双面电容器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107393909A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:CN201710612407.3

    申请日:2017-07-25

    IPC分类号: H01L23/64 H01L27/108

    CPC分类号: H01L23/642 H01L27/10805

    摘要: 本发明提供一种双面电容器及其制造方法,所述双面电容器包括:半导体衬底,形成有多个内存数组结构中焊盘;双面电容器阵列,形成于所述第一焊盘上,所述双面电容器包括双U型的第一导电层及第二导电层、电容介质以及第三导电层。本发明以多重图案方法以及边界工艺强化的支撑架结构,制造出六方阵列排布的双U型下电极的双面电容器,具有较大的高度与宽度比,可有效提高单位面积下的电容值。

    具有沟槽结构的高容量硅电容器的制造方法

    公开(公告)号:CN107359153A

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201710555249.2

    申请日:2017-07-10

    发明人: 高在洪

    IPC分类号: H01L23/64

    CPC分类号: H01L23/642 H01L28/40

    摘要: 本发明涉及具有沟槽结构的高容量硅电容器的制造方法,属于电容器技术领域。主要技术方案如下:形成沟槽结构;修复沟槽结构粗糙表面;沟槽绝缘层;叠层电极层和介电层;蚀刻电极层和介电层;形成保护层和连接通道;形成外部端子。本发明采用连续叠层的方法形成电极层和介电层,然后连续进行蚀刻,可以防止叠层蚀刻的损伤。采用十字型的沟槽结构,可以防止硅柱子倒下;另外,采用本发明的方法形成硅电容器时只需要一次过孔操作,节约了操作成本。

    一种化合物半导体背金电容的结构及其制作方法

    公开(公告)号:CN107275315A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710390074.4

    申请日:2017-05-27

    发明人: 王勇

    IPC分类号: H01L23/64 H01L21/02

    摘要: 本发明公开了一种化合物半导体背金电容的结构及其制作方法,将MIM电容制作于基底贯穿正面和背面的散热连接口之内,第一电极板、介质层和第二电极板依次层叠且分别沿所述散热连接口内壁延伸以覆盖所述散热连接口的底面和侧面并延伸至覆盖所述散热连接口周边所述基底的背面,其中第一电极板于所述散热连接口底面与所述金属连线层物理接触,第二电极板接地。本发明将MIM电容融合于晶片固有的结构中,在增大电容量的同时显著的减小了其在集成电路中所占的面积,实现了器件小型化;并借由特殊的MIM结构实现了散热,无需另外设置散热柱,简化了结构。