半导体镀膜用掺杂改性元素锌基合金溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN117660899A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311681209.4

    申请日:2023-12-08

    Abstract: 本发明涉及一种半导体镀膜用掺杂改性元素锌基合金溅射靶材的制备方法,属于金属溅射靶材材料制备领域。制备方法包括备料、合金化熔炼、离心铸造成形、同步水冷快速凝固和表面机加工等步骤。通过惰性气流保护冶炼、高频感应加热、浸入式加料、旋转叶片均匀搅拌、充压式离心铸造、同步水冷快速凝固以及表面机加工,可以制备圆形、矩形和异形不同规格尺寸的靶材。该制备方法可以解决活泼金属元素难以掺杂锌基溅射靶材难题,获得较高含量的掺杂元素成分合金,制得靶材具有内部元素掺杂分布均匀、晶粒尺寸小、体积缺陷少等优点,并且有效减少靶材机加工工作量,具备生产效率快、成品率高、成本低等优点。

    一种钎剂中有效化学成分的测定方法

    公开(公告)号:CN112730143A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011532337.9

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种钎剂中有效化学成分的测定方法,属于成分分析技术领域。该方法取三个平行试样,一个试样装入烧杯并加入水,然后升温,使试样溶解,分离出不溶物,测Na+、B3+含量;另一个试样装入烧杯并加入盐酸,使试样溶解,测Ca2+、F‑含量;再一个试样装入坩埚并置于马弗炉内,然后升温脱水,最后随炉冷却并称重,测试样的含水量。本发明方法测定的是钎剂中的有效成分,测定结果直观、准确,通过检测可以直接确定钎剂是否能满足使用要求,能减少质量异议,能保证产品的可靠性稳定性。本发明的测定方法适于含硼化物和氟化物的钎剂中各组分的测定方法,还可应用于其他钎剂中有相同组分的测定。

    一种Al-Ag-Ge-Mg-Ti铝基中温真空钎料及其制备方法

    公开(公告)号:CN106312363A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201610784834.5

    申请日:2016-08-30

    CPC classification number: B23K35/286 B23K35/40

    Abstract: 一种Al-Cu-Ag-Ge-Mg-Ti铝基中温真空钎料及其制备方法,钎料组成为:Cu 15-25wt%、Ag 15-25wt%、Ge 5-15wt%、Mg 1-5wt%,Ti 0.01-0.5wt%,Al余量。该钎料的熔化温度低:460~500℃,在520~530℃便能实现铝合金真空钎焊,钎焊工艺性好,具有良好的润湿性,钎焊润湿角≤20°,焊着率≥90%,焊缝抗拉强度≥95MPa,适于多种铝合金中温钎焊以及分级真空钎焊。制备方法包括:配料,制备中间合金,合金拉铸,固溶处理,热挤压,等温轧制+精密等变形量轧制。采用该制备方法可制备出厚度0.10±0.05mm、宽度大于100mm规格的箔状钎料。

    一种电子封装用低温焊料及其制备方法

    公开(公告)号:CN117260060A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311373652.5

    申请日:2023-10-23

    Abstract: 本发明涉及一种电子封装用低温焊料及其制备方法,属于电子封装材料技术领域。该焊料中Sn含量45‑50wt%,Ag含量1.0‑2.0wt%,Ti含量1.5‑2.5wt%,Ir含量0.05‑0.1wt%,Ga含量0‑0.5wt%,余量为Bi。采用“预合金化处理‑二次合金化‑快速凝固制带‑在线热处理‑收卷”的工艺流程制备。本发明的电子封装用低温焊料与陶瓷、石英热膨胀系数匹配性好,无需预先金属化和预置中间层即可完成钎焊,可用于直接钎焊SiO2、Al2O3等材料,封装工艺简单高效,且接头都具备良好的机械性能,器件封接后不易发生开裂,成品率高,且制备工艺流程短、有效降低生产成本。

    高性能金钒合金材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110029244A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910428798.2

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种高性能金钒合金材料及其制备方法和应用,该合金主要被应用于硅微波功率晶体管中金属化系统的制备等。该金钒合金中V为0.1-9.9wt%,Au为余量。配料后,用加装有电磁控制的高频感应真空炉设备,并在熔炼过程中开启磁控搅拌,使金属钒充分熔化;向炉体内充氩气;停止加热,将金属熔液浇铸至铸铁模具中,随炉冷却,取出,得到钒含量较高的中间合金锭;将得到的金钒中间合金再用相同的方法与金一起熔化、精炼,得到含钒量较低的金钒合金。用该合金再经过拉拔、轧制、热处理工序,得到丝材、靶材和带材。本发明金钒中间合金具有较高钒含量,且误差范围小,钒含量均匀;满足硅微波功率晶体管中金属化系统制备的要求。

    一种高钪含量铝钪合金及其制备方法

    公开(公告)号:CN106086567B

    公开(公告)日:2018-05-01

    申请号:CN201610677045.1

    申请日:2016-08-16

    Abstract: 本发明提供一种高钪含量铝钪合金及其制备方法,属于高性能铝合金材料制备技术领域。该高钪含量铝钪合金中,钪元素的重量百分含量为55%~70%,其余为铝元素。其制备方法包括:1)筛粉:将铝粉和钪粉分别过不同目数的筛子,筛分出所需粒度的原料;2)配料:分别称取一定量的铝粉和钪粉,并将铝粉、钪粉按照一定质量比例混合;3)研磨:将铝钪混合粉放入球磨机中进行充分研磨,使其混合均匀;4)烧结:将研磨均匀的铝钪混合粉装入模具,使用液压机进行预压后,装炉并设定烧结程序进行烧结制备铝钪合金。通过本发明制备的铝钪合金具有致密度高、钪含量高、成分均匀性好且后续可加工性好的特性,可为特殊领域用溅射靶材提供可靠的原料。

    一种高钪含量铝钪合金及其制备方法

    公开(公告)号:CN106086567A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610677045.1

    申请日:2016-08-16

    CPC classification number: C22C28/00 C22C1/04 C23C14/3414

    Abstract: 本发明提供一种高钪含量铝钪合金及其制备方法,属于高性能铝合金材料制备技术领域。该高钪含量铝钪合金中,钪元素的重量百分含量为55%~70%,其余为铝元素。其制备方法包括:1)筛粉:将铝粉和钪粉分别过不同目数的筛子,筛分出所需粒度的原料;2)配料:分别称取一定量的铝粉和钪粉,并将铝粉、钪粉按照一定质量比例混合;3)研磨:将铝钪混合粉放入球磨机中进行充分研磨,使其混合均匀;4)烧结:将研磨均匀的铝钪混合粉装入模具,使用液压机进行预压后,装炉并设定烧结程序进行烧结制备铝钪合金。通过本发明制备的铝钪合金具有致密度高、钪含量高、成分均匀性好且后续可加工性好的特性,可为特殊领域用溅射靶材提供可靠的原料。

    一种高强度铅基合金钎料及其制备方法

    公开(公告)号:CN112621011B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202011434867.X

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种高强度铅基合金钎料及其制备方法,属于混合集成电路技术领域。该钎料以质量百分比计,组成为:Sn 9.0~10.0wt%、Sb 9.0~10.0wt%、Au 3.5~5.0wt%,Y 2.0~10.0ppm、Gd 2.0~10.0ppm、Co 2.0~10.0ppm,Pb为余量。采用中频感应‑电磁搅拌‑快速凝固方法进行钎料合金熔炼,制备出板材;再经超声振动‑等温精轧‑等温拉伸,制成焊箔。该钎料熔化温度适中,为共晶合金,对金属镀层具有良好润湿性,钎焊工艺性好,在合适的工艺下对金镀层熔蚀较小,适用于不同厚度且有力学性能要求的镀金器件,同时可以作为镀金器件分级钎焊焊料。

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