公开(公告)号：CN109690234A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780056222.7

申请日：2017-09-14

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： A·玛纳森 ,  安迪(安德鲁)·希尔

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC分类号： G01B9/02035 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/272 ,  G01B2210/56 ,  G03F7/70633

摘要： 本发明揭示用于凭借具有光学相干断层摄影术OCT聚焦系统的干涉仪装置通过分别引导经重叠测量波前及参考波前朝向聚焦传感器及朝向成像传感器进行聚焦且测量的方法及系统；其中引导所述经重叠波前的预定义聚焦照明光谱朝向所述聚焦传感器，且其中引导所述经重叠波前的预定义测量照明光谱朝向所述成像传感器。本发明揭示用于在样品的载物台移动期间，维持具有OCT聚焦系统的干涉仪装置的聚焦的方法及系统。

公开(公告)号：CN105473055B

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201480032285.5

申请日：2014-06-04

申请人： 拜尔普泰戈恩公司

发明人： 艾瑞克·L·巴克兰 ,  安德鲁·默南 ,  内斯特·O·法米加 ,  罗伯特·H·哈特 ,  克里斯托弗·萨克瑟

IPC分类号： A61B3/10 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC分类号： A61B3/102 ,  A61B3/1025 ,  G01B9/02038 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02091 ,  G02B19/0014 ,  G02B23/2407

摘要： 提供光学相干断层成像术OCT成像系统和激光扫描系统。OCT系统提供有：耦合至OCT成像系统的采样臂的宽带光辐射源；采样臂中的光束成形光学组件，所述光束成形光学组件用于接收来自源的光辐射作为光辐射束，以及用于对光辐射束的空间分布进行成形；耦合至光束成形光学组件的扫描镜组件；以及耦合至光束成形光学组件的物镜组件。在激光扫描系统中也提供用于接收来自激光源的光辐射的光束成形光学组件。两个系统的光束成形光学组件均包括透镜组件，透镜组件用于：在不改变焦点的情况下，改变OCT系统的NA；在不改变系统的NA的情况下，改变OCT系统的焦点；或者响应于控制输入改变OCT系统的NA和焦点。

公开(公告)号：CN104067090A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006127.8

申请日：2013-01-17

申请人： 欧姆龙株式会社

发明人： 早川雅之 ,  山下吉弘

IPC分类号： G01C3/06 ,  G01B11/00

CPC分类号： G01B9/02036 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02044 ,  G01B11/026 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/2441 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0016

摘要： 本发明涉及利用共聚焦光学系统对检测对象物(200)的位移进行检测的共聚焦检测装置。共聚焦检测装置具有：光源，出射多个波长的光；衍射透镜(1)，使从光源出射的光沿着光轴方向产生色像差；检测部，按照波长检测通过衍射透镜(1)产生色像差的光中的在检测对象物(200)会聚的光的强度。另外，在共聚焦检测装置中，从光源入射至衍射透镜(1)的主光线(11b)相对于衍射透镜(1)的光轴(1a)偏离。

公开(公告)号：CN107209000A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201580074769.0

申请日：2015-12-14

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 山内丰彦 ,  山田秀直

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01N21/45 ,  G02B21/00

CPC分类号： G01B9/0203 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02049 ,  G01N21/45 ,  G01N33/4833 ,  G02B21/00 ,  G02B21/06 ,  G02B21/361

摘要： 干涉观察装置(1)具备输出非相干的光的光源(10)、分束器(20)、试样保持台(31)、物镜(32)、参照镜(41)、透镜(42)、像差修正用板(43)、压电元件(44)、镜筒透镜(51)、分束器(52)、摄像部(61)、光检测器(62)、图像取得部(71)以及控制部(72)。控制部(72)根据从光检测器(62)输出的检测信号，求得合波光的干涉强度，并以干涉强度变大的方式调整干涉光学系统。

公开(公告)号：CN105547145A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510868029.6

申请日：2015-11-30

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王宝凯 ,  张甦 ,  邹丽敏 ,  谭久彬

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02042 ,  G01B9/02048

摘要： 一种超分辨结构探测共焦相干成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、工业样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统CTF带宽变大。本发明提高了共焦相干成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于工业形貌成像的测量领域。

公开(公告)号：CN1249810A

公开(公告)日：2000-04-05

申请号：CN98802979.0

申请日：1998-01-22

申请人： 探索研究院

发明人： 亨利·A·希尔

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G02B21/0056 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/45 ,  G02B21/004 ,  G02B21/006 ,  G02B21/0068 ,  G02B21/008 ,  G11B7/005 ,  G11B7/14

摘要： 一个系统在测量在焦像时能把在焦像从离焦像分离出来,从而既减小了系统误差又减小了统计误差。该系统从一个点光源(10)产生一个探测光束(P22B)和一个参考光束(R22B),并在参考光束(R22B)中产生反对称的空间性质。作为把探测光束(P22B)导引成一个在焦像点(28)的结果,产生了一个在焦返回探测光束(P32A),然后在在焦返回探测光束(P32B)中产生反对称的空间性质。使参考光束(R32C)与一个来自一个离焦像点(58)的光束发生干涉,还使参考光束(R32C)与在焦返回光束(P32C)发生干涉。参考光束(R32D)被一个单像素探测器(114)以参考光束(R32D)的振幅的平方的形式探测,在焦返回探测光束(P32D)被探测器(114)以返回参考光束(R32D)与在焦返回探测光束(P32D)之间的一个干涉项的形式探测。离焦像光束(B52D)的振幅被大为减小,结果同时减小了由探测器(114)所产生的数据中的系统误差和统计误差。在所说明的实施例中,来自离焦像点(58)的光束是离焦返回探测光束(B52D)。

公开(公告)号：CN104303089B

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201380025813.X

申请日：2013-05-16

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： 赫尔穆特·利珀特 ,  拉尔夫·内茨 ,  蒂莫·安胡特 ,  尼尔斯·兰霍尔茨 ,  马蒂亚斯·朗霍斯特

IPC分类号： G02B21/00 ,  G01B11/25 ,  G02B21/36

CPC分类号： G02B21/008 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/04 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0028 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0044 ,  G02B21/006 ,  G02B21/0064 ,  G02B21/0068 ,  G02B21/0092 ,  G02B21/08 ,  G02B21/14 ,  G02B21/18 ,  G02B21/367

摘要： 本发明涉及一种光学显微镜，其具有用于向试样方向发射出照射光的多色光源、用于将照射光聚焦到试样上的聚焦器件和探测装置，其中，聚焦器件具有纵向色差以产生深度分辨率；探测装置包括二维阵列的探测元件，用以检测来自试样的试样光。根据本发明，光学显微镜的特征在于，为了既检测试样光的共焦部分又检测试样光的非共焦部分，从试样到探测装置的光学路径中没有用于完全滤除非共焦部分的元件。此外，本发明还涉及一种用于利用光学显微镜记录图像的方法。

公开(公告)号：CN105865339A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610317208.5

申请日：2016-05-12

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 黄向东 ,  谭久彬 ,  向小燕

IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B11/00 ,  G01B9/02042 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/70

摘要： 本发明涉及一种分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置，属于超精密测量领域。该装置解决了基于PBS分光的移相干涉共焦系统中存在的抗干扰能力差，系统结构复杂、集成度低的问题。本发明装置主要包括四路移相干涉光路和分瞳式共焦差分探测光路；该装置利用二维Ronchi光栅分出的四束光，经偏振移相阵列后，转变成相位差依次为90°的线偏振光；1、3象限两束光通过分瞳式位相滤波器实现正移焦，2、4象限两束光通过分瞳式位相滤波器实现负移焦；最后利用CCD相机构成的软针孔阵列同时采集四路干涉、共焦信号。本发明将移相干涉与共焦差分探测集成在同一光路，可在较大测量范围内实现微位移测量。

公开(公告)号：CN1351705A

公开(公告)日：2002-05-29

申请号：CN00807026.1

申请日：2000-03-16

申请人： 探索研究院

发明人： 亨利·A·西尔

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G11B7/14 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/04 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/006 ,  G02B21/008 ,  G11B7/005

摘要： 一物体(112)内和/或上的一区域的在焦图象通过以下方法被从离焦图象分离出来,从而既减小了该物体的图象信息中的误差:从一个宽带点光源(90)产生一个探测光束(P22B)和一个参考光束(R22B);产生参考光束的反对称空间性质(R32B);把探测光束通过第一色散元件以将该探测光束转换成聚焦至该物体内/或上的一线的一光束;产生一个在焦返回探测光束;产生在焦返回探测光束的反对称空间性质(P32B);空间滤波在焦返回探测光束(P42A);通过一色散元件以将该探测光束(P42C)聚焦至一检测器系统的一检测器平面中的一线;空间滤波该参考光束(R42A)并通过一色散元件以将该参考光束(R42C)聚焦至该检测器平面中的一线;空间滤波来自一离焦图象点的一光束(P62A)并通过该色散元件(P62C);使在该检测器平面中的空间滤波的参考光束(R42C)与来自该离焦图象点的在检测器平面中的空间滤波的光束(P62C)发生干涉及与在该检测器平面的空间滤波的在焦返回探测光束(P42C)发生干涉;通过检测器系统(114)检测在检测器平面的空间滤波的参考光束与在检测器平面的空间滤波的(R42C)在焦返回探测光束之间的一个干涉项作为该空间滤波的在焦返回探测光束的—振幅,从而在检测器平面的空间滤波的离焦图象光束(P62C)的振幅与在检测器平面的空间滤波的参考光束(R42C)的振幅之间的干涉项的幅度被明显地减小,由此减小了由检测器系统(114)所产生的表示该物体的图象信息的数据中的误差。

公开(公告)号：CN1309759A

公开(公告)日：2001-08-22

申请号：CN99808770.X

申请日：1999-05-26

申请人： 探索研究院

发明人： 亨利·A·希尔

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/04 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02042 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/006 ,  G02B21/0068 ,  G02B21/008 ,  G11B7/005 ,  G11B7/14

摘要： 一物体(112)内和/或上的一区域的在焦图象通过以下方法被从离焦图象分离出来,从而既减小了该物体的图象信息中的误差:从一个宽带点光源(90)产生一个探测光束(P22B)和一个参考光束(R22B);产生参考光束的反对称空间性质(R32B);把探测光束通过第一色散元件以将该探测光束转换成聚焦至该物体内/或上的一线的一光束;产生一个在焦返回探测光束;产生在焦返回探测光束的反对称空间性质(P32B);空间滤波在焦返回探测光束(P42A);通过一色散元件以将该探测光束(P42C)聚焦至一检测器系统的一检测器平面中的一线;空间滤波该参考光束(R42A)并通过一色散元件以将该参考光束(R42C)聚焦至该检测器平面中的一线;空间滤波来自一离焦图象点的一光束(P62A)并通过该色散元件(P62C);使在该检测器平面中的的空间滤波的参考光束(R42C)与来自该离焦图象点的在检测器平面中的空间滤波的光束(P62C)发生干涉及与在该检测器平面的空间滤波的在焦返回探测光束(P42C)发生干涉;通过检测器系统(114)检测在检测器平面的空间滤波的参考光束与在检测器平面的空间滤波的(R42C)在焦返回探测光束之间的一个干涉项作为该空间滤波的在焦返回探测光束的一振幅,从而在检测器平面的空间滤波的离焦图象光束(P62C)的振幅与在检测器平面的空间滤波的参考光束(R42C)的振幅之间的干涉项的幅度被明显地减小,由此减小了由检测器系统(114)所产生的表示该物体的图象信息的数据中的误差。