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公开(公告)号:CN112687634A
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN202010093038.3
申请日:2020-02-14
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/31 , H01L25/16 , H01L21/56 , H01L21/60 , H01L23/485 , H01L23/488
Abstract: 提供一种半导体封装及一种半导体封装的制造方法。所述封装包括管芯、层间穿孔、介电膜、后侧膜及焊料膏部分。所述层间穿孔设置在半导体管芯旁边且模塑化合物在横向上环绕管芯及层间穿孔。所述介电膜设置在半导体管芯的后侧上,且所述后侧膜设置在介电膜上。后侧膜的热膨胀系数及杨氏模量中的至少一者比介电膜的热膨胀系数及杨氏模量中的至少一者大。所述焊料膏部分设置在层间穿孔上且位于穿透过介电膜及后侧膜的开口内。具有在开口内位于介电膜与后侧膜之间的界面处的凹槽。本公开提供的结构及方法与包含对已知良好管芯进行中间验证的测试方法结合使用以提高良率。
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公开(公告)号:CN107026093B
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201710057555.3
申请日:2017-01-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本发明实施例揭露一种封装件及方法。其中,所述封装件包括装置裸片;以及囊封材料,囊封所述装置裸片于其中。所述囊封材料具有顶部表面,其与所述装置裸片的顶部表面共平面。线圈是从所述囊封材料的所述顶部表面延伸到所述囊封材料的底部表面,以及所述装置裸片在所述线圈所圈绕的区中。至少一个介电层形成于所述囊封材料以及所述线圈上方。多个重布线在所述至少一个介电层中。所述线圈通过所述重布线电耦合到所述装置裸片。
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公开(公告)号:CN109585309A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201810979949.9
申请日:2018-08-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本发明的实施例公开了半导体器件及其形成方法。在一个实施例中,一种半导体器件包括:在第一介电层上的导电屏蔽件;在第一介电层和导电屏蔽件上的第二介电层,第一和第二介电层围绕导电屏蔽件,第二介电层包括:沿着导电屏蔽件的外围设置的第一部分;延伸穿过导电屏蔽件的中心区域的第二部分;以及延伸穿过导电屏蔽件的通道区的第三部分,第三部分将第一部分连接至第二部分;在第二介电层上的线圈,线圈设置在导电屏蔽件上方;在第二介电层上的集成电路管芯,集成电路管芯设置在线圈的外部;以及围绕线圈和集成电路管芯的密封剂,密封剂、集成电路管芯和线圈的顶表面是平齐的。
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公开(公告)号:CN108766942A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810410372.X
申请日:2012-12-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/367 , H01L23/057 , H01L23/36 , H01L23/498 , H01L25/065 , H01L21/48
CPC classification number: H01L23/36 , H01L23/057 , H01L23/3672 , H01L23/49816 , H01L23/49822 , H01L23/49827 , H01L24/20 , H01L25/0657 , H01L2224/02379 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/06181 , H01L2224/12105 , H01L2224/131 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2225/06565 , H01L2924/014
Abstract: 本发明公开了一种热增强型堆叠封装。本发明提供了一种提高多芯片和堆叠封装(PoP)应用中热管理的方法和结构。第一基板接合到较小的第二基板,其中,接合到第一基板的散热环环绕第二基板,散热环包括导热材料和高效的散热几何体。第一基板包括产热芯片,且第二基板包括热敏芯片。提出一种方法,该方法提供了能够增强散热以远离热敏芯片的组装结构。
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公开(公告)号:CN103915401B
公开(公告)日:2017-05-03
申请号:CN201310119638.2
申请日:2013-04-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/488 , H01L21/60
CPC classification number: H01L24/13 , H01L23/49811 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L2224/0345 , H01L2224/0401 , H01L2224/05009 , H01L2224/05022 , H01L2224/05124 , H01L2224/05139 , H01L2224/05147 , H01L2224/05572 , H01L2224/1145 , H01L2224/1146 , H01L2224/13005 , H01L2224/13012 , H01L2224/13013 , H01L2224/13014 , H01L2224/13016 , H01L2224/13022 , H01L2224/1308 , H01L2224/13082 , H01L2224/13109 , H01L2224/13111 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13164 , H01L2224/13169 , H01L2224/14155 , H01L2224/16225 , H01L2224/16237 , H01L2224/16238 , H01L2224/81024 , H01L2224/81191 , H01L2224/81203 , H01L2224/81385 , H01L2224/814 , H01L2224/81424 , H01L2224/81444 , H01L2224/81447 , H01L2224/81455 , H01L2224/81464 , H01L2224/81484 , H01L2224/81815 , H01L2924/00012 , H01L2924/1305 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/206 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01029 , H01L2924/014 , H01L2924/01047
Abstract: 本发明公开了封装结构中的细长凸块结构,其中封装结构包括附接至衬底的芯片。芯片包括凸块结构,其包括具有沿着导电柱的长轴测量的长度(L)和沿着导电柱的短轴测量的宽度(W)的导电柱。衬底包括焊盘区域和位于焊盘区域上方的掩模层,其中,掩模层具有露出部分焊盘区域的开口。芯片附接至衬底以在导电柱和焊盘区域之间形成互连件。开口具有沿着长轴测量的第一尺寸(d1)和沿着短轴测量的第二尺寸(d2)。在一个实施例中,L大于d1,而W小于d2。
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公开(公告)号:CN106571694A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201610707968.7
申请日:2016-08-23
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H02J7/025 , H01F27/2804 , H01F38/14 , H01F41/04 , H01F41/042 , H02J7/0042 , H02J7/04 , H02J5/005 , H01F27/28 , H01F2038/143
Abstract: 公开了无线充电器件、无线充电器件制造方法和电子器件的充电方法。在一些实施例中,无线充电器件包括控制器、设置在控制器周围的模塑材料以及设置在模塑材料上方并且连接至控制器的互连结构。该无线充电器件包括连接至控制器的无线充电线圈。该无线充电线圈包括设置在互连结构中的第一部分和设置在模塑材料中的第二部分。该无线充电线圈适应于提供电感以向电子器件充电。
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公开(公告)号:CN103715153A
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN201210586803.0
申请日:2012-12-28
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/367 , H01L21/48
CPC classification number: H01L23/36 , H01L23/057 , H01L23/3672 , H01L23/49816 , H01L23/49822 , H01L23/49827 , H01L24/20 , H01L25/0657 , H01L2224/02379 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/06181 , H01L2224/12105 , H01L2224/131 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2225/06565 , H01L2924/014
Abstract: 本发明公开了一种热增强型堆叠封装。本发明提供了一种提高多芯片和堆叠封装(PoP)应用中热管理的方法和结构。第一基板接合到较小的第二基板,其中,接合到第一基板的散热环环绕第二基板,散热环包括导热材料和高效的散热几何体。第一基板包括产热芯片,且第二基板包括热敏芯片。提出一种方法,该方法提供了能够增强散热以远离热敏芯片的组装结构。
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公开(公告)号:CN101950728B
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201010226312.6
申请日:2010-07-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/60 , H01L23/485
CPC classification number: H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/11462 , H01L2224/11472 , H01L2224/1182 , H01L2224/11849 , H01L2224/11906 , H01L2224/13082 , H01L2224/13111 , H01L2224/13124 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13562 , H01L2224/136 , H01L2924/00013 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01022 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/10329 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099 , H01L2224/13599 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099 , H01L2224/29099 , H01L2224/29599
Abstract: 本发明公开了一种金属柱凸块结构及其形成方法,该方法包括:形成一保护层于一半导体基板之上;形成一导电层于该保护层之上;提供经图案化与经过蚀刻的一阻剂层于该导电层之上,该阻剂层中定义有至少一开口;沉积一金属层于该至少一开口内;沿着介于该阻剂层与该金属层间的一或多个界面蚀刻部分的该阻剂层,以形成多个凹穴;沉积一焊锡材料于该至少一开口内,该焊锡材料填入所述多个凹穴内以及高于该金属层的该开口的一部内;移除剩余的该阻剂层与未形成于该金属层之下的该导电层;以及回焊该焊锡材料以包覆该金属层。本发明可于制造过程中保护金属柱凸块的侧壁。
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公开(公告)号:CN103066053A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201210078637.3
申请日:2012-03-22
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L23/522
CPC classification number: H01L24/16 , H01L23/3114 , H01L23/3192 , H01L23/49811 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/81 , H01L2224/0401 , H01L2224/05022 , H01L2224/05027 , H01L2224/05124 , H01L2224/05166 , H01L2224/05572 , H01L2224/05647 , H01L2224/061 , H01L2224/06132 , H01L2224/13014 , H01L2224/13022 , H01L2224/13027 , H01L2224/1308 , H01L2224/13083 , H01L2224/13111 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13164 , H01L2224/13541 , H01L2224/1405 , H01L2224/141 , H01L2224/16105 , H01L2224/16237 , H01L2924/00014 , H01L2924/01029 , H01L2924/014 , H01L2924/00012 , H01L2924/01047 , H01L2924/206 , H01L2224/05552
Abstract: 本发明涉及一种集成电路的连接件结构,其中,一种管芯包括衬底、衬底之上的金属焊盘和覆盖金属焊盘的边缘部分的钝化层。金属柱形成在金属焊盘的上方。金属柱的一部分与金属焊盘的一部分重叠。金属柱的中心与金属焊盘的中心没有对准。
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公开(公告)号:CN102194760A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201010251089.0
申请日:2010-08-09
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01L24/11 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L2224/03912 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05083 , H01L2224/05184 , H01L2224/05624 , H01L2224/05639 , H01L2224/05647 , H01L2224/11462 , H01L2224/1147 , H01L2224/11849 , H01L2224/13022 , H01L2224/1308 , H01L2224/13083 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13124 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13169 , H01L2224/45144 , H01L2224/48624 , H01L2224/48639 , H01L2224/48647 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01019 , H01L2924/01022 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01084 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种半导体结构及形成半导体装置的方法,其中该半导体结构包括:一基材以及一柱体,基材包括一导电焊盘,该导电焊盘具有一第一宽度,柱体电性耦接于该导电焊盘,该柱体具有一第二宽度,其中该第一宽度比该第二宽度大了大约6微米或6微米以上。本发明提供一凸块底部金属化结构,用于一半导体装置中。一钝化层形成于接触垫上,而暴露接触垫的至少一部分。一保护层,例如一聚酰亚胺层,形成于该钝化层上。该凸块底部金属化结构,例如一导电柱体形成于该接触垫上,使下方的接触垫朝侧向延伸而超过该凸块底部金属化结构一足够大的距离,而避免或减少钝化层与保护层的破裂。
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