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公开(公告)号:CN113912001A
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202110777581.X
申请日:2021-07-09
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及用于玻璃上传感器的方法和结构。用于在衬底上提供半导体层布置的方法包括:提供具有功能层和半导体衬底层的半导体层布置;将半导体层布置附接到玻璃衬底层,使得功能层被布置在玻璃衬底层与半导体衬底层之间;以及至少部分地去除半导体衬底层,使得玻璃衬底层代替作为半导体层布置的衬底的半导体衬底层。
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公开(公告)号:CN105848080A
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201610074312.6
申请日:2016-02-02
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明的各个实施例涉及用于集成的换能器和温度传感器的系统和方法。根据实施例,换能器包括集成在单个裸片上的微制造元件和耦合至微制造元件的接口IC。微制造元件包括声学换能器和温度传感器,并且接口IC电耦合至声学换能器和温度传感器。
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公开(公告)号:CN114778609A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202210069802.2
申请日:2022-01-21
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本公开的各实施例涉及确定目标气体的浓度的校准测量值的气体感测设备和方法。一种用于确定目标气体的浓度的已校准测量值的方法包括基于目标气体的浓度获取测量信号的步骤。该方法还包括基于测量信号和基于校准模型确定已校准测量值的步骤。校准模型基于与传感器单元具有相同类型的多个测试传感器单元的校准数据。
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公开(公告)号:CN105430583B
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201510580611.2
申请日:2015-09-11
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R29/004 , H04R2201/003
Abstract: 依据一实施例,换能器系统包括:换能元件和耦接至所述换能元件的差分输出的对称检测电路。该换能元件包括信号板、第一感测板以及第二感测板。该对称检测电路被配置为基于差分输出中的非对称而输出误差信号。
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公开(公告)号:CN104902408A
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201510098410.9
申请日:2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构,包括载体;悬置结构;以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构,其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括:在载体上形成保持结构;在保持结构上形成悬置结构;成形保持结构,以使其具有凹陷形状;以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。
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公开(公告)号:CN110225441A
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201910179629.X
申请日:2019-02-28
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本申请涉及一种MEMS模块(100)。该MEMS模块包括:具有内部容积(V)的壳体(130),其中壳体(130)具有朝内部容积(V)的声音开口(132);壳体(130)中与声音开口(132)相邻的MEMS组件(110);以及层元件(138),该层元件(138)至少局部地布置在壳体(130)的面向内部容积(V)的表面区域(134-1、136-1)处,其中层元件(138)具有层材料,该层材料比层元件(138)相邻的壳体(130)的壳体材料具有更低的热导率,并且可选地具有更高的热容量。
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公开(公告)号:CN104902408B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201510098410.9
申请日:2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构,包括载体;悬置结构;以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构,其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括:在载体上形成保持结构;在保持结构上形成悬置结构;成形保持结构,以使其具有凹陷形状;以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。
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公开(公告)号:CN108810775A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201810374143.7
申请日:2018-04-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本公开涉及声音换能器。一种声音换能器,包括具有声音端口的壳体和布置在壳体的内部空间中的MEMS结构。MEMS结构和声音端口彼此声学耦合。MEMS结构将壳体的前腔与后腔分离。MEMS结构的至少一个通气孔允许前腔和后腔之间的气体交换。声音端口允许液体进入前腔。此外,MEMS结构防止液体进入后腔。
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公开(公告)号:CN108810775B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201810374143.7
申请日:2018-04-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本公开涉及声音换能器。一种声音换能器,包括具有声音端口的壳体和布置在壳体的内部空间中的MEMS结构。MEMS结构和声音端口彼此声学耦合。MEMS结构将壳体的前腔与后腔分离。MEMS结构的至少一个通气孔允许前腔和后腔之间的气体交换。声音端口允许液体进入前腔。此外,MEMS结构防止液体进入后腔。
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