公开(公告)号：CN101023318B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200580031402.7

申请日：2005-09-20

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： A·W·库拉维科 ,  J·C·马龙 ,  D·G·麦克莱恩斯 ,  M·J·特罗诺朗格

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02004 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02079 ,  G01B2290/60

Abstract: 一种频移干涉仪从在不同测量光束频率下产生的一组干涉图案中采集强度数据。在测量光束频率的相应范围上将周期函数与从干涉图案集合中采集的强度数据相匹配。涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局域相关用于提供用对应于干涉光束部分之间的光程长度差的测量光束频率对相位变化速率的确定。

公开(公告)号：CN101023318A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200580031402.7

申请日：2005-09-20

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： A·W·库拉维科 ,  J·C·马龙 ,  D·G·麦克莱恩斯 ,  M·J·特罗诺朗格

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02004 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02069 ,  G01B9/02079 ,  G01B2290/60

Abstract: 一种频移干涉仪从在不同测量光束频率下产生的一组干涉图案中采集强度数据。在测量光束频率的相应范围上将周期函数与从干涉图案集合中采集的强度数据相匹配。涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局域相关用于提供用对应于干涉光束部分之间的光程长度差的测量光束频率对相位变化速率的确定。