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公开(公告)号：CN102272549A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980154403.9
申请日：2009-11-10
Applicant: 齐戈股份有限公司
Inventor： 莱斯利.L.德克
CPC classification number: G01B9/02048 , G01B9/02057 , G01B9/02077 , G01B9/02079 , G01B9/02087 , G01B11/2441
Abstract: 本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(ii)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图，计算改善的相位图。
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公开(公告)号：CN103261835A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180059490.7
申请日：2011-09-21
Applicant: 森西斯光纤公司
Inventor： E·塔潘斯
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B9/02 , G01B9/02012 , G01B9/02027 , G01B9/02049 , G01B9/02079 , G01B2290/70 , G01D5/35306 , G01D5/35325 , G01D5/35329 , G01N21/8806 , G01N2201/0612 , G01N2201/088 , G02B6/255 , G02B6/36 , Y10T29/49826
Abstract: 灵敏度可变光学传感器可以具有传感器的一个或者多个部分的与每个相应传感器部分的所选择的环境至少部分相对应的相应的实际灵敏度。一些公开的传感器具有沿着传感器纵向延伸的多个光学管道。光学管道中的至少一个光学管道可以具有至少一个纵向延伸段，该至少一个纵向延伸段具有与相邻纵向延伸段的光学性质不同的一个或者多个光学和/或机械性质，从而向管道提供纵向变化信号传播特性。具有这样的光学管道的光学传感器可以表现纵向变化实际灵敏度。然而这样的传感器可以例如在传感器的每个相应部分表现与选择的环境对应的实际灵敏度时表现基本上恒定的表观灵敏度。创新传感器可以提供虚假或者滋扰报警的低发生率、准确位置和幅值信息以及其它优点。
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公开(公告)号：CN108061515A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711089578.9
申请日：2017-11-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 川崎和彦
CPC classification number: G01B9/02079 , G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B9/02087 , G01B9/02027 , G01B11/2441
Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。
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公开(公告)号：CN101023318A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031402.7
申请日：2005-09-20
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02004 , G01B9/02002 , G01B9/02069 , G01B9/02079 , G01B2290/60
Abstract: 一种频移干涉仪从在不同测量光束频率下产生的一组干涉图案中采集强度数据。在测量光束频率的相应范围上将周期函数与从干涉图案集合中采集的强度数据相匹配。涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局域相关用于提供用对应于干涉光束部分之间的光程长度差的测量光束频率对相位变化速率的确定。
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公开(公告)号：CN1760633A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510113674.3
申请日：2005-10-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 石塚公
CPC classification number: G01B9/02018 , G01B9/02061 , G01B9/02079 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 一种位置检测装置，包括：入射单元，其用来从光源的光束形成平行光束，并以由光束分离器从平行光束获得的分离光束分别被以某一角度入射到基准面和测量目标表面的方式将平行光束提供给光束分离器；用来反射分离光束的反射单元，所述分离光束已经被基准面和测量目标表面反射并通过光束分离器结合到光路上，以作为沿着光路的平行光束提供给光束分离器，并通过干涉从所述反射单元提供、由光束分离器分离、由基准面和测量目标表面反射并被所述光束分离器再次结合到光路上的返回光束来产生相应于分离光束的相位差的信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107110640B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN107110640A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN102272549B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200980154403.9
申请日：2009-11-10
Applicant: 齐戈股份有限公司
Inventor： 莱斯利.L.德克
CPC classification number: G01B9/02048 , G01B9/02057 , G01B9/02077 , G01B9/02079 , G01B9/02087 , G01B11/2441
Abstract: 本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(i)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图，计算改善的相位图。
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公开(公告)号：CN100425944C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200510113674.3
申请日：2005-10-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 石塚公
CPC classification number: G01B9/02018 , G01B9/02061 , G01B9/02079 , G01B2290/15 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 一种位置检测装置，包括：入射单元，其用来从光源的光束形成平行光束，并以由光束分离器从平行光束获得的分离光束分别被以某一角度入射到基准面和测量目标表面的方式将平行光束提供给光束分离器；用来反射分离光束的反射单元，所述分离光束已经被基准面和测量目标表面反射并通过光束分离器结合到光路上，以作为沿着光路的平行光束提供给光束分离器，并通过干涉从所述反射单元提供、由光束分离器分离、由基准面和测量目标表面反射并被所述光束分离器再次结合到光路上的返回光束来产生相应于分离光束的相位差的信号。
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公开(公告)号：CN103261835B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201180059490.7
申请日：2011-09-21
Applicant: 超音速光纤公司
Inventor： E·塔潘斯
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B9/02 , G01B9/02012 , G01B9/02027 , G01B9/02049 , G01B9/02079 , G01B2290/70 , G01D5/35306 , G01D5/35325 , G01D5/35329 , G01N21/8806 , G01N2201/0612 , G01N2201/088 , G02B6/255 , G02B6/36 , Y10T29/49826
Abstract: 灵敏度可变光学传感器可以具有传感器的一个或者多个部分的与每个相应传感器部分的所选择的环境至少部分相对应的相应的实际灵敏度。一些公开的传感器具有沿着传感器纵向延伸的多个光学管道。光学管道中的至少一个光学管道可以具有至少一个纵向延伸段，该至少一个纵向延伸段具有与相邻纵向延伸段的光学性质不同的一个或者多个光学和/或机械性质，从而向管道提供纵向变化信号传播特性。具有这样的光学管道的光学传感器可以表现纵向变化实际灵敏度。然而这样的传感器可以例如在传感器的每个相应部分表现与选择的环境对应的实际灵敏度时表现基本上恒定的表观灵敏度。创新传感器可以提供虚假或者滋扰报警的低发生率、准确位置和幅值信息以及其它优点。
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