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    等离子体处理装置
    1.
    发明授权
    等离子体处理装置 有权

    公开(公告)号：CN107230608B

    公开(公告)日：2019-06-21

    申请号：CN201710148321.X

    申请日：2017-03-13

    申请人： 芝浦机械电子装置株式会社

    发明人： 加茂克尚

    IPC分类号： H01J37/32

    CPC分类号： H01J37/32532 ,  C23C14/0068 ,  C23C14/0078 ,  C23C14/505 ,  C23C14/54 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32513 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32559 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/32779 ,  H01J37/32899 ,  H01J37/3417

    摘要： 本发明提供一种等离子体处理装置，包括：筒形电极，具有作为设有开口部的一端的下端与作为被封闭的另一端的上端，内部导入工艺气体，通过施加电压而使所述工艺气体等离子体化；以及作为具有开口的真空容器的腔室，上端经由绝缘构件而安装于开口的筒形电极在腔室的内部延伸存在。而且，等离子体处理装置还包括：作为搬送部的旋转平台，将利用工艺气体受到处理的工件搬送至筒形电极的开口部之下；护罩，隔着间隙覆盖在真空容器的内部延伸存在的筒形电极；以及间隔件，设置于筒形电极与护罩的间隙中且包含绝缘材料。本发明通过在筒形电极的侧壁与护罩的间隙中配置间隔件，能够防止筒形电极与护罩的接触而可稳定地进行膜处理。

    一种真空镀膜用高效冷却装置
    3.
    发明公开
    一种真空镀膜用高效冷却装置 失效

    公开(公告)号：CN109234697A

    公开(公告)日：2019-01-18

    申请号：CN201811158096.9

    申请日：2018-09-30

    申请人： 佛山科学技术学院

    发明人： 陈文静 ,  周鉴 ,  丁晨锦 ,  张洪华 ,  陈育茹 ,  李旭涛 ,  温薛鑫 ,  杨富国

    IPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/54

    CPC分类号： C23C14/505 ,  C23C14/541

    摘要： 本发明涉及一种真空镀膜用高效冷却装置，包括冷却桶和镀膜桶，所述冷却桶的顶端连接有散热扇，且冷却桶与散热扇之间为固定连接，所述冷却桶的内部顶端安装有循环管，所述循环管的左右两侧固定有水管，且循环管与水管之间为固定连接，所述水管的右侧中部设置有隔板。本发明的有益效果是：通过卡板在隔板和锁板槽之间的卡合，从而能够将隔板阻挡在冷却桶和镀膜桶，且能够预防镀膜桶中进入空气，并且能够提高镀膜桶的镀膜质量，而且能够始终能够保持在真空环境下，同时能够保持冷却桶的冷却温度，从而能够将镀膜桶中产品进行单独冷却，且通过卡板和锁板槽的卡合，可以随时取下两者之间的隔板，从而能够将冷却桶冷却空气传送到镀膜桶中。

    一种风镜自动旋转镀膜伞架
    4.
    发明公开
    一种风镜自动旋转镀膜伞架 审中-实审

    公开(公告)号：CN108456863A

    公开(公告)日：2018-08-28

    申请号：CN201810514299.0

    申请日：2018-05-25

    申请人： 无锡清鑫光学技术有限公司

    发明人： 黎军成

    IPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/24

    CPC分类号： C23C14/505 ,  C23C14/24

    摘要： 本发明涉及电子产品技术领域，且公开了一种风镜自动旋转镀膜伞架，包括伞架体，伞架体的外侧固定连接有外圈，外圈的内侧固定连接有连接杆，连接杆远离外圈的一端固定连接有第一轴承，第一轴承的底部固定连接有支杆，支杆的底部固定连接有齿轮盘，伞架体远离外圈的一侧固定连接有共轭环，共轭环通过固定螺栓固定连接有连接件。该风镜镀膜伞用的伞架，通过设置第一轴承和伞架体，将齿轮盘固定安装在设备上，将待镀膜工件固定在伞架体上，利用第一轴承带动连接杆和伞架体整体进行三百六十度旋转，达到对待镀膜工件进行均匀的镀膜，避免出现镀膜不均的现象，从而保证了产品加工的质量，大大提高了该风镜镀膜伞用的伞架的实用性。

    基片承载轴连续摆动式转架
    6.
    发明公开
    基片承载轴连续摆动式转架 有权 转让

    公开(公告)号：CN108396302A

    公开(公告)日：2018-08-14

    申请号：CN201810528422.4

    申请日：2018-05-29

    申请人： 大连维钛克科技股份有限公司

    发明人： 龚健 ,  王绍超

    IPC分类号： C23C14/50

    CPC分类号： C23C14/505

    摘要： 基片承载轴连续摆动式转架，公转盘安装轴连接驱动电机，公转盘上对称安装传动盘转动座，公转盘上位于每个传动盘转动座外侧设有自转轴转动座，传动盘转动座上部安装传动盘，传动盘转动座下部安装小齿轮，传动盘边缘处上设有传动盘驱动销；自转轴转动座上部安装基片承载盘，基片承载盘尾端处设有基片承载盘驱动销，摆动杆两侧的长条形孔与传动盘驱动销和基片承载盘驱动销配合安装，摆动杆通过摆动杆座轴活动安装于公转盘上；下板座上部与公转盘之间安装压力球轴承，下板座上位于公转盘安装轴外侧固定安装大齿轮。本发明转架的公转盘转动时自转轴会持续的两个方向摆动，在不降低轴瓦成膜速率的情况下进一步提高了轴瓦内表面的膜层均匀度。

    一种具有双侧交叉夹持结构的涡轮叶片涂层制备装置
    7.
    发明公开
    一种具有双侧交叉夹持结构的涡轮叶片涂层制备装置 无效

    公开(公告)号：CN107805793A

    公开(公告)日：2018-03-16

    申请号：CN201710901332.0

    申请日：2017-09-28

    申请人： 中国航发动力股份有限公司

    发明人： 王玉锋 ,  常羽彤 ,  张华 ,  单建红 ,  刘朋飞 ,  古宏博 ,  王瑞 ,  哈杰

    IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/30 ,  C23C14/50

    CPC分类号： C23C14/568 ,  C23C14/30 ,  C23C14/505

    摘要： 本发明公开了一种具有双侧交叉夹持结构的涡轮叶片涂层制备装置：包括互相连通的装载室和沉积室，装载室内设置夹持结构和提供夹持结构旋转的旋转轴；其中夹持结构伸入到沉积室内，沉积室的上方设置有枪室，枪室内设置有多个电子束枪，其中第一电子束枪的光束射在夹持结构上，第二电子束枪的光束设在夹持结构正下方的料锭上；所述夹持结构包括互相连接的左工装盘和右工装盘，左工装盘和右工装盘之间设置有多个间错设置的自转通管，自转通管上连接有工装盒；左工装盘通过工装杆与旋转轴连接。该装置能够根据工作叶片尺寸及设计涂层区域要求，进行4-20件叶片双侧交叉安装，大幅度提高了涂层的加工效率，降低涂层加工成本。

    物理气相沉积设备和物理气相沉积方法
    8.
    发明公开
    物理气相沉积设备和物理气相沉积方法 无效

    公开(公告)号：CN107723675A

    公开(公告)日：2018-02-23

    申请号：CN201711146898.3

    申请日：2017-11-17

    申请人： 东莞颠覆产品设计有限公司

    发明人： 李扬德 ,  卢昆 ,  高宽

    IPC分类号： C23C14/50

    CPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/505

    摘要： 本发明公开了一种物理气相沉积设备和物理气相沉积方法。物理气相沉积设备包括壳体、发射源、承载装置和动力装置，其中，壳体的内部形成真空镀膜室，发射源、承载装置和动力装置位于真空镀膜室内，动力装置连接至承载装置以使位于承载装置上的待镀膜产品产生上下振动、由里向外的翻转以及沿预定方向的旋转。本发明的物理气相沉积设备镀膜时，不仅省略了大量人工手动上挂这一步骤，极大地提高了加工效率，一次加工的产品是普通挂具方式镀膜的几十倍之多，极大地降低了加工成本，镀膜过程的自动化程度更高；而且可以使得待镀膜产品能够获得完整全面的PVD镀层，显著的提高了产品的适用性，镀膜质量也能得到进一步的保障。

    真空镀膜机内为方形片状钕铁硼工件镀膜的翻转装置
    9.
    发明公开
    真空镀膜机内为方形片状钕铁硼工件镀膜的翻转装置 审中-实审 转让

    公开(公告)号：CN107267949A

    公开(公告)日：2017-10-20

    申请号：CN201710622850.9

    申请日：2017-07-27

    申请人： 大连维钛克科技股份有限公司

    发明人： 田路远 ,  王洪权

    IPC分类号： C23C14/50 ,  H01F41/02

    CPC分类号： C23C14/505 ,  H01F41/0253

    摘要： 真空镀膜机内为方形片状钕铁硼工件镀膜的翻转装置，包括倾斜旋转盘和传动轴，传动轴连接倾斜旋转盘中心，倾斜旋转盘上表面按圆周均匀分布安装用于放置方形片状体工件的长方体槽形翻转卡具，每个翻转卡具内安装有用于阻隔方形片状体工件挡轴。本发明可提高方形片状钕铁硼工件真空镀膜的质量，确保“无死角”镀膜；若多层安装使用，可满足大批量生产的需求。本装置对比现有的技术具有很大的优势，结构简单、便于操作、运行稳定可靠，且成本低下、效率极高、减轻劳动强度，值得以后推广使用。