具备具有开口的板簧的镜子器件

    公开(公告)号:CN109725414A

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201811280732.5

    申请日:2018-10-30

    Abstract: 本公开提供了具备具有开口的板簧的镜子器件。一种镜子器件包括框架、布置在框架中并且围绕旋转轴线可旋转的镜体、连接在镜体与框架之间的支撑梁、以及关于镜体围绕旋转轴线的旋转提供扭转刚度的至少一个板簧。板簧的最大厚度小于其最小宽度,其中板簧具有减小其厚度或在厚度方向上穿透板簧的开口。

    MEMS镜特性的监控
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111090086B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN201911012326.5

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本公开涉及MEMS镜特性的监控,具体提供了用于监控微机电系统(MEMS)振荡结构的特性的系统和方法。一种系统包括:MEMS振荡结构,被配置为非线性谐振器,以围绕旋转轴振荡;驱动器,被配置为根据操作响应曲线来生成用于驱动MEMS振荡结构围绕旋转轴的驱动力,在此期间MEMS振荡结构处于谐振,驱动器还被配置为当MEMS振荡结构处于预定倾斜角时降低驱动力,以诱发MEMS振荡结构的振荡衰减;测量电路,被配置为测量MEMS振荡结构在衰减周期期间的振荡频率和倾斜角幅度;以及处理电路装置,被配置为基于测量的振荡频率和测量的倾斜角幅度中的至少一个来确定MEMS振荡结构的至少一个特性。

    微机电系统(MEMS)反射镜的同步

    公开(公告)号:CN111796417B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202010250301.5

    申请日:2020-04-01

    Abstract: 本公开的实施例总体上涉及用于微机电系统反射镜的同步的方法和系统。一种多反射镜系统,包括第一反射镜,其被配置为围绕第一轴线振荡;第二反射镜,其被配置为围绕第二轴线振荡;第一驱动器,其被配置为驱动第一反射镜的振荡,检测第一反射镜的第一过零事件,并且基于检测的第一过零事件来生成第一位置信号;第二驱动器,其被配置为驱动第二反射镜的振荡,检测第二反射镜的第二过零事件,并且基于检测的第二过零事件来生成第二位置信号;以及同步控制器,其被配置为接收第一位置信号和第二位置信号,并且基于第一位置信号和第二位置信号来分别使第二反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个与第一反射镜的振荡的相位或频率中的至少一个同步。

    选择性地改变视场的大小的LIDAR系统

    公开(公告)号:CN112213731A

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN202010569000.9

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 本公开的实施例总体上涉及选择性地改变视场的大小的LIDAR系统。提供了一种光检测和测距(LIDAR)系统(100)。该LIDAR系统(100)包括至少两个激光器(110a,110b),被配置为发射对齐的光束(112a,112b);以及反射镜(115),被配置为使由激光器(110a,110b)发射的光束(112a,112b)偏转。反射镜被支撑为相对于反射镜(115)的轴线(117)可枢转,以便允许光束(112a,112b)扫描LIDAR系统(100)的视场(120)。LIDAR系统(100)还包括驱动器(130)和控制器(140),该驱动器(130)被配置为驱动反射镜(115)进入振荡。该控制器(140)被配置为控制至少一个激光器(110a,110b),以便选择性地改变视场(120)的大小;以及/或者控制驱动器(130),以便选择性地改变视场(120)的大小。

    具有可配置范围和视场的检测系统

    公开(公告)号:CN110275152A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910188543.3

    申请日:2019-03-13

    Abstract: 本公开涉及具有可配置范围和视场的检测系统。一种由激光雷达检测系统执行的方法包括操作检测器设备的像素传感器的2D像素阵列以检测扫描仪设备的目标区域中的对象,其中扫描仪设备通过朝向目标区域发射激光来扫描目标区域;当扫描仪设备扫描目标区域时识别扫描仪设备的位置;根据扫描仪设备的位置来选择2D像素阵列的像素传感器的用于读取的一部分以检测对象,其中像素传感器的该部分通过感测从对象反射的激光来检测对象;以及基于对2D像素阵列的像素传感器的该部分的测量来确定对象的特性,其中该测量对应于从对象反射的激光。

    用于光检测和测距(LIDAR)系统的过采样和发射器拍摄模式

    公开(公告)号:CN111751842B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202010218755.4

    申请日:2020-03-25

    Abstract: 本公开涉及用于光检测和测距(LIDAR)系统的过采样和发射器拍摄模式。光检测和测距(LIDAR)系统包括LIDAR发射器和控制器。由控制器驱动的LIDAR发射器利用激光束扫描视场,其中每个激光束具有的光束宽度在投射到视场中时与视场的角度区域一致。LIDAR发射器在第一扫描中发射第一多个激光束,其中被第一多个激光束覆盖的第一多个角度区域彼此互斥。LIDAR发射器在第二扫描中发射第二多个激光束,其中被第二多个激光束覆盖的第二多个角度区域彼此互斥。第二多个角度区域中的每个角度区域与第一多个角度区域中的不同的对应角度区域部分地重叠。

    摆动体的摆动的幅度检测、幅度调节和方向检测

    公开(公告)号:CN110713164B

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN201910630120.2

    申请日:2019-07-12

    Abstract: 本发明涉及一种用于检测和/或调节摆动体围绕摆动轴线的摆动幅度的设备、用于检测摆动体在围绕摆动轴线摆动期间的运动方向的设备、一种MEMS设备和相应方法,其中摆动体摆动时发生在摆动体的至少一个电极与一个固定电极之间的电容的电容变化,设备具有:检测电路,用于检测表示电容变化量度的信号。此外,存在评估电路用于从信号确定信息,该信息是用于信号中的预定事件距通过摆动的基准位置的时间点的时间间隔的量度,该预定事件对应于摆动体的角位置,其中评估电路被设计为从所确定的信息和摆动体的摆动的所测定的周期计算摆动体的摆动幅度,和/或在使用所确定的信息和所测定的摆动体摆动周期的情况下调节摆动体的摆动幅度。

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