构的至少一个通气孔允许前腔和后腔之间的气体交换。声音端口允许液体进入前腔。此外,MEMS结构防止液体进入后腔。

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