厚度平面度段差检测装置、系统及方法

    公开(公告)号:CN109682310A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201910168722.0

    申请日:2019-03-06

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/06 G01B11/30

    摘要: 本发明提供了厚度平面度段差检测装置、系统及方法,该装置包括:工作台;双层移动平台,双层移动平台包括第一级移动平台和第二级移动平台;检测组件,检测组件包括安装架、第一光谱共焦检测装置、第二光谱共焦检测装置,安装架安装在第二级移动平台上,第一光谱共焦检测装置和第二光谱共焦检测装置在安装架上呈上下对射安装,使被检测对象位于第一光谱共焦检测装置和第二光谱共焦检测装置之间的间隙内。与现有技术相比,不但精度高,而且便于引入存储、分析模块便于实现智能化检测,可实现对任何材质产品进行精准的点、线、面扫描,得到产品的厚度、平面度、段差。

    一种厚光刻胶膜厚度的非接触式光学测量方法

    公开(公告)号:CN108801162A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810684915.7

    申请日:2018-06-28

    IPC分类号: G01B11/06

    CPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明属于微制造技术领域,提供一种厚光刻胶膜厚度的非接触式光学测量方法,该方法通过在利用光学显微镜进行光刻胶厚度测量时引入胶膜的折射率,将偷眼观察到的虚像转化为实像,得到准确的胶膜厚度。其测量步骤包括“基底预处理‑胶膜制作‑胶厚测量‑曝光、显影”,解决现有技术中电解法、水晶阵子法、干涉法、光谱扫描法、X射线法和椭圆偏振法等测量方法的不足和应用的局限性,实现了几百微米厚光刻胶厚度的准确测量,具有应用范围广,简单,高效的特点,能够提高金属微结构电铸型膜制作的尺寸精度和制作效率。

    检测设备及使用该检测设备的检测方法

    公开(公告)号:CN108253898A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201710953566.X

    申请日:2017-10-13

    发明人: 黄锡周

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 在此公开用于检测透明膜的方法。所述方法包括使用偏光器以光照射检测靶,接收由检测靶反射且接着由线扫描相机传递通过分析器的光并将所述光的波长的振幅和相位合成为光的强度,以及比较所述光的所述强度与用于预计设定的具有不同厚度的检测靶的光的强度以基于比较的结果探测检测靶的缺陷。可以确定是否有透明膜以及透明膜的厚度可以在大区域中测量。在形成透明膜之后实时地执行检测,使得若生成缺陷可以立即地反馈,由此减少缺陷。在此情况下,可以节约处理成本。

    厚度测量方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104279969B

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201410320417.6

    申请日:2014-07-04

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤:将第一波长λ1的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度;将第二波长λ2的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度;并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。