半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN108074910B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN201711083442.7

    申请日:2017-11-07

    Abstract: 一种半导体器件包括:在衬底的第一区域上的第一绝缘夹层和在衬底的第二区域上的第二绝缘夹层;多个第一布线结构,在第一绝缘夹层上,第一布线结构彼此间隔开;多个第二布线结构,分别填充第二绝缘夹层上的多个沟槽;绝缘覆盖结构,选择性地在第一布线结构之间的第一绝缘夹层的表面上以及在第一布线结构的每个的侧壁和上表面上,绝缘覆盖结构包括绝缘材料;第三绝缘夹层,在第一布线结构和第二布线结构上;以及空气间隙,在第一布线结构之间在第三绝缘夹层下面。

    集成电路装置
    3.
    发明公开
    集成电路装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN112713134A

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202010618713.X

    申请日:2020-06-30

    Abstract: 公开了一种集成电路装置。根据发明构思的集成电路装置包括:下布线结构,位于基底上;气隙,布置在下布线结构之间;盖层,覆盖气隙的上表面;蚀刻停止层,共形地覆盖下布线结构的上表面和盖层并且具有突出和凹进结构;绝缘层,覆盖蚀刻停止层;以及上布线结构,穿透绝缘层并且连接到下布线结构的未被覆盖蚀刻停止层的上表面,其中,上布线结构覆盖盖层的上表面的一部分,并且盖层的上表面的水平比下布线结构的上表面的水平高。

    半导体器件
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112242377A

    公开(公告)日:2021-01-19

    申请号:CN202010684555.8

    申请日:2020-07-16

    Abstract: 一种半导体器件包括:第一层间绝缘膜;在第一层间绝缘膜中的导电图案;在导电图案上的电阻图案;上蚀刻停止膜,与电阻图案间隔开,平行于电阻图案的顶表面延伸,并且包括第一金属;下蚀刻停止膜,在导电图案上,平行于第一层间绝缘膜的顶表面延伸,并且包括第二金属;以及在上蚀刻停止膜和下蚀刻停止膜上的第二层间绝缘膜,其中从第二层间绝缘膜的顶表面到上蚀刻停止膜的顶表面的距离小于从第二层间绝缘膜的顶表面到下蚀刻停止膜的顶表面的距离。

    等离子体处理装置和等离子体处理方法

    公开(公告)号:CN109559967A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811117706.0

    申请日:2018-09-20

    Abstract: 提供了一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。所述等离子体处理装置包括:腔室,其包括用于处理衬底的空间;衬底台,其在所述腔室内支撑所述衬底并且包括下电极;上电极,其在所述腔室内面向所述下电极;第一电源,其包括正弦波电源,所述正弦波电源被配置为将正弦波功率施加到所述下电极以在所述腔室内形成等离子体;以及第二电源,其被配置为将非正弦波功率施加到所述上电极以产生电子束。

    制造半导体器件的方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107665855B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN201710610070.2

    申请日:2017-07-25

    Abstract: 本公开涉及制造半导体器件的方法。一种制造半导体器件的方法包括:在衬底上形成第一绝缘夹层;图案化第一绝缘夹层以形成多个第一开口;在被图案化的第一绝缘夹层中的第一开口内形成牺牲图案;图案化牺牲图案和被图案化的第一绝缘夹层以在牺牲图案和被图案化的第一绝缘夹层中形成多个第二开口;形成多个金属线,金属线在各自的第二开口中;去除牺牲图案的剩余部分中的至少一些以在金属线中的至少一些之间形成空隙;以及在金属线的顶表面、被图案化的第一绝缘夹层的顶表面、以及金属线的和被图案化的第一绝缘夹层的暴露的侧表面上共形地形成衬垫层。

    半导体装置
    9.
    发明公开
    半导体装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN110970388A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201910810705.2

    申请日:2019-08-29

    Abstract: 一种半导体装置包括:衬底;第一绝缘夹层,位于所述衬底上;第一布线,位于所述衬底上的所述第一绝缘夹层中;绝缘图案,位于所述第一绝缘夹层的临近所述第一布线的部分上,所述绝缘图案具有垂直侧壁且包含低介电材料;刻蚀停止结构,位于所述第一布线及所述绝缘图案上;第二绝缘夹层,位于所述刻蚀停止结构上;以及通路,延伸穿过所述第二绝缘夹层及所述刻蚀停止结构,以接触所述第一布线的上表面。

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