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公开(公告)号：CN113945906A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202110761891.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01S7/481 , G01S7/4861 , G01S17/08 , G01S17/894
Abstract: 本公开涉及扫描系统和扫描方法。例如，一种扫描系统，包括：扫描结构，被配置为围绕至少一个第一扫描轴旋转；驱动器，被配置为围绕至少一个第一扫描轴驱动扫描结构，并且在扫描结构的移动期间检测扫描结构相对于至少一个第一扫描轴的位置；分段像素传感器，包括布置在像素区域中的多个子像素元件；以及控制器，被配置为选择性地激活和停用多个子像素元件成为至少一个激活簇和至少一个停用簇，以由至少一个激活簇形成至少一个激活像素，从驱动器接收指示扫描结构的检测位置的第一位置信息，并且基于第一位置信息动态地改变激活的子像素元件的聚类和停用的子像素元件的聚类。
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公开(公告)号：CN117221802A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310680866.0
申请日：2023-06-09
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及应用到MEMS麦克风系统的电容线性化方法。一种麦克风包括：微机电系统(MEMS)器件，响应于声波或振动、具有耦合到第一节点的输出；可编程增益放大器或源极跟随器，具有耦合到第二节点的输入以及用于生成模拟信号的输出，其中MEMS器件输出和可编程增益放大器或源极跟随器输入包括具有第一电容‑电压(CV)分布的第一非线性等效电容；以及非线性电容组件，耦合到第一节点、第二节点，以及至少一个参考电压节点，其中非线性电容组件包括具有第二CV分布的第二非线性等效电容。
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公开(公告)号：CN111796417B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202010250301.5
申请日：2020-04-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及用于微机电系统反射镜的同步的方法和系统。一种多反射镜系统，包括第一反射镜，其被配置为围绕第一轴线振荡；第二反射镜，其被配置为围绕第二轴线振荡；第一驱动器，其被配置为驱动第一反射镜的振荡，检测第一反射镜的第一过零事件，并且基于检测的第一过零事件来生成第一位置信号；第二驱动器，其被配置为驱动第二反射镜的振荡，检测第二反射镜的第二过零事件，并且基于检测的第二过零事件来生成第二位置信号；以及同步控制器，其被配置为接收第一位置信号和第二位置信号，并且基于第一位置信号和第二位置信号来分别使第二反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个与第一反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个同步。
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公开(公告)号：CN115242191A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210430190.5
申请日：2022-04-22
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H03B5/30
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及用于振荡MEMS反射镜的功率优化的驱动信号切换方案。一种振荡器驱动器系统包括振荡器结构和驱动器电路。振荡器结构包括被配置为接收转子电压的转子端子和被配置为接收定子电压的定子端子，并且振荡器结构根据转子电压与定子电压之间的电压差围绕旋转轴线被驱动。驱动器电路被配置为生成驱动信号并且输出驱动信号作为转子电压，其中驱动信号以致动频率在低电压电平与高电压电平之间切换以围绕旋转轴线驱动振荡器结构，并且其中定子电压是固定电压。低电压电平和高电压电平大于定子电压，使得随着驱动信号分别在低电压电平与高电压电平之间切换，电压差在低电压差与高电压差之间切换。
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公开(公告)号：CN111796417A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010250301.5
申请日：2020-04-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及用于微机电系统反射镜的同步的方法和系统。一种多反射镜系统，包括第一反射镜，其被配置为围绕第一轴线振荡；第二反射镜，其被配置为围绕第二轴线振荡；第一驱动器，其被配置为驱动第一反射镜的振荡，检测第一反射镜的第一过零事件，并且基于检测的第一过零事件来生成第一位置信号；第二驱动器，其被配置为驱动第二反射镜的振荡，检测第二反射镜的第二过零事件，并且基于检测的第二过零事件来生成第二位置信号；以及同步控制器，其被配置为接收第一位置信号和第二位置信号，并且基于第一位置信号和第二位置信号来分别使第二反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个与第一反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个同步。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119178536A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410801754.0
申请日：2024-06-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及电容式MEMS传感诊断模式。一种压力传感器包括：微机电系统(MEMS)设备，具有：第一输出焊盘、第二输出焊盘，以及以桥配置布置的第一压敏电容器元件、第二压敏电容器元件、第一参考电容式元件和第二参考电容式元件；以及与所述MEMS设备进行电气通信的专用集成电路(ASIC)，具有：第一输入焊盘和第二输入焊盘、包括第一输入和第二输入的测量接口、被耦合在所述第一输入焊盘和所述第二输入焊盘之间的第一开关以及被耦合在所述测量接口的所述第二输入和所述ASIC的所述第二输入焊盘之间的第二开关。
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公开(公告)号：CN110687520B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201910602313.7
申请日：2019-07-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01S7/497
Abstract: 本公开涉及MEMS振荡结构不对称和周期性抖动的检测和补偿，提供了用于补偿误差的系统和方法。一种系统包括：微机电系统(MEMS)振荡结构，被配置为围绕旋转轴振荡；相位误差检测器，被配置为基于围绕旋转轴振荡的MEMS振荡结构的测量事件时间和期望事件时间来生成相位误差信号；以及补偿电路，被配置为接收相位误差信号，去除相位误差信号中的周期性抖动分量以生成补偿相位误差信号，并输出补偿相位误差信号。
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公开(公告)号：CN115704885A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210975152.8
申请日：2022-08-15
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01S7/481 , G01S7/4861 , G01S7/4865 , G01S17/08 , G01B7/00 , G01M13/00 , G02B26/08 , H03L7/08
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及微机电系统轴的耦合效应的检测、校正和补偿。一种振荡器控制系统包括振荡器结构，该振荡器结构被配置为根据利萨茹图案围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线振荡，其中围绕第二旋转轴线的振荡将交叉耦合误差施加到围绕第一旋转轴线的振荡上，并且其中交叉耦合误差根据利萨茹图案内的利萨茹位置而改变；以及包括锁相环(PLL)的驱动器电路，该PLL被配置为调节驱动信号，该驱动信号驱动围绕第一旋转轴线的振荡。PLL被配置为基于围绕第一旋转轴线的振荡的相位误差生成PLL信号。PLL包括补偿电路，该补偿电路被配置为接收PLL信号和利萨茹图案内的利萨茹位置，将补偿值应用于PLL信号以生成用于基于利萨茹位置生成驱动信号的已补偿PLL信号。
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公开(公告)号：CN113534109A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110431623.4
申请日：2021-04-21
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01S7/497 , G01S17/894 , G01S17/14
Abstract: 本公开各实施例涉及振荡器控制系统的延迟测量、监测和补偿。振荡器控制系统，包括：振荡器结构；相位误差检测器，被配置为基于经延迟的事件时间信号和经延迟的参考信号生成相位误差信号；模拟信号路径，被耦合在振荡器结构与相位误差检测器之间，模拟信号路径被配置为接收事件时间信号并产生经延迟的事件时间信号；控制电路，被配置为生成参考信号；可编程延迟电路，被配置为接收参考信号并在参考信号上引起可编程延迟，生成经延迟的参考信号；模拟延迟测量电路，被配置为将测试信号注入模拟信号路径、从模拟信号路径接收经延迟的测试信号、测量经延迟的测试信号的模拟延迟和生成配置信号，配置信号被配置为根据所测量的模拟延迟调整可编程延迟。
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公开(公告)号：CN111198441A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201911086767.X
申请日：2019-11-08
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开涉及自适应和上下文感知的微机电系统(MEMS)镜控制。一种系统可以包括微机电系统(MEMS)镜和MEMS驱动电路。MEMS驱动电路可以获取与MEMS镜相关联的多项监测信息。多项监测信息可以包括以下各项中的至少一项：从与MEMS镜相关联的一个或多个传感器接收的传感器信息，或者从与系统相关联的控制器接收的操作信息。MEMS驱动电路可以基于多项监测信息，确定MEMS镜的状态。MEMS驱动电路可以基于MEMS镜的状态，适配与控制MEMS镜相关联的镜控制参数。
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