具有多栅极绝缘层的半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100373584C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200410001967.8

    申请日:2004-01-16

    CPC classification number: H01L27/11521 H01L27/115 H01L27/11526 H01L27/11543

    Abstract: 本发明提供制造具有多栅极绝缘层的半导体装置的方法以及由此制造的半导体装置。该方法包括在半导体衬底的第一区域和第二区域分别形成垫绝缘层和初始高电压栅极绝缘层。穿过垫绝缘层并掩埋在半导体衬底中的第一隔离层被形成以定义第一区域中的第一有源区,而穿过初始高电压绝缘层并掩埋在半导体衬底中的第二隔离层被形成以定义第二区域中的第二有源区。随后垫绝缘层被去除以露出第一有源区。低电压绝缘层形成在露出的第一有源区上。因此,可以使得在去除垫绝缘层以便在邻近第一隔离层的有源区上形成低电压栅极绝缘层的过程中形成在第一隔离层边缘处的凹陷区域(凹槽区域)的深度被最小化,并且它能够防止凹槽区域形成在第二隔离层的边缘处。

    半导体存储器件
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1095188A

    公开(公告)日:1994-11-16

    申请号:CN94102636.1

    申请日:1994-03-04

    Inventor: 崔正达 徐康德

    CPC classification number: G11C7/18 G11C7/12 G11C17/123

    Abstract: 一种半导体存储器,包括一由双极晶体管构成的电流驱动晶体管,其连接到相应的位线以增加位线电流。该电流驱动晶体管的收集极由一个接地的阱构成,基极由二个相邻选行晶体管的公共漏区构成。其发射极是一与第一层间隔离层及第二层间隔离层分开排列的多晶硅层,它通过接触孔同时被接到基区和位线。该发射极是形成在作为二个相邻选行晶体管公共漏区的基区中的一个掺杂区。这种存储器件具有提高运行速度和提高集成度的能力。

    与非型掩码只读存储器
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1072040A

    公开(公告)日:1993-05-12

    申请号:CN92112534.8

    申请日:1992-10-29

    CPC classification number: G11C17/123 H01L27/112

    Abstract: 一与非型掩码只读存储器包含一串联连于比特线的耗尽型和增强型第一和第二字符串选择晶体管,且多个单元晶体管串联连接于字符串选择晶体管和接地电压端之间,其中增强型字符串选择晶体管的沟道长度长于耗尽型字符串选择晶体管,这样避免了漏电流进入未选的字符串。

    非易失性存储装置、擦除方法及包括该装置的存储系统

    公开(公告)号:CN107068182A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201611218247.6

    申请日:2011-11-16

    Abstract: 本发明提供了一种非易失性存储装置、擦除方法及包括该非易失性存储装置的存储系统。所述非易失性存储装置包括衬底和设置在所述衬底上的多个单元串,所述多个单元串中的每个单元串包括在垂直于所述衬底的方向上堆叠的多个单元晶体管,所述擦除方法包括步骤:将接地电压施加到与所述多个单元串的多个接地选择晶体管相连接的接地选择线;将接地电压施加到与所述多个单元串的多个串选择晶体管相连接的多个串选择线;将字线擦除电压施加到与所述多个单元串的多个存储单元相连接的多个字线;将擦除电压施加到所述衬底;响应所述擦除电压的施加来控制所述接地选择线的电压;和响应所述擦除电压的施加来控制所述多个串选择线的电压。

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