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公开(公告)号：CN103534553A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201280016561.X
申请日：2012-02-03
Applicant: 英飞康公司
Inventor： A.瓦吉德
CPC classification number: G01N29/12 , G01B7/066 , G01N29/09 , G01N2291/0237 , G01N2291/02854 , G01N2291/0426
Abstract: 用于精确地计算到压电晶体坯上的沉积的薄膜层的厚度的方法，在其中可以利用相异的材料，使得能够针对采用外来材料的各种应用进行确定。此外，可以确定未知的沉积的材料的声阻抗率（或等价的z-比率）。当若干层不同材料被顺序地沉积在相同的监视石英晶体上时精确的解析解几乎消除了厚度误差。
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公开(公告)号：CN107110767A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480084355.1
申请日：2014-12-26
Applicant: 株式会社日立制作所
Inventor： 南谷林太郎
IPC: G01N17/00
CPC classification number: G01N17/00 , F24F11/30 , F24F2110/10 , F24F2110/12 , F24F2110/20 , F24F2110/22 , G01B7/06 , G01B7/066 , G01B17/02 , G01K1/14 , G01N17/002 , G01N27/416 , H05K7/20745 , H05K7/20836
Abstract: 本发明的腐蚀环境诊断系统具备：环境测定装置，其包含：测定设置了作为诊断对象的电子部件或具有该电子部件的电子装置的室内的温度的温度传感器、测定室内或电子装置内的相对湿度的湿度传感器、测定诊断对象的腐蚀厚度的腐蚀传感器、以及蓄积了包含由温度传感器以及湿度传感器测定出的温度以及相对湿度的室内环境数据以及包含由腐蚀传感器测定出的腐蚀厚度的腐蚀厚度数据的数据库；外部大气环境数据库，其记录了包含外部大气的过去温度以及湿度的外部大气环境数据；以及诊断处理装置，其能够接收外部大气环境数据库以及环境测定装置的数据，其中，诊断处理装置基于室内环境数据、腐蚀厚度数据以及外部大气环境数据来决定与腐蚀厚度和相对湿度之间关系相对应的腐蚀机理，并推定诊断对象的将来的腐蚀厚度。由此，能够基于由包含腐蚀性气体的大气造成的腐蚀的机理来高精度地推定将来的腐蚀厚度。
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公开(公告)号：CN103534553B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201280016561.X
申请日：2012-02-03
Applicant: 英飞康公司
Inventor： A.瓦吉德
CPC classification number: G01N29/12 , G01B7/066 , G01N29/09 , G01N2291/0237 , G01N2291/02854 , G01N2291/0426
Abstract: 用于精确地计算到压电晶体坯上的沉积的薄膜层的厚度的方法，在其中可以利用相异的材料，使得能够针对采用外来材料的各种应用进行确定。此外，可以确定未知的沉积的材料的声阻抗率（或等价的z‑比率）。当若干层不同材料被顺序地沉积在相同的监视石英晶体上时精确的解析解几乎消除了厚度误差。
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公开(公告)号：CN107478175A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710710946.0
申请日：2017-08-18
Applicant: 东南大学
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B7/066
Abstract: 本发明公开一种原子层沉积薄膜原位监测控制系统，其包括原子层沉积设备、分别用于实时监测原子层沉积薄膜的表面轮廓和薄膜沉积厚度的白光干涉三维轮廓检测装置及石英晶体微天平、以及控制模块，该控制模块与原子层沉积设备、白光干涉三维轮廓检测装置、石英晶体微天平分别连接，用于接收、观测、分析实时的薄膜表面轮廓信息和薄膜厚度信息、并根据该信息控制原子层沉积过程。该监测控制系统通过对薄膜沉积过程进行原位监测，不仅可实时在线监控涂层厚度和薄膜表面三维轮廓，还能及时显示薄膜涂层厚度的动态变化过程和薄膜表面的三维形貌轮廓图像等信息，从而帮助提高薄膜涂层沉积的精度，改善薄膜产品的质量，使得薄膜涂层的性能更加优越。
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公开(公告)号：CN104165573A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410301568.7
申请日：2014-06-26
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
CPC classification number: G01B7/066 , C23C14/24 , C23C14/54 , C23C14/546
Abstract: 本发明公开了一种测量装置及镀膜设备。该测量装置包括：第一石英晶振片，在镀膜过程中一起被镀膜；第二石英晶振片，和第一石英晶振片相同，在镀膜的过程中被遮挡，不会被镀膜；激励源产生单元，用于产生并输出交变电流到所述第一石英晶振片和第二石英晶振片测试单元；第一计算模块，用于根据所述第一石英晶振片在镀膜过程中响应于所述交变电流产生的第一响应信号计算频率变化初始值；第二计算模块，用于根据所述第二石英晶振片在镀膜过程中响应于所述交变电流产生的第二响应信号计算频率变化修正值；第三计算模块，用于利用所述频率变化修正值修正所述频率变化初始值得到的频率变化目标值计算膜层厚度。本发明提高了膜厚测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105806730A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610130739.3
申请日：2016-03-08
Applicant: 成都柏森松传感技术有限公司
Abstract: 一种多通道石英晶体微天平芯片的制作模板，包括电极加工部件，电极加工部件由共用电极加工板和可拆卸固定于其上的功能电极加工板构成，共用电极加工板上有至少一个加工共用电极的共用电极孔，功能电极加工板上与所述每个共用电极孔对应的区域处开有至少两个加工功能电极的功能电极孔；所述共用电极加工板和功能电极加工板之间设置有芯片固定板，芯片固定板上开有芯片固定通孔，可将芯片固定于两个电极加工板之间，并覆盖每个共用电极孔；功能电极加工板上部还设置有可遮挡部分功能电极孔的遮挡部件。该模板可通过离子刻蚀方法一次性在石英晶片上加工不同深度的反台面结构，制作多通道石英晶体微天平芯片。
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公开(公告)号：CN105674870A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610191009.4
申请日：2016-03-30
Applicant: 重庆科技学院
IPC: G01B7/06
CPC classification number: G01B7/066
Abstract: 本发明公开了一种用于包衣厚度测量的测量头，包括夹具、晶振片、上电极、下电极及压盖，晶振片安装于夹具内，上电极和下电极分别连接晶振片的上表面和下表面，压盖盖于夹具且具有一开孔，雾化包衣液经开孔滑落于晶振片。与现有技术相比，本发明的测量头基于石英晶体振荡技术实现了药品包衣厚度的实时在线测量，进而可以实时在线地对包衣厚度进行控制，最终可以有效地提高包衣质量。此外，该测量头结构简单，便于操作。本发明同时公开了一种用于包衣厚度测量的测量装置。
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公开(公告)号：CN105603379A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610007049.9
申请日：2016-01-05
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
IPC: C23C14/54
CPC classification number: C23C14/546 , C23C14/24 , G01B7/066 , H01L41/04 , C23C14/542
Abstract: 本发明公开了一种检测真空蒸镀膜厚的检测装置和真空蒸镀装置，用以解决现有技术中因频繁更换晶振片所造成的生产成本过高的问题。其中，所述检测装置包括检测结构和晶振片，所述检测结构上设置有与所述晶振片对应的开口，以使得蒸镀分子通过该开口沉积到所述晶振片上；所述检测装置还包括设置在所述开口与所述晶振片之间的过滤层。
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公开(公告)号：CN1279208C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN02118053.9
申请日：2002-04-22
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/12 , C23C14/546 , G01B7/066 , H01L51/5012
Abstract: 本发明涉及在制造有机发光装置中对有机材料的沉积进行控制的方法，所述方法包括：在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层；设置可移动的传感器，当所述传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时提供表示形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度的信号。所述方法还包括：根据所述信号控制有机材料的沉积以控制形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度；将可移动的传感器从沉积区移动到清洁位置；以及去除可移动的传感器上的有机材料以使可移动的传感器能够重复使用。
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公开(公告)号：CN107036521A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201611018599.7
申请日：2016-11-18
Applicant: 安徽江淮汽车集团股份有限公司
IPC: G01B7/06
CPC classification number: G01B7/066
Abstract: 本发明公开了一种汽车涂装膜厚试验装置，其中包括封板、隔板、侧板、底座和试验垫板，其中，底座上设置有空腔，隔板固定设置在空腔中，且隔板的底面与底座的底面之间保持有设定的距离；封板固定扣设在底座上与底座的底面相对的一面；侧板固定扣设在底座的两个侧面；封板和隔板上设置有用于电泳的通电孔；试验垫板固定设置在隔板的底面上，且试验垫板设置在隔板与底座之间，试验垫板具有设定的厚度。本发明提供的汽车涂装膜厚试验装置，成功模拟了汽车在实际镀膜过程中的镀膜状态，实现了在不对汽车进行抽样拆解的情况下对汽车在实际镀膜过程中的镀膜质量进行测试；同时也解决了因外腔空间小而无法测量膜厚的问题。
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