单片集成半导体结构
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108346556A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201711439435.6

    申请日:2012-04-25

    发明人: B·库纳特

    IPC分类号: H01L21/02

    摘要: 本发明涉及单片集成半导体结构。具体地,本发明涉及一种包含下列层结构的单片集成半导体结构:A)基于掺杂的或未掺杂的Si的载体层,B)任选地具有组成BxAlyGazNtPv的层,C)具有组成BxAly-GazInuPvSbw的松弛层,D)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNt的用于阻断失配位错的层,E)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNtAsr的用于异质偏移的层,和F)任意的优选第III/V族的半导体材料或几种不同的任意半导体材料的组合,其中所有第III族元素的上述化学计量指数的总和始终为1,和其中所有第V族元素的上述化学计量指数的总和也始终为1。

    制造III/VSi模板的方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103548114B

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201280016643.4

    申请日:2012-01-25

    发明人: B.库纳特

    IPC分类号: H01L21/02

    摘要: 本发明涉及制造单片模板的方法,该模板包含Si晶片,在该Si晶片表面上外延施加有III/V半导体层,该III/V半导体的晶格常数与Si的相差小于10%,所述方法包括以下步骤:A)任选地,使Si晶片表面脱氧,B)任选地,在脱氧的Si晶片表面上外延生长Si层,C)任选地,对该Si晶片表面或该Si层表面进行烘烤步骤和/或蚀刻步骤,D)在350‑650℃的晶片温度下,在该Si晶片表面上或者在步骤A)‑C)之一的过程中所形成的表面上外延生长III/V半导体层,生长速率是0.1‑2μm/h,层厚是1‑100nm,E)在500‑800℃的晶片温度下,在步骤D)所获得的层上外延生长与步骤D)所施加的III/V半导体相同或者不同的III/V半导体层,生长速率是0.1‑10μm/h,层厚是10‑150nm。