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公开(公告)号：CN107748540A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710965002.8
申请日：2017-10-17
Applicant: 清华大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种基于牛顿法的多轴系统轮廓误差估计及迭代控制方法，属于多轴系统运动控制领域。所述方法利用牛顿法计算得到轮廓误差的准确值，并通过迭代学习的方式减小轮廓误差，以实现良好的多轴协调控制性能。所述方法中包括轮廓误差估计与轮廓误差控制两个部分：前者利用牛顿法，通过极值搜索的方式计算得到轮廓误差点(距离当前位置最近的期望点)；后者利用轮廓误差点与当前位置的偏差作为迭代信息，通过迭代的方式生成并优化轨迹前馈补偿，从而实现轮廓控制性能的提升。本发明利用了牛顿法数值计算精确的特点，有效克服了传统轮廓控制方法在复杂轮廓情况下跟踪不准确的问题，且控制器结构简单，能够实现优良的轮廓控制效果。
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公开(公告)号：CN106059418A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610438862.1
申请日：2016-06-17
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: H02P21/00
CPC classification number: H02P21/0014
Abstract: 一种永磁同步直线电机神经网络自适应轨迹跟踪控制方法，属于直线电机运动控制技术领域。该方法利用神经网络控制器的非线性映射能力建立永磁同步直线电机的模型估计与补偿环节，以实现电机良好的轨迹跟踪性能。所述控制方法中包括基于径向基函数(RBF)的神经网络控制器、带有反馈增益的鲁棒控制器两部分，分别用来进行模型估计补偿和抑制建模误差的影响；本发明利用了神经网络的非线性逼近特性，建立了永磁同步直线电机模型非线性补偿环节，有效克服了电机运行过程中死区、推力波动等非线性因素的影响，有较强抗干扰能力和良好的稳定性，可实现良好的轨迹跟踪性能。
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公开(公告)号：CN103560780B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201310556667.5
申请日：2013-11-11
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: H03K19/0175
Abstract: 一种绝对光栅信号处理方法，所述信号处理方法包括以下步骤：首先，在由信号处理板卡提供的时钟信号CLK0I+、CLK0I-的激励下，绝对光栅的数据信号DATA0I+、DATA0I-共模滤波后经差分收发模块I传输给可编程逻辑器件，可编程逻辑器件对输入信号处理后输出两路与输入信号相同的信号，一路信号经差分收发模块II并共模滤波后传输给驱动器，令一路信号经差分收发模块III并共模滤波后传输给上位机。本发明将绝对光栅信号一分为二，实现了驱动器和上位机同时需要位置反馈时反馈给上位机的位置信号是绝对信号，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势。
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公开(公告)号：CN103322927B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310243132.2
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN103307986B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310243113.X
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 王磊杰 , 杨开明 , 刘召 , 成荣 , 刘昊 , 徐登峰 , 叶伟楠 , 张利 , 赵彦坡 , 田丽 , 张金 , 胡金春 , 穆海华 , 尹文生 , 秦慧超
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103560643B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310508532.1
申请日：2013-10-24
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 一种印刷电路板绕组直线电动机，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势该直线电动机使用印刷电路板制作线圈绕组阵列，准确地布置线圈绕组中的每个线圈的位置，通过多层印刷电路板相邻两层中的线圈沿电动机直线运动方向错位排布及特定的供电规律，提高线圈绕组阵列中电流形成的电场的正弦性，进而降低直线电动机的推力波动，提高直线电动机的控制精度。
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公开(公告)号：CN103186058B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310048778.5
申请日：2013-02-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种具有六自由度粗动台的掩模台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；驱动装置包括两组关于X轴方向对称布置的X方向直线电机和四组同时驱动Y方向和Z方向的两自由度直线电机，实现粗动台的六自由度运动。六自由度粗动台与六自由度精动台配合，在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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公开(公告)号：CN103309177B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310243147.9
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机工件台系统，包含机架、基台、分别运行于曝光工位和预处理工位的两个硅片台，以及测量光栅、双频激光器、三自由度外差光栅干涉仪和信号接收与处理部件。在每个硅片台四角处各安装一个三自由外差光栅干涉仪，测量光栅安装于硅片台上方的机架上。双频激光器出射的双频正交偏振激光经光纤传输至三自由度外差光栅干涉仪后至测量光栅，测量光栅的四束衍射光回射至三自由度外差干涉仪，最终出射四束测量光信号至信号接收与处理部件。当硅片台相对于测量光栅运动时，利用信号接收与处理部件中的读数通过解算获取硅片台六自由位移。该光刻机工件台系统可提高硅片台的测量精度、动态性能等指标，进而提高光刻机工件台系统整体性能。
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公开(公告)号：CN103034073B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210576830.X
申请日：2012-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸液回收板的侧面有一排小孔，小孔与硅片台外部的浸液回收容器相连接，用于浸没液体的回收，硅片台外围四边设置一套防撞气囊装置。当两硅片台完成交换时，硅片台上的浸液回收板设计保证了交换时浸液循环不用中断，提高了生产效率；气囊式防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。
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公开(公告)号：CN102751228B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210218852.9
申请日：2012-06-27
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/68707
Abstract: 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆夹子中间。晶圆底面与四个凸起件的上表面接触，由凸起件支撑。晶圆边缘与滑块侧面接触，弹簧的变形对晶圆边缘产生一定的压力，夹紧晶圆使晶圆固定。通过改变托盘末端晶圆夹子的位置，可以实现不同直径尺寸晶圆的传输。利用弹簧增加了系统的柔性，避免了传输过程中托盘与晶圆边缘刚性接触所引起的晶圆破损。在抓取晶圆时，使晶圆落在滑块的倾斜部分范围内即可满足要求，因此允许末端执行器存在一定的定位误差。
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