包括纳米晶须的探针结构、其制造方法以及形成纳米晶须的方法

    公开(公告)号:CN1826662A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200480020840.9

    申请日:2004-01-07

    申请人: 库纳诺公司

    IPC分类号: G12B21/02 D01F9/08 G12B21/10

    CPC分类号: D01F9/08 G01Q60/54 G01Q70/12

    摘要: 一种用于扫描探针显微镜的探针结构包括从直立的尖端元件(4、26)的自由端部凸出并与尖端元件整体形成的纳米晶须(16、34)。在另一个实施例中,数据存储介质包括纳米晶须(54)阵列,每一纳米晶须由磁性材料形成,纳米晶须的直径使得单个铁磁畴存在于纳米晶须内,优选具有不大于大约25nm的直径且更优选为不大于大约10nm;以及读取/写入结构,该结构包括用于注入自旋极化电子流到阵列的选定纳米晶须中的探针结构,该探针结构或者用于检测纳米晶须中的磁化方向或者用于迫使纳米晶须处入所需磁化方向。当探针纳米晶须使用催化粒子熔融物通过VLS工艺形成时,晶须可以形成一个牺牲区段,用于通过选择性蚀刻区段以去除催化材料。