一种飞秒激光近场增强加工辅助装置及方法

    公开(公告)号:CN115945788B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202310031755.7

    申请日:2023-01-10

    Abstract: 本发明提供一种飞秒激光近场增强加工辅助装置及方法,所述装置包括第一进气阵列、第二进气阵列和加工平台,第一进气阵列和第二进气阵列均位加工平台上,第一进气阵列和第二进气阵列相对设置,且第一进气阵列和第二进气阵列之间形成飞秒激光加工区域;第一进气阵列和第二进气阵列均包括至少一个进气管、进气管支撑模块和微纳颗粒微管,且进气管和微纳颗粒微管分别位于进气管支撑模块的两侧,进气管和微纳颗粒微管的延伸方向相互垂直,微纳颗粒微管靠近和远离进气管的一侧均设置有开口。本发明提供的飞秒激光近场增强加工辅助装置仅需要数量较少的微纳颗粒即可实现飞秒激光近场增强加工,节省材料,最大程度上保证了每次加工的可控性和可重复性。

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