位移传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100473944C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200610135964.2

    申请日:2006-10-16

    CPC classification number: G01B11/026

    Abstract: 本发明在能够简单地变更动作距离和测定范围的同时,也能变确保更后的测量精度。在传感器头部(1)中,通过相应于准直透镜(6)以及音叉(8)的振动而往复移动的一对聚光透镜(7a、7b),生成平行光或者近似平行光,并由光出入口(11)射出。在光出入口(11)以可装卸地安装支承物镜(12)的透镜架(13)。从光出入口(11)射出的光通过物镜(12)被加工为在规定位置聚光的测量光束(BM)。

    位移传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1955634A

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200610135964.2

    申请日:2006-10-16

    CPC classification number: G01B11/026

    Abstract: 本发明在能够简单地变更动作距离和测定范围的同时,也能变确保更后的测量精度。在传感器头部(1)中,通过相应于准直透镜(6)以及音叉(8)的振动而往复移动的一对聚光透镜(7a、7b),生成平行光或者近似平行光,并由光出入口(11)射出。在光出入口(11)以可装卸地安装支承物镜(12)的透镜架(13)。从光出入口(11)射出的光通过物镜(12)被加工为在规定位置聚光的测量光束(BM)。

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