一种多用途电感-电容一体化结构

    公开(公告)号:CN108766960A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810522163.4

    申请日:2018-05-28

    IPC分类号: H01L23/64

    CPC分类号: H01L23/642 H01L23/645

    摘要: 本发明公开了一种多用途电感‑电容一体化结构,所述结构包括基板、导电层、功能材料薄膜层和导电线圈层,所述基板的上表面设置有导电层;所述导电层作为电容器下层面电极Q3,其上表面设置有功能材料薄膜层;所述功能材料薄膜层作为电容器介质层和电感磁芯,其上表面设置有导电线圈层;所述导电线圈层作为电容器上层面电极,其导电线圈的外圈末端作为电容器输出信号端Q2,其线圈内端作为电容器输入信号端Q1;所述功能材料薄膜层和导电线圈层的层数相同,至少为一层。本发明通过外接其他电子元件可以构成多种应用于集成电路中的电子器件。本发明能够在很大程度上缩小电感‑电容两种无源器件的尺寸,对微系统集成度的提高具有显著的影响。

    半导体存储器及其电容轮廓形成方法

    公开(公告)号:CN107689362A

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201710919718.4

    申请日:2017-09-30

    IPC分类号: H01L23/64

    摘要: 本发明提供一种半导体存储器及其电容轮廓形成方法,在基底上依次形成第一暂时介质层和第二暂时介质层,对所述第二暂时介质层进行刻蚀形成多个电容图案孔,通过对准所述电容图案孔对所述第一暂时介质层进行等离子体干法刻蚀,形成多个电容轮廓孔,在该等离子体干法刻蚀中施加射频脉冲信号,所述射频脉冲信号具有交替发生的脉冲开时段与脉冲关时段,在所述脉冲关时段所述等离子体干法刻蚀的至少部分反应物被带离反应处,使得形成的所述电容轮廓孔的侧壁具有不同的斜度,从而使得半导体存储器中的电容器轮廓较垂直化,由此避免了电容器之间短路现象的发生,提高最终形成的半导体存储器的性能。