公开(公告)号：CN118981073A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202411355096.3

申请日：2024-09-26

申请人： 业桓科技(成都)有限公司 ,  业成科技(成都)有限公司 ,  业成光电(深圳)有限公司 ,  英特盛科技股份有限公司

发明人： 黄军

IPC分类号： G02B6/00 ,  G02B26/08 ,  G02B27/01

摘要： 本申请提供一种光波导结构，包括第一波导、分光模块、光耦出元件以及控制模块。第一波导具有相对的第一表面以及第二表面，用于接收并引导图像光。分光模块包括多个调制单元，调制单元用于接收并反射图像光。光耦出元件包括均设置于第一表面的第一光耦出部以及第二光耦出部，光耦出元件用于接收并耦出从分光模块出射的图像光。控制模块与调制单元电连接，用于向调制单元施加供电电压。其中，调制单元根据供电电压的大小产生不同的形变量，控制模块用于通过控制调制单元的形变以控制图像光的出射方向，以使图像光从第一光耦出部和/或第二光耦出部耦出。本申请还提供一种包括上述光波导结构的增强现实显示装置。

公开(公告)号：CN118974663A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031639.3

申请日：2023-03-29

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： C·里克特

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/185 ,  G02B26/08

摘要： 一种用于控制和测量致动器(200)的控制装置(100)，所述致动器(200)用于致动光学系统(300)的光学元件(310)，所述控制装置(100)具有：电压测量单元(130)，所述电压测量单元(130)用于提供指示基于特定模型(M)借助于激励信号(y(t))控制的致动器(200)的时间相关电压(u)的测量电压(U)，所述激励信号(y(t))包括用于测量所述致动器(200)的阻抗(Z)的至少一个正弦测量信号分量；电流测量单元(140)，所述电流测量单元(140)用于提供指示由激励信号(y(t))控制的致动器(200)的时间相关电流(i)的测量电流(I)；第一匹配滤波器单元(150)，所述第一匹配滤波器单元(150)用于使用所提供的测量电压(U)和激励信号(y(t))的特定模型(M)来估计在致动器(200)处产生的测量信号分量的电压幅度(aU)和相关相位(φU)；第二匹配滤波器单元(160)，用于使用所提供的测量电流(I)和激励信号(y(t))的特定模型(M)来估计在致动器(200)处产生的测量信号分量的电流幅度(aI)和相关相位(φI)；以及计算单元(170)，其被配置为基于估计的电压幅度(aU)、估计的相关相位(φU)、估计的电流幅度(aI)和估计的相关相位(φI)来计算致动器(200)的阻抗(Z)。

公开(公告)号：CN118946850A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202380030164.6

申请日：2023-03-22

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： H·兹维克 ,  T·哈特 ,  M·希伦布兰德 ,  S·里克特 ,  R·阿梅林 ,  F·哈克

IPC分类号： G03F7/00 ,  G02B26/08

摘要： 本发明涉及一种光学设备(1)，特别是用于光刻系统(100、200)，包括：具有至少一个光学表面(3)的至少一个光学元件(2)；具有用于倾斜光学元件(2)的光学表面(3)的一个或多个致动器(4)；以及具有用于感测光学表面(3)从静止位置的倾斜的测量装置(5)。根据本发明，测量装置(5)包括形成闭合测量部分(7)的至少一个波导(6)，其中波导(6)被设计为输入耦合并传播测量光束(8)的一种或多种模式，并且其中波导(6)被布置为使得光学表面(3)的倾斜影响传播通过波导(6)的测量光束(8)，其中测量装置(5)被设计为感测由光学表面(3)的倾斜引起的对测量光束(8)的影响。

公开(公告)号：CN118946837A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202380028238.2

申请日：2023-02-24

申请人： santec Holdings株式会社

发明人： 桜井康树

IPC分类号： G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G02F1/13

摘要： 本公开涉及一种光开关，其具备一个以上的多芯光纤、透镜、液晶偏振光栅、以及MEMS倾斜镜阵列。在MEMS倾斜镜阵列中，多个MEMS倾斜镜分别构成为，以如下方式切换输入光的传播路径，即，通过以由控制器控制的倾斜角反射来自对应的一个芯的输入光，而使得对应的反射光传播至由控制器选择的一个芯。液晶偏振光栅配置成，使得来自与多个MEMS倾斜镜中的每一个MEMS倾斜镜分别对应的一个芯的输入光穿过液晶偏振光栅，并作为零阶衍射光入射至对应的MEMS倾斜镜。

公开(公告)号：CN115053148B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202180012845.0

申请日：2021-02-05

申请人： AMS-欧司朗国际有限公司

发明人： 马西莫·卡塔尔多·马齐洛 ,  约翰·拉姆琴科 ,  扬·马费尔德

IPC分类号： G01S17/88 ,  G01S17/42 ,  G01S17/89 ,  G01S7/481 ,  G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  H04N9/31

摘要： 一种光像素投射模块(1300)，包括像素光源(1302)、光像素投射组件(1304)和用于测量到外部物体(O)的距离的光学ToF测量组件(1306)，所述ToF测量组件(1306)包括ToF光源(1322)、用于将入射光束(IL)分成反射的主光束分量(ILm)和透射衰减的次光束分量(ILs)的分束光学装置(1304)，和基于APD的ToF光电检测器(1324)。分束光学装置(1304)布置在由ToF光源(1322)发射的光束(IL)的光路中，使得它将每个光束(IL)分成离开模块(1300)并朝向外部物体(O)前进的主光束分量(ILm)和留在模块(1300)内并撞击ToF光电检测器(1324)的次光束分量(ILs)。分束光学装置(1304)还用作所述光像素投射组件(1304)。

公开(公告)号：CN118915314A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410748040.8

申请日：2024-06-11

申请人： 中光学集团股份有限公司 ,  南阳利达光电有限公司

发明人： 李智超 ,  刘维娜 ,  王瑜 ,  贾贺臣 ,  孙旭涛 ,  武春萌 ,  章杰 ,  王艳秋 ,  羊琨

IPC分类号： G02B27/01 ,  F21V5/04 ,  F21V7/00 ,  F21V9/14 ,  G02B5/20 ,  G02B1/10 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  B60K35/23 ,  G02B27/18 ,  G02B27/09 ,  G02B27/28 ,  G02B26/08 ,  G02B3/00 ,  G03B21/14 ,  H04N9/31

摘要： 本发明提出一种虚像方式信息显示系统，能够提供高亮度、低功耗且无重影，能够向观看者显示适宜图像的技术。该装置向图像显示装置提供特定偏振方向的光。该光源装置包括点状或面状的光源、用于减小光源发散角的光学手段以及具有减小光源发散角并将光传播到图像显示装置的反射面的光学元件。光学元件的反射面通常垂直配置于图像显示装置，朝向图像显示装置的一侧设置透镜，以控制从光学元件射入图像显示装置的光源光。通过在面光源和图像显示装置之间的光路中仅使用一个光学元件，就可以减小来自光源的光束发散角。

公开(公告)号：CN118915305A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202411119283.1

申请日：2024-08-15

申请人： 中国科学院半导体研究所

发明人： 杨晋玲 ,  李金潮

IPC分类号： G02B26/08

摘要： 本公开提供了一种变形镜，包括薄膜镜面、极头、致动器阵列和基座。致动器采用预紧力外壳封装的压电柱，并阵列化布置，与基座连接，通过极头固定镜面。该变形镜通过减小致动器尺寸并使用强预紧力，提高谐振频率；通过降低镜面厚度，使镜面快速跟随驱动力变化，减少响应时间；通过极头确保有效驱动力传递并减少应力干扰，从而显著提升变形镜的动态性能。

公开(公告)号：CN118908146A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410967801.9

申请日：2024-07-18

申请人： 陕西科技大学

发明人： 李晨 ,  杨宣 ,  陈帅

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B5/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

摘要： 本申请公开了一种MEMS微镜、制造方法及基于该微镜的二维电磁式微扫描镜，属于电子信息技术领域，包括磁体底盒，磁体底盒内设置有环形磁铁组，环形磁铁组上方设置有MEMS微镜，MEMS微镜上方设置有窗口盖，窗口盖与磁体底盒的上端固定；电磁式驱动微镜能够在较低的外加电压下可实现大角度的偏转，具有电流线性驱动的优势；采用以MEMS微镜为核心的扫描执行器件，可进一步优化激光雷达系统体积和成本和能耗，提高系统的集程度，具有体积小、功耗低、扫描速度高、集成度高的优点。磁驱动取代了大体积的旋转电机，且单个MEMS微镜就可以实现激光束的二维图案化扫描，等效的多线激光扫描的竖直方向分辨率更高且相较于多组激光发射接收模组的性价比更高。

公开(公告)号：CN118884719A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411396983.5

申请日：2024-10-09

申请人： 苏州英谷激光科技股份有限公司

发明人： 朱卓 ,  于雷 ,  崔晓敏

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B26/08

摘要： 一种快速调节像散的方法及其激光扩束器，快速调节像散的方法包括如下步骤：S01、基于高斯光学传输矩阵，建立光束通过时的棱镜入射角和像散补偿值之间的函数关系，基于需要补偿的像散值，确定棱镜入射角；S02、设置棱镜、第一反射镜和第二反射镜的初始位置，并保证光束依次通过棱镜、第一反射镜和第二反射镜后光束的输入与输出同轴，本发明通过棱镜、第一反射镜和第二反射镜的配合，在调节像散过程中，使光束输入与输出同轴。即设置棱镜、第一反射镜和第二反射镜的初始位置，再在初始位置的基础上同步调节三者偏转角度，以补偿像散，即可保证调节后的光束输入与输出同轴。

公开(公告)号：CN113060698B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202010002569.7

申请日：2020-01-02

申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

发明人： 钱磊 ,  沈文江

IPC分类号： B81B5/00 ,  B81B7/02 ,  G02B26/08 ,  G05D3/20

摘要： 本发明公开了一种基于温度补偿与应力反馈的MEMS微镜装置及其角度调节方法，MEMS微镜装置包括MEMS微镜、集成于所述转轴上的压阻传感器和温度传感器，通过事先制作Rt‑T标定曲线、U‑T标定曲线，在工作过程中只需测量压阻传感器的实时输出电压U测和温度传感器的电阻阻值Rt，结合Rt‑T标定曲线、U‑T标定曲线调节驱动电压即可对MEMS微镜的转角进行实时调节。本发明同时考虑到应力和温度两方面的因素对于压阻传感器的输出信号的影响，引入只检测温度因素的影响而不感受应力的温度传感器，将温度的变化单独检测出来，从而达到隔离温度因素影响的目的，根据温度变化情况生成反馈信号来调节驱动电压，实现MEMS微镜的转角稳定的驱动补偿。