公开(公告)号：CN107661088A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201710485974.7

申请日：2017-06-23

Applicant: 富士施乐株式会社

Inventor： 近藤崇

IPC: A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02091 ,  H01S5/042 ,  H01S5/12 ,  H01S5/125 ,  H01S5/2215 ,  H01S5/343 ,  H01S5/34326 ,  H01S5/34333 ,  H01S5/4087 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073

Abstract: 本发明公开了一种激光组件、激光产生装置及光学相干断层扫描仪，该激光组件包括多个激光元件以及驱动部。多个激光元件以包含互不相同的出射波长的方式排列；驱动部将所述多个激光元件的每一个沿着排列切换为可转换到导通状态的状态，并且使所述多个激光元件中可转换到导通状态的一个元件成为导通状态。

公开(公告)号：CN107144237A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710442927.4

申请日：2017-06-13

Applicant: 杭州齐跃科技有限公司

Inventor： 裘恩明 ,  徐华俊

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G06T7/521 ,  G06T3/40

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0203 ,  G01B9/02085 ,  G06T3/4038

Abstract: 本发明公开了一种基于三维拼接的大口径干涉测量系统，采用迈克尔逊干涉系统并搭配超长工作距离的物镜和相机，其特征在于：利用步进电机实现干涉信号自动查找，压电陶瓷实现信号扫描，计算机对采集到的图像进行分析并实现测量，单个视场测量完成后，系统控制X轴和Y轴工作台移动，测量下一个视场，多个视场的测量结果用三维拼接算法拼接，得到大口径范围的测量结果。在原先常规干涉仪系统中，采用单色光和白光切换的方式实现单色光干涉和白光干涉，利用其各自的优缺点来合理的选择测量方案。同时，在检测样品部位添加两维自动移动平台，实现被测区域的自由切换和实时拼接等。

公开(公告)号：CN102384716B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201110318968.5

申请日：2011-08-11

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： D·W·塞思科 ,  J·D·托比亚森

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02048 ,  G01B9/02067 ,  G01B9/02098 ,  G01B11/026 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/60

Abstract: 一种固定波长绝对距离干涉仪包括第一干涉仪和第二干涉仪，所述第一干涉仪包括：第一光源，朝测量目标发射具有波长W的第一光束；波前半径检测器，被配置成提供响应于波前半径检测器处的波前半径的第一度量；以及第一路径长度计算部分，计算粗糙分辨率绝对路径长度度量R。第二干涉仪包括：发送具有波长Λ的第二干涉仪光束的光束发送装置；光束分离/合成装置，将第二干涉仪光束分离为参考和度量光束，并合成返回的参考和测量光束为合成光束；第二干涉仪检测器，被配置为接收合成光束和提供合成光束的相位的信号；以及第二路径长度计算部分，被配置为确定中等分辨率绝对路径长度度量ZM。

公开(公告)号：CN105074379A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201480012772.5

申请日：2014-03-14

Applicant: 研究发展基金会

Inventor： 马克·费尔德曼 ,  托马斯·米尔纳 ,  王天易 ,  珍妮弗·菲普斯

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0203 ,  A61B1/24 ,  A61B5/0035 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0084 ,  A61B5/02007 ,  A61B5/6852 ,  A61B5/7425 ,  A61B2562/0233 ,  A61B2576/00 ,  A61K49/0013 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/16 ,  G02B23/24 ,  G02B23/2484

Abstract: 本公开的示例性实施例包括组合的基于导管的光学相干断层扫描-双光子荧光(OCT-TPL)成像系统。示例性实施例还包括用于以高空间分辨率检测并且进一步表征体内的薄帽纤维粥样斑块中的细胞成分(例如，巨噬细胞、胶原纤维/弹性蛋白纤维、脂滴)的分布的方法。

公开(公告)号：CN103075968B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201310008466.1

申请日：2013-01-09

Applicant: 浙江理工大学

Inventor： 陈本永 ,  张恩政 ,  严利平

IPC: G01B11/02 ,  G01P3/36

CPC classification number: G01B9/02083 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02067 ,  G01B9/0207 ,  G01B11/14 ,  G01P3/36

Abstract: 本发明公开了一种基于高频数字信号边沿锁定的激光外差干涉信号处理方法。激光外差干涉仪的参考信号和测量信号经各自的光电探测器、信号放大器、滤波电路、电压比较器和高频数字边沿锁定模块处理后，送入脉冲计数同步锁存处理模块，得到参考信号和测量信号的整周期干涉条纹数和一个干涉条纹周期内的填脉冲数，经串口通信模块送至计算机，得到被测对象的位移和速度；采用高频数字脉冲信号对激光外差干涉信号的上升沿进行锁定处理，可以提高干涉信号上升沿的陡度和消除噪声干扰引起的错误脉冲，不会改变信号的周期，不存在信号上升沿的相位延迟，提高了后续信号处理的准确性和稳定性。本发明适用于各种干涉测量技术，可以显著提高测量精度。

公开(公告)号：CN102937411A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201210448734.7

申请日：2012-11-09

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  王磊杰 ,  胡金春 ,  陈龙敏 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  穆海华

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02049 ,  G01B11/14 ,  G01D5/266 ,  G01D5/38

Abstract: 一种双频光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、干涉仪、测量光栅、电子信号处理部件，该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射双频激光经偏振分光镜分为参考光和测量光，测量光入射至测量光栅处产生正负一级衍射，衍射光与参考光在光电探测单元处形成包含两个方向位移信息的拍频信号，经信号处理实现线性位移输出。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量水平向大行程位移和垂向位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN102892547A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201180023715.3

申请日：2011-05-10

Applicant: 普雷茨特激光技术有限公司

Inventor： 马丁·斯科恩勒伯

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/08 ,  B23K26/03 ,  G01B11/14 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01N21/255 ,  B23K26/032 ,  B23K26/048 ,  B23K26/082 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02036 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02063 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70

Abstract: 本发明涉及一种利用光束发生器(5)的加工光束(4)并且利用光束发生器(5)和工件(6)之间的加工距离(a)的原位测量的材料加工装置(1)。为此，材料加工装置(1)具有利用加工光束(4)的加工激光器(13)。包括具有扫描器镜(31，32)的二维偏转装置的激光扫描器(14)布置在加工激光器(13)的下游。设置用于改变加工距离(a(t))的自动重聚焦装置。包括分光计(17)和至少两个传感器光源的传感器装置(16)产生测量光束(18)，测量光束(18)利用激光扫描器(14)和透镜系统(19)共同地感测工件(6)的加工区域(20)，同时记录工件距离(a)。传感器光源(11，12)的测量光束(18)被线性偏振，并且利用光耦合元件(21)在准直状态以交叉偏振方向耦合到材料加工装置(1)的激光扫描器(14)的加工光束(25)的光路中。

公开(公告)号：CN102150007A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200980135345.5

申请日：2009-09-11

Applicant: 尼康计量公众有限公司

Inventor： 美娜·里兹克 ,  安东尼·斯朗特文斯基

IPC: G01B11/14 ,  G01B9/02 ,  G02B6/00

CPC classification number: G01B9/02004 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0207 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/026 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/60 ,  G01B2290/70 ,  G01S7/4818 ,  G01S17/325 ,  G02B6/32

Abstract: 一种用于确定测量装置(20A)和物体(21)之间的测量距离的系统和方法，该系统包括：用于产生具有第一波形(32)和第一频率的第一光束(13A)的第一激光源(13)；用于产生具有第二频率的第二光束(11A)的第二激光源(11)，所述第二光束(11A)具有第二波形(36)，其中第二频率以第二速率啁啾下降时第一频率以第一速率啁啾上升，第一频率以第一速率啁啾下降时第二频率以第二速率啁啾上升；用于将第一光束(13A)和第二光束(11A)结合为结合光束路径(17)的光学元件(15)，所述光学元件(15)将结合光束路径(17)的返回部分分离为第三光束(24)；以及用于接收所述第三光束(24)的单独的检测器(23)，第三光束(24)包括两个与测量距离成比例的不同的差频。

公开(公告)号：CN101889189A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200980101293.X

申请日：2009-09-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 追风宽岁 ,  浦岛毅吏

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/0209 ,  G01J2009/0234

Abstract: 本发明提供一种表面形状测量装置，其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备：低相干光源的光源(101)、透射波长不同的多个波长滤波器(103)、角度控制部(104c)、解析部(114)，并且，通过在实施双波长移相干涉术时由解析部(114)检测出双波长的波长差且对在一个波长运算下的波长值和相位值进行修正，来防止条纹次数的运算错误。接着，通过控制波长滤波器(103)的角度，使实际的波长差与设计值一致。由此，始终可使双波长的波长差控制为恒定，从而即使存在由温度变化或时间推移所引起的波长变动也能够高精度地测量表面形状。

公开(公告)号：CN101650166A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200910167309.9

申请日：2009-08-13

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 侯文玫 ,  赵宪斌 ,  张运波

IPC: G01B11/26 ,  G02B5/04 ,  G02B27/28 ,  G02B5/08 ,  G02B1/10

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02019 ,  G01B11/26 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70

Abstract: 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角反射镜反射，最后由偏振分光棱镜射出；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的楔角反射镜的微旋转角度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。