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公开(公告)号:CN108875718B
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN201811118902.X
申请日:2018-09-25
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: G06V40/16 , G06V10/147
摘要: 本发明公开了人脸识别系统及其扫描装置,所述扫描装置包括红外激光器、透镜以及扫描振镜。所述红外激光器用于发出红外激光;所述透镜用于将所述红外激光汇聚于所述扫描振镜上,使所述红外激光经过所述扫描振镜的反射后在被扫描对象的表面上形成光强分布均匀的扫描线;所述扫描振镜用于通过转动控制所述扫描线在被扫描对象的表面上进行移动,以生成用于检测被扫描对象的红外图像。所述扫描装置仅需设置所述透镜和扫描振镜,便可将所述红外激光器的红外激光投影到被扫描对象的表面上形成扫描线,相比于现有技术,其有着结构简易,体积较小,功耗较低以及检测精度较高等优点。
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公开(公告)号:CN110389444A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201810354073.9
申请日:2018-04-19
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: G02B26/10
摘要: 本发明公开了一种垂直梳齿静电驱动微镜结构,包括:第一基片,所述第一基片包括至少两个梳齿结构,所述梳齿结构包括动梳齿和静梳齿,所述动梳齿和所述静梳齿之间具有高度差。本发明也公开了一种上述垂直梳齿静电驱动微镜结构的制造方法。本发明还公开了一种包括上述垂直梳齿静电驱动微镜结构的驱动微镜。本发明的垂直梳齿静电驱动微镜结构简化了工艺,实现了动静梳齿的自对准,并且通过组装实现动梳齿与静梳齿间的高度可控。
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公开(公告)号:CN107085314A
公开(公告)日:2017-08-22
申请号:CN201710386345.9
申请日:2017-05-26
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
CPC分类号: G02B27/48 , G03B21/2033
摘要: 本发明公开了一种低散斑激光光源,其特征在于,所述低散斑激光光源包括封装在壳体内的多个半导体激光器,所述多个半导体激光器呈M行×N列的阵列排布;其中,M和N均为整数,且M≥1,N≥2。本发明还公开了包含了应用如上所述低散斑激光光源的投影装置。本发明实施例提供的低散斑激光光源,其可以发出低相干性的激光,其应用于投影装置中,可以有效地抑制激光散斑的对比度。
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公开(公告)号:CN104931741A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201410101105.6
申请日:2014-03-19
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要: 本发明提供的一种微探针,包括主体支撑部和测试探针,所述测试探针包括测试悬臂梁,所述微探针还包括与主体支撑部固定连接的边翼,所述测试悬臂梁与边翼呈一整体结构。该微探针不仅可以通过与主体支撑部固定连接的边翼控制测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的尺寸精度,从而保证微探针的测试悬臂梁和压力监测悬臂梁的弹性指数的均匀性。而且,还可以利用压力监测探针监测测试探针与测试样品之间的接触情况,从而避免测试样品出现凸起、小孔、沾污等缺陷而导致测试失败的情况。
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公开(公告)号:CN116081565A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202310083487.3
申请日:2023-02-08
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要: 本发明公开了提供了一种射频MEMS开关的制作方法及其结构,射频MEMS开关的制作方法包括:提供第一衬底,在第一衬底上形成共面波导和第一电极,第一电极连接共面波导;提供第二衬底,在第二衬底上形成触点结构;将第一衬底设置有共面波导的一侧与第二衬底形成有触点结构的一侧阳极键合,触点结构与共面波导对应设置且触点结构与共面波导之间形成有间隙;在第二衬底背离触点结构的一侧形成与第一电极对应的第二电极;在完成键合后,刻蚀第二衬底,形成可动梁结构。本发明的射频MEMS开关的制作方法,其能够避免阳极键合时所加外加电场对射频MEMS开关的可动电极组件造成的影响,提高开关的可靠性。
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公开(公告)号:CN111257979A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN202010067269.7
申请日:2020-01-20
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要: 本发明公开了一种激光扫描装置,包括激光器、反射镜和控制器,其中,反射镜能够反射激光器所发生的激光的同时,还能够检测该激光的光强度并将所检测的光强度信息传递给控制器,控制器根据该光强度信息调节激光器的输出。本发明增加了检测激光器的激光光强度的反馈控制,而且还保持了激光扫描装置原来的体积。本发明还公开了上述反射镜的制作方法。
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公开(公告)号:CN110876048A
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201911202845.8
申请日:2019-11-29
申请人: 上海汽车集团股份有限公司 , 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: H04N9/31
摘要: 本申请公开了一种激光扫描投影系统,由于第一预设平面与所述第一单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此扫描激光在入射到第一单轴MEMS振镜的反射面上形成第一反射激光时,第一反射激光不会由于第一单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲;同样的,由于第二预设平面与所述第二单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此第二单轴MEMS振镜反射形成的扫描光束也不会由于第二单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲,从而使得最终形成在屏幕上的图像不会存在明显的不对称畸变,实现降低激光扫描投影系统投影图像的畸变的目的,避免了现有技术中的激光扫描投影系统投影的图像畸变明显且难以矫正的问题。
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公开(公告)号:CN110764254A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201910940597.0
申请日:2019-09-30
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要: 本发明公开了可编译的结构光投影系统,所述可编译的结构光投影系统包括图像编译单元、控制中心、光源、MEMS微镜以及反馈单元等器件。图像编译单元用于根据输入的编译语言对待投影的结构光的图案信息进行编译;控制中心用于控制光源向MEMS微镜发射光线,以MEMS微镜向待测物的表面投射扫描光束,同时根据生成的图案信息控制MEMS微镜进行转动,形成预设的结构光图案;反馈单元用于获取MEMS微镜的转动信息,计算获得扫描光束投射在待测物上的位置信息并反馈至控制中心。由此,系统可以自由地对每一个像素进行编程,可以投射多个不同种类、高分辨率的结构光图案,系统还具有结构简易、功耗低、对光的高利用率以及泛用性强的优点。
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公开(公告)号:CN110753212A
公开(公告)日:2020-02-04
申请号:CN201810812081.3
申请日:2018-07-23
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: H04N9/31
摘要: 本发明公开了本发明提供一种互动激光投影系统,其包括图像投影显示模块,用于通过扫描微镜将激光偏转反射至投影面,以形成具有可见光图像和红外图像的虚拟互动界面;图像采集模块,至少用于采集所述虚拟互动界面上的红外图像;图像处理模块,至少用于根据采集到的所述红外图像分析获得互动指令;其中,所述图像投影显示模块还用于执行所述互动指令以形成匹配的可见光图像。本发明的一种互动激光投影系统,以解决现有技术中采用DLP或者LCOS的投影方式导致的体积大、功耗大、成本高的问题。
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公开(公告)号:CN109343293A
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201810978382.3
申请日:2018-08-27
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要: 本发明公开了一种静电驱动装置,所述静电驱动装置包括静电驱动器件、连接件以及用于安装光学器件的安装台,所述连接件连接所述静电驱动器件和所述安装台,所述静电驱动器件驱动所述安装台进行移动,从而调整所述安装台的位置。本发明还公开了一种光学装置。本发明的静电驱动装置相比现有技术采用音圈电机驱动进行防抖,本发明采用静电力驱动,不会产生磁场的干扰,可以缩小整个摄像头模组的设计尺寸,功耗也大大减小。
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