公开(公告)号：CN102272549A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980154403.9

申请日：2009-11-10

Applicant: 齐戈股份有限公司

Inventor： 莱斯利.L.德克

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/02 ,  G02B27/14 ,  G02B26/08

CPC classification number: G01B9/02048 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02077 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/02087 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(ii)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图，计算改善的相位图。

公开(公告)号：CN102272549B

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN200980154403.9

申请日：2009-11-10

Applicant: 齐戈股份有限公司

Inventor： 莱斯利.L.德克

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/02 ,  G02B27/14 ,  G02B26/08

CPC classification number: G01B9/02048 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02077 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/02087 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(i)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图，计算改善的相位图。