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公开(公告)号：CN106716112B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201580052315.3
申请日：2015-09-29
Applicant: 统一半导体公司
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02034 , G01B2210/56 , G01M11/331 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及一种用于检验用于电学、光学或光电学的晶片的方法，其包括：使晶片绕与所述晶片的主表面垂直的对称轴转动；从与干涉装置(30)耦接的光源(20)发射两条类准直入射光束，以在两条光束之间的交叉处形成包含干涉条纹的测量空间，缺陷通过所述测量空间的时间特征取决于缺陷在所述测量空间中通过的位置处的条纹间距的值，所述干涉装置(30)和所述晶片相对于彼此布置为使得所述测量空间在所述晶片的区域中延伸；收集由所述晶片的所述区域散射的光的至少一部分；捕获所收集的光并发射电信号；在所述信号中检测所述所收集的光的强度变化中的频率分量；从所述缺陷通过的位置处的所述条纹间距的值，确定所述缺陷在径向方向和/或所述晶片的厚度中的位置。
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公开(公告)号：CN107076540B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580058496.0
申请日：2015-10-05
Applicant: 韩国生产技术研究院
CPC classification number: G01B9/02044 , G01B11/06 , G01B11/0625 , G01B11/2441 , G01B11/30 , G01N21/45 , G01N21/8422 , G01N2201/068
Abstract: 本发明涉及一种多功能分光装置，其包括：第一透镜，安装在由平行光产生部发射的平行光的发射方向上并配置成相对于平行光的光轴聚焦其中央部分中的光；第二透镜，设置成面对第一透镜并配置成将经由第一透镜的第一焦点且被扩散的光转换为平行光；参照镜，安装成面对第二透镜以反射穿过第二透镜的光；分束器，安装在第一透镜与第二透镜之间，并设置成将穿过第一透镜的一部分光反射到与第一透镜的光轴相交的方向上并且将其余的光朝着第二透镜透射；第三透镜，配置成将经由分束器的光聚焦到测量对象上；第四透镜，配置成聚焦通过测量对象反射的且反向穿过第三透镜和分束器的光；第五透镜，配置成将经由第四透镜的第二焦点扩散的光转换为平行光；以及衍射光栅，相对于第五透镜的光轴倾斜设置并配置成使穿过第五透镜的平行光衍射并分离平行光。这种多功能分光装置提供的优点在于能够利用集成光学系统以期望的测量方法测量膜厚度、表面形状和折射率。
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公开(公告)号：CN109655012A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910035626.9
申请日：2019-01-15
Applicant: 四川大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明涉及一种采用超短脉冲激光对多界面目标体的界面面型进行测量的方法。包括步骤：选择超短脉冲激光光源；超短激光脉冲经光谱滤波后，进入迈克尔逊干涉仪，被分光镜分为两束光，一束光由参考镜反射进入干涉光接收系统作为参考光；另一束则由目标体待测界面反射进入干涉光接收系统作为信号光；调节迈克尔逊干涉仪参考臂长度或测量臂长度，使得参考光只与目标体待测界面反射回来的信号光产生干涉，而不会与目标体的其它界面反射回来的信号光产生干涉，计算机系统根据采集到的双界面干涉条纹得出待测界面的面型。本发明通过利用超短脉冲之间的相干特性，实现对多界面目标体的界面面型测量，是一种新型的测量方法，具有简单、稳定、效率高等特点。
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公开(公告)号：CN108692676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213170.6
申请日：2018-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自光源的照射光对应的干涉信号，获取干涉信号中的信号强度比相当于信号强度的补偿值的基线小的负的干涉信号，根据负的干涉信号的信号强度设定用于计测计测对象物的高度信息的照射光的光量即计测光量。
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公开(公告)号：CN108413894A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810200780.2
申请日：2018-03-12
Applicant: 四川大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提出了一种剪切错位绝对测量的相位测量偏折术(PMD)方法。该方法一共需要对待测元件进行四次PMD测量，除了需要对待测元件表面进行一次传统的PMD测量外，其它三次测量是在将待测元件平移和旋转到三个特定状态之后再对其表面进行测量。这样可以获得四次测量数据，从而有三个重叠区域。分别计算每个重叠区域上的面形差，然后使用Zernike多项式差来拟合每个重叠区域上的面形差。最后利用最小二乘算法求出Zernike多项式的系数，并重建出待测元件表面面形。该方法提高了PMD系统的测试精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108332683A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810134144.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 苏州大学 , 苏州斑马光学技术有限公司
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种用于三维面形测量的干涉式光学探头，属于光学检测技术领域，具体涉及一种非接触式光学探头，解决使用现有非接触探头测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时运动机构的位置信息；调整运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。
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公开(公告)号：CN108061515A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711089578.9
申请日：2017-11-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 川崎和彦
CPC classification number: G01B9/02079 , G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B9/02087 , G01B9/02027 , G01B11/2441
Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。
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公开(公告)号：CN107941164A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710939654.4
申请日：2017-10-11
Applicant: 株式会社基恩士
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B11/30 , G01B11/303
Abstract: 本申请提供一种形状测量装置，其能够在宽的测量范围内，高速、高精度地测量测量对象的表面形状，同时使形状测量装置配置得紧凑。可移动部(141)和平衡部(142)由支撑部(125)支撑，并且通过驱动单元(150)相对于支撑部(125)沿彼此相反的方向往复运动。分束器和反光镜附接至可移动部(141)。测量光和参考光通过分束器分别被引导到测量对象(S)和反光镜，且通过测量对象(S)反射的测量光和通过反光镜反射的参考光被引导到光接收部。可移动部(141)往复运动，由此测量光的光程与参考光的光程之差改变。基于可移动部(141)相对于支撑部(125)的相对位置和光接收部的多个像素的光接收量，来获取测量对象(S)的多个部分的表面形状。
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公开(公告)号：CN107796329A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710911238.3
申请日：2017-09-29
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法，在保证检测精度的情况下，能够用小尺寸的CGH补偿器实现对大口径(口径200mm以上)的凸非球面反射镜的检测。本发明装置通过透镜将光束汇聚，使得采用的CGH补偿器的口径很小，CGH补偿器能在高精度的加工尺寸范围内实现对大口径凸非球面反射镜面形的高精度检测。本发明方法，将CGH补偿器对波前的相差补偿作用和透镜对光束的汇聚作用两者相结合，用小尺寸的CGH补偿器实现对大口径凸非球面反射镜的检测，解决了传统CGH补偿检测法只能检测中小口径凸非球面反射镜面形的难题。相比传统的凸非球面反射镜面形检测方法，本发明的检测方法能够检测各种曲面类型的凸非球面反射镜。
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公开(公告)号：CN107478175A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710710946.0
申请日：2017-08-18
Applicant: 东南大学
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B7/066
Abstract: 本发明公开一种原子层沉积薄膜原位监测控制系统，其包括原子层沉积设备、分别用于实时监测原子层沉积薄膜的表面轮廓和薄膜沉积厚度的白光干涉三维轮廓检测装置及石英晶体微天平、以及控制模块，该控制模块与原子层沉积设备、白光干涉三维轮廓检测装置、石英晶体微天平分别连接，用于接收、观测、分析实时的薄膜表面轮廓信息和薄膜厚度信息、并根据该信息控制原子层沉积过程。该监测控制系统通过对薄膜沉积过程进行原位监测，不仅可实时在线监控涂层厚度和薄膜表面三维轮廓，还能及时显示薄膜涂层厚度的动态变化过程和薄膜表面的三维形貌轮廓图像等信息，从而帮助提高薄膜涂层沉积的精度，改善薄膜产品的质量，使得薄膜涂层的性能更加优越。
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