一种蒸镀装置及蒸镀系统

    公开(公告)号:CN109023255A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810954677.7

    申请日:2018-08-21

    Inventor: 苏志玮 付潇

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/12

    Abstract: 本发明涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸镀装置及蒸镀系统,其中,蒸镀装置,包括:蒸发源本体和位于蒸发源本体内的坩埚,在蒸发源本体内、且低于所述坩埚底面的区域设有用于容纳蒸镀材料的容纳空间。上述蒸镀装置,在需要降温取出坩埚时,降温过程中,附在蒸发源本体内壁和坩埚外壁之间的材料会在重力作用下流动至容纳空间内;待降至材料的熔点温度后,材料会在容纳空间内凝固,不会在坩埚底壁与蒸发源本体底壁之间形成粘接面,从而可以避免坩埚与蒸发源本体之间产生粘黏现象。因此,该蒸镀装置在取出坩埚的过程中,无需外力撞击等辅助操作,从而不会对蒸镀装置造成不良影响,且可以降低更换材料的难度,提高材料更换效率和周期性保养的可靠性。

    一种开口掩膜板
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109023242A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201811197777.6

    申请日:2018-10-15

    Inventor: 徐鹏

    CPC classification number: C23C14/042 C23C14/12 C23C14/24

    Abstract: 本申请公开了一种开口掩膜板,涉及显示技术,该开口掩膜板包括多个单元,每个单元均包括半刻蚀部分和实材保留部分,在开口掩膜板的至少一个单元中,所述实材保留部分位于该单元的开口区域四周,所述半刻蚀部分位于该单元所对应的基板上的凸出膜层处。由于实材保留部分位于开口区域四周,使得在蒸镀喷淋时,蒸镀材料进入开口掩膜板覆盖区域的面积更小,从而减小开口掩膜板的外Shadow效应。

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