公开(公告)号：CN107208260B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201580074334.6

申请日：2015-01-30

申请人： 三菱综合材料株式会社

发明人： 益野智行 ,  新保谷淳 ,  须藤俊克 ,  河村正雄

IPC分类号： C23C14/50 ,  B23B27/14 ,  B23P15/28 ,  C23C14/32

CPC分类号： C23C14/32 ,  B23B27/14 ,  B23C5/202 ,  B23C2200/36 ,  B23P15/28 ,  C23C14/345 ,  C23C14/50 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568 ,  C23C16/4588 ,  C23C16/54

摘要： 本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。

公开(公告)号：CN108950512A

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201811114953.5

申请日：2018-09-25

申请人： 百琪达智能科技(宁波)股份有限公司

发明人： 王晗权 ,  王兴杰 ,  周年生 ,  方辉鹤 ,  张洪波

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/35 ,  H01F41/18

CPC分类号： C23C14/568 ,  C23C14/35 ,  H01F41/18

摘要： 本发明公开了一种连续镀膜设备，包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室，镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，进料仓内设置有第一基片架，过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手，翻转机构包括翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链、翻转机械手运行轨道、旋转臂、夹紧气缸和翻转驱动机构，旋转臂设置于翻转机械手Z轴链的输出端，夹紧气缸设置于旋转臂上，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。本发明具有自动化程度高、钕铁硼磁片不易氧化、工作效率高的特点。

公开(公告)号：CN105026611B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201380073537.4

申请日：2013-02-25

申请人： 应用材料公司

发明人： F·皮耶拉利西 ,  U·米尔菲尔德

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34 ,  C03C17/00

CPC分类号： C23C14/568 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35 ,  C23C14/352 ,  C23C14/50 ,  C23C14/542 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/345

摘要： 描述一种用于在载体内提供的非柔性基板或基板上沉积层堆叠的装置。所述装置包括：真空腔室；运输系统，其中所述运输系统和所述真空腔室被配置用于内联沉积；第一支撑件，所述第一支撑件用于可围绕所述真空腔室内的第一旋转轴线旋转的第一旋转溅射阴极，其中提供用于沉积第一材料的第一沉积区；第二支撑件，所述第二支撑件用于可围绕所述真空腔室内的第二旋转轴线旋转的第二旋转溅射阴极，其中提供用于沉积第二材料的第二沉积区，其中所述第一旋转轴线和所述第二旋转轴线的彼此相距距离为700mm或更小；以及分离器结构，所述分离器结构介于所述第一旋转轴线与所述第二旋转轴线之间，适于接收朝向所述第二沉积区溅射的所述第一材料以及朝向所述第一沉积区溅射的所述第二材料，其中装置被配置成用来沉积包括所述第一材料的层以及所述第二材料的后续层的所述层堆叠。

公开(公告)号：CN107841726A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201711394591.5

申请日：2017-12-21

申请人： 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

发明人： 施栓林

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/35

CPC分类号： C23C14/568 ,  C23C14/35

摘要： 本发明公开了一种全自动镀膜机，包括上片设备(7)、回传装置(17)和下片设备(18)，所述上片设备(7)与镀膜设备(3)的进口端连接，所述下片设备(18)与所述镀膜设备(3)的出口端连接，传送带(4)贯穿于所述镀膜设备(3)，且其两端分别伸入所述上片设备(7)和所述下片设备(18)内，所述回传装置(17)设于所述镀膜设备(3)的下方，其两端分别位于所述上片设备(7)和所述下片设备(18)内。本发明能够实现自动上片、自动卸片和基板架自动回传的功能，实现全自动化生产，且可以有效利用现有空间，有效解决已投产镀膜设备的改造问题。

公开(公告)号：CN107841721A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201711403120.6

申请日：2017-12-22

申请人： 中山国鳌智能科技有限公司

发明人： 李峰

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/56 ,  C23C14/50

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568

摘要： 本发明公开了一种新型镀膜设备，包括底板，底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体，支撑柱体的顶面固定有真空室，真空室的顶面对称固定有支撑板，支撑板的顶面固定有顶板，顶板的底面中部有电机，真空室的底面中部有T形盲孔A，T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C，电机的驱动端固定连接有连杆，连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定，连杆的外部套有滑动环形板，顶板的底面有千斤顶。本发明设计有相互啮合的齿轮和齿条，根据需要调整基片的镀膜面，便于溅射镀膜，并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜，降低了成本的同时提高了镀膜质量，而且一次可以加工完成多个基片的镀膜，速度快，提高了生产效率，非常的实用、可靠。

公开(公告)号：CN107779835A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201711267226.8

申请日：2017-12-05

申请人： 江西金力永磁科技股份有限公司

发明人： 毛华云 ,  梁礼渭

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/56

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/568

摘要： 本发明提供了一种连续式磁控溅射装置，包括含有真空腔室、磁控溅射腔室和冷却腔室的磁控溅射炉；所述真空腔室设置在所述磁控溅射腔室的一侧，所述真空腔室和磁控溅射腔室之间用第一可活动装置隔开；所述冷却腔室设置在所述磁控溅射腔室的另一侧，所述冷却腔室和磁控溅射腔室之间用第二可活动装置隔开；所述真空腔室设置于所述磁控溅射炉的入口处，所述冷却腔室设置于述磁控溅射炉的出口处。本发明提供了一种连续式磁控溅射装置，具有连续的三个腔室，按工作顺序分别为真空腔室、磁控溅射腔室、冷却腔室。三个腔室之间以可活动装置隔开，各自工作，互不干扰，从而实现了生产连续性，减少抽真空和冷却的等待时间，提高生产效率。

公开(公告)号：CN107488835A

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201710442073.X

申请日：2017-06-13

申请人： 爱发科低温泵株式会社

发明人： 安田淳一 ,  村山吉信 ,  降矢新治 ,  蛭间雅义 ,  松崎淳介 ,  高桥明久

IPC分类号： C23C14/56

CPC分类号： C23C14/568

摘要： 本发明提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。具有卷绕在至少两个辊(20、30)上、外表面上载置有基板(S)并环绕行进的传送带(10)。以位于各辊间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被传送物的一侧的部分为上带部(Uv)，另一侧的部分为下带部(Dv)，以上带部和下带部相对的方向为上下方向，在上带部的下表面和下带部的上下表面中的至少一面上，在上下方向隔规定间隔相向配置长度大于等于传送带的宽度的冷却面板(40)。还具有对冷却面板进行冷却的冷却装置(5)，以及向由冷却面板和传送带所限定的空间(60)中提供惰性气体的气体供给装置(70)。

公开(公告)号：CN107058947A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610984083.1

申请日：2016-11-09

申请人： 上海交通大学

发明人： 彭林法 ,  李骁博 ,  邱殿凯 ,  易培云 ,  来新民

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56

CPC分类号： C23C14/0605 ,  C23C14/35 ,  C23C14/505 ,  C23C14/568

摘要： 本发明涉及一种用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线，包括：多腔室系统：包括依次串联并组成整体的四个腔室：清洗加热腔室、第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和后续处理腔室，各个腔室之间相互贯通；工件架：包括至少一个用于固定安置待处理金属双极板的金属双极板挂具；传送系统：包括用于将所述工件架依次送入/送出所述腔室的传送机构；抽气系统：包括独立设置在各个腔室的抽气机构，用于控制各个腔室的真空度；可开闭的隔离阀系统：设置在每相邻的两个腔室之间的过渡部分，并与所述腔室密封配合。与现有技术相比，本发明制备金属双极板非晶碳膜生产效率高、薄膜质量好、成本低，对加快燃料电池产业化发展具有重要意义。

公开(公告)号：CN104619619B

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201280075737.9

申请日：2012-09-10

申请人： 应用材料公司

发明人： R·林德伯格

IPC分类号： B65G49/06 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67748 ,  B65G13/00 ,  B65G47/52 ,  B65G49/063 ,  B65G49/067 ,  B65G2201/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/6776

摘要： 提供了一种传输装置，用于沿着传输方向进行基板传输且用于在沿着传输方向延伸的第一传输路径与第二传输路径间进行交换。第一传输路径在垂直于传输方向的转换方向中相对于第二传输路径移开。传输装置包括第一基板支撑组件，定义第一轨道以支撑腔体内的基板或基板载体。传输装置更包括第二基板支撑组件，定义第二轨道以支撑腔体内的基板或基板载体。第一基板支撑组件及第二基板支撑组件至少在转换方向中相对于彼此可移动。

公开(公告)号：CN104726827B

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201510169608.1

申请日：2015-04-10

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

发明人： 裴凤巍 ,  赵子仪 ,  崔富毅 ,  张金中

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  C23C14/568

摘要： 本发明提供一种蒸镀装置，用于解决现有技术的蒸镀装置需要单独设立传送腔室，并且每次蒸镀需要重新对各蒸发腔室进行抽真空、设备复杂、传送和抽真空时间长等问题。本发明提供的蒸镀装置包括多个蒸镀子腔室，将待蒸镀基板在多个蒸镀子腔室移动完成各层镀蒸，节省待蒸镀基板的传送时间，且将蒸镀腔室维持在同一真空环境下，各蒸镀子腔室不用重新抽真空，节省抽真空时间。