激光微纳加工分光瞳差动共焦在线监测一体化方法与装置

    公开(公告)号:CN108413867A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201810082688.0

    申请日:2018-01-29

    摘要: 本发明属于激光精密检测技术、激光微纳加工监测技术领域,涉及激光微纳加工分光瞳差动共焦在线监测一体化方法与装置,可用于复杂微细结构的激光微纳加工与在线检测。本发明将长工作距、高轴向分辨的分光瞳激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合,利用分光瞳差动共焦系统曲线零点对样品轴向位置进行纳米级监测实现了样品轴向位置的实时定焦和加工后微纳结构尺寸的高精度测量,解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题,提高了微纳飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。加工前,还可以利用显微成像模块对样品进行粗找正和横向位置识别。

    具备喷嘴靠近时的干涉回避功能的激光加工装置

    公开(公告)号:CN105728938B

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201510809821.4

    申请日:2015-11-20

    发明人: 时任宏彰

    IPC分类号: B23K26/08

    CPC分类号: B23K26/048

    摘要: 本发明提供一种具备喷嘴靠近时的干涉回避功能的激光加工装置。如果加工喷嘴与被加工物之间的间隙成为能够开始间隙控制的设定值,则判断加工喷嘴的机械位置是否处于比预定的加工开始位置更靠上方。在加工喷嘴的机械位置为比加工开始位置更靠上方的情况下,控制装置判断为存在无法执行激光加工的异常,并使加工喷嘴的靠近动作自动地停止。

    用于激光加工机械的加工头部和激光加工机械

    公开(公告)号:CN107000122A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580065139.7

    申请日:2015-10-20

    发明人: 托马斯·拉特

    摘要: 本发明涉及一种特别地用于激光切割机械的激光加工机械的加工头部(1),加工头部(1)具有至激光源(3),优选地至光纤连接或基于光纤的激光源的接口。所述激光源被设计用于在近红外区域中超过500W的平均输出功率。接口优选地被设计用于连接用于工作激光束(6)的光学波导(2)。加工头部(1)还具有聚焦光学单元(11),所述聚焦光学单元(11)优选地仅具有一个成像透镜。用于工作激光束(6)的至少单次偏转的偏转组件(9、10)布置在接口和聚焦光学单元(11)之间。所述偏转组件(9、10)被设计为根据功率改变工作激光束(6)的发散的无源光学元件。

    一种激光焦点位置动态可控的激光加工系统及方法

    公开(公告)号:CN106994557A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201710262376.3

    申请日:2017-04-20

    发明人: 张立国

    摘要: 本发明提供一种激光焦点位置动态可控的激光加工系统及方法,所述的系统包括激光光源模块、激光光束发散角动态控制模块和激光聚焦与焦点切换模块。本发明在整个激光加工系统中引入了激光光束发散角动态控制模块,对加工激光束的发散角进行动态控制,从而改变经过所述激光聚焦与焦点切换模块聚焦后的激光焦点在待加工工件上的空间位置,实现了高速的激光焦点离焦运动,又能够保障极高的离焦前后激光聚焦焦点中心和激光离焦焦点中心在待加工工件的位置精度,而且离焦前后没有引入额外像差,保证了离焦前后良好的聚焦效果。

    激光加工机及数控程序制作软件

    公开(公告)号:CN106794552A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201480081568.9

    申请日:2014-08-29

    发明人: 高田浩子

    IPC分类号: B23K26/38

    摘要: 激光加工机(100)具有高度控制部(17),该高度控制部(17)进行如下接近动作,即,在喷嘴(28)和工件(12)之间的距离大于或等于比第1距离大的第2距离的情况下,以接近速度将加工头(7)向工件(12)靠近,如果喷嘴(28)和工件(12)之间的距离变得小于或等于第2距离,则基于增益而使每1个控制周期的加工头(7)的移动量变得比以接近速度进行移动时小,将加工头(7)向工件(12)靠近至喷嘴(28)和工件(12)之间的距离成为第1距离为止,在工件(12)的非周缘部处进行接近动作的情况下,高度控制部(17)使用第1接近速度及第1增益,在工件(12)的周缘部处进行接近动作的情况下,高度控制部(17)使用比第1接近速度小的第2接近速度以及比第1增益小的第2增益,从而防止在工件(12)的周缘部进行接近动作时喷嘴(28)与工件(12)的碰撞,并且将在工件(12)的非周缘部处进行接近动作的情况下所需的时间,变得比在工件(12)的周缘部处进行接近动作的情况下所需的时间短。

    具有重力补偿装置的激光加工机

    公开(公告)号:CN105817776A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610044573.3

    申请日:2016-01-22

    发明人: D·许森

    IPC分类号: B23K26/70

    摘要: 本发明涉及一种激光加工机器(1),具有能在高度上移动的激光部件(2)和机器部件(3)。重力补偿装置(4)具有滚子对(6),滚子对具有两个抗扭转地固定在共同的轴(7)上的滚子(8、9),所述轴(7)可自由转动地在机架导向装置中被移动导向,激光部件(2)通过卷绕在第一滚子(8)上的第一牵拉器件(12)悬挂地保持在第一滚子(8)上,机器部件(3)通过卷绕在第二滚子(9)上的第二牵拉器件(13)悬挂地保持在第二滚子(9)上。两个牵拉器件(12、13)在滚子(8、9)上反向卷绕,反力装置(5)在轴(7)上施加反力(FG),以补偿由激光部件(2、2a、2b)和机器部件(3)沿移动方向(11)施加在轴(7)上的力(FL,FT)。