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公开(公告)号：CN119178536A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410801754.0
申请日：2024-06-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及电容式MEMS传感诊断模式。一种压力传感器包括：微机电系统(MEMS)设备，具有：第一输出焊盘、第二输出焊盘，以及以桥配置布置的第一压敏电容器元件、第二压敏电容器元件、第一参考电容式元件和第二参考电容式元件；以及与所述MEMS设备进行电气通信的专用集成电路(ASIC)，具有：第一输入焊盘和第二输入焊盘、包括第一输入和第二输入的测量接口、被耦合在所述第一输入焊盘和所述第二输入焊盘之间的第一开关以及被耦合在所述测量接口的所述第二输入和所述ASIC的所述第二输入焊盘之间的第二开关。
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